1. ์ ๋ก
๋ง๊ทธ๋ค์์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ํฐํ๋ ๋ฑ๊ณผ ํจ๊ป ๋ํ์ ์ธ ๊ฒฝ๋๊ธ์์ผ๋ก์ ์ง์์ ์ธ ๊ฐ๋ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ฐ์
์ ์ ์ฉ ํ๋ ๋ฐ ์์ฅ ํ๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋๊ฒ ๊ฑฐ๋ก ๋๊ณ ์๋ ์ฌ๋ฃ์ด๋ค[1,2]. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋ง๊ทธ๋ค์๊ณผ ๊ทธ ํฉ๊ธ๋ค์ ๋ฎ์ ๋ด์์ฑ์ผ๋ก ์ธํด ์ค์ฉ์์ฌ๋ก์์ ์ ์ฝ์ด ๋ฐ๋ฅธ๋ค. ํ๋ฉดํน์ฑ์ ๋ณด์ํ๊ธฐ ์ํ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก DOW17๋ฒ๊ณผ HAE๋ฒ ๋ฑ์
์๋
ธ๋ค์ด์ง ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ๋ค ์ ์์ง๋ง ๋ด์์ฑ๊ณผ ๊ธฐ๊ณ์ ๋ฌผ์ฑ๋ฉด์์ ๋ถ์กฑํ ์ธก๋ฉด์ด ๋ง์ ๊ฒ์ด ์ฌ์ค์ด๋ค [3,4].
์ต๊ทผ 2000๋
๋ ๋ค์ด ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด ๋ฐ์์ ์ด์ฉํ ์ด๋ฅธ๋ฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ฐํ(plasma electrolytic oxidation, PEO) ๋ฐฉ๋ฒ์ด ๊ฐ๋ฐ๋์๊ณ ,
๋ง๊ทธ๋ค์์ ๋น๋กฏํ ๊ฒฝ๋๊ธ์ ํฉ๊ธ์ ์๋ก์ด ์๊ทน์ฐํ ๊ธฐ์ ๋ก ์ฃผ๋ชฉ์ ๋ฐ์์ค๊ณ ์๋ค. PEO๋ ์ ํด์ก ์ค์์ ๊ณ ์ ์ ์ธ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฐ์ํ๋ ์คํํฌ(spark)
๋ฐฉ์ ํ์ ๋ฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ถ์๊ธฐ๋ฅผ ์ด์ฉํด ์ฐํ๋ง์ ํ์ฑํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ์กด์ ์ฌํ ์๋
ธ๋ค์ด์ง์ ๋นํด ํฌ๊ฒ ํฅ์๋ ๋ด์์ฑ๊ณผ ์๋ฑํ ๋์ ๊ฒฝ๋์ ํผ๋ง์ 100
ฮผm ์ด์์ผ๋ก ์ฑ์ฅ์ํฌ ์ ์๋ค. ๊ทธ๋์ ๋น๊ต์ ์งง์ ๊ธฐ๊ฐ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ Keronite, Tagnite, Magoxide-coating ๋ฑ์ ์์ฉ
๊ธฐ์ ์ด ๊ฐ๋ฐ๋์๊ณ , ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ ๊ด๋ จํ ์๋ฆฌ, ์ ํด์ก ๋ฐ ์ ๋ฅ ์กฐ๊ฑด, ํฉ๊ธ์ ์ข
๋ฅ, ํ์ฒ๋ฆฌ ๋ฑ ๋ค์ํ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ด ํ๋ฐํ ์ด๋ฃจ์ด์ง๊ณ ์๋ค [5-9].
ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด ๊ณผ์ ์์์ ์ ๋ฅ๋ ์ฃผ๋ก ์ ๊ธฐํํ์ ๋ฐ์์ ์ํด ํผ๋ง์ ํ์ฑ์ํค๋ ์ด์จ์ ๋ฅ(ionic current)์ ์ ๊ธฐ ๋ฐฉ์ ํ์์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ์์ ๋ฅ(electron
current)์ ๋จ๋
ํน์ ํผํฉ ๊ธฐ์ฌ๋ก ์ค๋ช
๋๋ค [10-12]. ์ด๋ฌํ ์ ๋ฅ๋ค์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ์ ์ธ ์ ์๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด๊ฒ ๋๋๋ฐ, ๋ง๊ทธ๋ค์ํฉ๊ธ์ PEO๊ณผ์ ์์ ์ ์๋ณํ ๊ฑฐ๋๊ณผ ๊ด๋ จํด Guo ๋ฑ์ ์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์
๋ฐ๋ผ ์ ์ ๊ฑฐ๋์ด 2๋ฒ์ ๊ตด๊ณก์ ์ ํฌํจํ๋ 3๊ฐ์ ์์ญ์ผ๋ก ๋ํ๋จ์ ๋ณด์๋ค [13,14]. ์ด๋ค์ ๋ํ PEO๊ณผ์ ์์ ๊ธฐ๊ณต์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ทธ ์๊ฐ ์ค์ด๋๋ ๋์์ ํฌ๊ธฐ๋ ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด๊ณ ํ๋ ํํธ, forsterite์
Mg2SiO4์ MgO๊ฐ ์ฐํ๋ง์ ๊ตฌ์ฑํ๋ ์ฃผ์ ์์ด ๋๋ค๊ณ ํ์๋ค. Chang ๋ฑ๋ ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ PEO๊ณผ์ ์์ ์ธ๊ฐ์ ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋์ผํ 3๋จ๊ณ์ ์ ์๋ณํ ๊ฑฐ๋์์
์ฒซ ๋ฒ์งธ์ ๋ ๋ฒ์งธ ๋จ๊ณ์ ์ ์์์น ์๋์ ์ฐจ์ด๊ฐ ๋ํ๋จ์ ๋ณด์์ผ๋ฉฐ, ์ธ๋ถ๋ก ์ฑ์ฅํ ํผ๋ง๋๊ป์ ๋ด๋ถ๋ก์ ๋๊ป ์ฌ์ด์ ๋น์จ์ด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ 6:4์์
4:6 ์ ๋๋ก ๋ฌ๋ผ์ง์ ๋ํ๋ด์๋ค [15].
๋ค์ํ ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ ์ข
๋ฅ์ ๋ฐ๋ฅธ PEO์ฒ๋ฆฌ ๋ฐฉ์ ํน์ฑ๋ค๊ณผ ํ์ฑ๋ ์ฐํ๋ง์ ๋๊ป, ๊ฒฝ๋, ๋ด์์ฑ๋ค์ด Arrabal ๋ฑ์ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํตํด ๋ณด๊ณ ๋ ๋ฐ ์๋ค
[16]. ๋ํ, Walsh ๋ฑ์ AZ91 ํฉ๊ธ์์ PEO๊ฐ ์ฐํ๋ง๋ด ๊ธฐ๊ณต์ด ์๋์ ์ผ๋ก ์ ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ฑํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ DC ์๋
ธ๋ค์ด์ง์ ๋นํด ์ผ์๋ถ๋ฌด์ ๋ํ
๋ด์์ฑ์ด ์ฝ 3๋ฐฐ๋ก ๊ธธ์ด์ง๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ค๋ช
ํ์๋ค [17]. Barchiche ๋ฑ์ ์ ํด์ก์ KOH๋๋, ์๋
ธ๋ค์ด์ง ์๊ฐ ๋ฐ ์ ๋ฅ๋ฐ๋๊ฐ AZ91D ํฉ๊ธ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด ์ฐํ๋ง์ ๋ด์์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ์๋ถ๊ทน๊ณผ
์๋ถ๊ทน๊ณผ ํจ๊ป ์๊ฐ๋์ ๋ฅ๋ฒ(chronoamperometry) ์คํ์ ํตํด ์กฐ์ฌํ์์ผ๋ฉฐ, PEO ์ฐํ๋ง์ ๋ณดํธํน์ฑ์ด ๊ธฐ๊ณต๋ฅ ์ ํฌ๊ฒ ์์กดํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด๊ณ ํ์๋ค
[18]. Ma ๋ฑ๋ AM50ํฉ๊ธ์ ๋ํ PEO์ฒ๋ฆฌ์ KOH ๋๋๊ฐ ์ฝํ
์ ๋ด์์ฑ์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ฉฐ, ์ฝํ
์ ์์กฐ์ฑ, ๋๊ป ๋ฐ ๊ท ์ผ์ฑ์ ์์ธ์ผ๋ก
๋ด์์ฑ ์ฐจ์ด๊ฐ ๋ํ๋๋ค๊ณ ํ์๋ค [19]. Liang ๋ฑ์ AM60ํฉ๊ธ PEO์ฒ๋ฆฌ์ KOH ์ ํด์ก์ ๊ธฐ๋ณธ์ผ๋ก ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ์ ์ธ์ฐ์ผ์ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ํ ํน์ฑ ์ฐจ์ด๋ฅผ ์ฐ๊ตฌํ์ฌ, ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ
๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ๊ฒฝ๋๊ฐ ๋๊ณ ๋ด๋ง๋ชจ์ฑ์ด ์ฐ์ํ๋ค๊ณ ํ์๋ค. ๋์ ์๋ถ๊ทน์ํ์ ํตํ ๋ด์์ฑ ๋น๊ต์์ ๋ ๊ฒฝ์ฐ ๋ชจ๋ PEO์ฒ๋ฆฌํ์ง ์์ ์ํ์ ๋นํด ํฅ์๋
๋ด์์ฑ์ ๋ํ๋ด์๋๋ฐ, ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐํ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ์ธ์ฐ์ผ์ ์ฒจ๊ฐํ ๊ฒฝ์ฐ๋ณด๋ค๋ ์ฐ์ํ๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค [20]. Zhang ๋ฑ์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋-์คํ
์ธ๋ฆฌ์ค์คํธ-๋ง๊ทธ๋ค์์ ๊ฐ๋ฐ๋ ๋ถ์์คํ์์ ๋ง๊ทธ๋ค์์ PEO์ฒ๋ฆฌ ๋๊ป ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ฒด ๋ถ์์๋๋ ๋ฆ์ด์ง๋ฉฐ, ๋ถ์์
์ํ ๋ฌด๊ฒ ๊ฐ์๊ฐ ์ต๋ 100๋ฐฐ๊น์ง ๋ํ๋ ๋ฐ ์๋ค [21].
์ด์ฒ๋ผ ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ PEO์ฒ๋ฆฌ์ ๊ด๋ จํ ๋ง์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ด ์ด๋ฃจ์ด์ ธ ์์์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ , ์ฐํ๋ง์ ๋๊ป ์ฑ์ฅ๊ณผ ์ด์ ๊ด๋ จํ ๋ด์์ฑ ๋ฑ ํน์ฑ์ ๋ํด์๋
์ฌ์ ํ ๊ตฌ์ฒด์ ์ด๊ณ ๋ช
ํํ๊ฒ ์ ์๋์ง ๋ชปํ ๋ถ๋ถ๋ค์ด ์๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ AZ31B ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ ๋์์ผ๋ก ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ KOH-์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ ์ ํด์ก ์ค์์
PEO์ฒ๋ฆฌ์ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ฐํ๋ง์ ์ฑ์ฅ๊ฑฐ๋์ ๋ฉด๋ฐํ ์กฐ์ฌํจ๊ณผ ์์ธ๋ฌ ๋๊ป ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ด์์ฑ์ ๋ณํ๋ฅผ ์ ๊ธฐํํ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ํตํด ๋ฐํ๊ณ ์ ํ์๋ค.
2. ์คํ ๋ฐฉ๋ฒ
์ฐ๊ตฌ์๋ 3 mm ๋๊ป์ ํ์ฌ AZ31B ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ ์ฌ์ฉํ์๊ณ , PEO ์ฒ๋ฆฌ๋ฉด์ ์ 20 cm2์ผ๋ก ํ์๋ค. ์ํธ์ ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ก #600์ ์ฐ๋งํฌ๋ฅผ ์ด์ฉํด ํ๋ฉด์ ์ฐ๋งํ ๋ค์ ์ค์ฑ ์ฉ์ก์์ ์ธ์ฒํ๊ณ ๊ณต๊ธฐ๋ก ๋ธ๋ก์ ๊ฑด์กฐํ์๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํด์ ์ฌ์ฉ๋
์ ํด์ก์ 1.5 g/L KOH + 5 g/L KF + 8 g/L Na2O(SiO2)xยทxH2O์ ์กฐ์ฑ์ ๊ฐ๋ ํฌ๋ฐ(dilute)๋๋์ ์์นผ๋ฆฌ ์์ฉ์ก์ผ๋ก ํ์๋ค. ์ ํด์ฅ์น๋ 10 ๋ฆฌํฐ๊ธ ์ ํด์กฐ์ ๋๊ฐ์ฅ์น ๋ฐ ์ ๋ฅ๊ธฐ๋ก ๊ตฌ์ฑํ์์ผ๋ฉฐ, ์๋์ ๊ทน์
2 mm ๋๊ป์ 304ํ ์คํ
์ธ๋ฆฌ์ค ์คํธ ํ์ผ๋ก ์ํธ์ฒ๋ฆฌ๋ฉด์ ์ 20๋ฐฐ ์ด์์ ๋ฉด์ ์ ๊ฐ๋๋ก ํ์๋ค. ์ ํด์๋ 380 V, 60 Hz, 3์ ๊ต๋ฅ์
์
๋ ฅ ์ ์์ ๊ฐ๋ ์ ๋ฅ๊ธฐ๊ฐ ์ฌ์ฉ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ถ๋ ฅ์ ๋ฅ๋ ์ ํํ์ ๋จ์ ๊ต๋ฅ๋ก์ ํผํฌ๊ฐ์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก 1,000 mA/cm2 ์ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ์ธ๊ฐ ํ์๋ค. ๋ํ PEO์ฒ๋ฆฌ ๊ณผ์ ์์์ ์ค์ ์ ๋ฅ ์ถ๋ ฅ์ ๋ฐ์ํ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ๋ฅ๋ฅผ ์ ์ด ํ๋ก๊ทธ๋จ์ ์ํด ๋ณด์ํ์ฌ ๋ณ๋๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์๋ค.
์ ํด์ก์ ์จ๋๋ ์ฒ๋ฆฌ๊ฐ์ ์ 10 ยฐC๋ก ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ฒ๋ฆฌ๊ณผ์ ์์ ์ ๊ทน๊ฐ์ด์ ์ํ ์จ๋์์น์ 20 ยฐC ์ด๋ด์์ ์ ์ง๋๋๋ก ํ์๋ค.
PEO ์ฐํ๋ง ์ฑ์ฅ๊ฑฐ๋์ ๊ณ ์ฐฐํ๊ธฐ ์ํด ๋งค 1๋ถ ๋จ์๋ก ์๊ฐ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ฉฐ, ์ต๋ 10๋ถ๊น์ง ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ค์ํ์๋ค. ๋ํ ์ด๊ธฐ ๋ณํ๋ฅผ ํ์ธํ๊ธฐ ์ํด 5์ด์
20์ด ๋์ ์ฒ๋ฆฌํ ์ํ์ ์ถ๊ฐํ์ฌ ์ค๋นํ์๋ค. ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ(Hitachi, SU5000) ๊ด์ฐฐ์ ํตํด ์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ PEO ์ฐํ๋ง์ ๋จ๋ฉด ๋ฐ ํ๋ฉด
์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ํ์ธํจ๊ณผ ์์ธ๋ฌ ์ฐํ๋ง์ ๋๊ป๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค. ๋ํ ์๊ฐ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ PEO ์ฐํ๋ง์ ์์ ๋ถํฌ๋ฅผ ์์๋ณด๊ธฐ ์ํด EDS(HORIBA, EMAX)๋ฅผ
์ด์ฉํด ์กฐ์ฌํ์ฌ ๋ํ๋ด์๋ค.
PEO ์ฐํ๋ง์ ๋ํด X์ ํ์ ๋ถ์์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ ์(phase)๋ถ์์ ์ค์ํ์๋ค. ์ด๋ ์ฐํ๋ง์ ์ธ๋ถ ํ๋ฉด๊ณผ ๋ด๋ถ๋ฉด์ ๊ตฌ๋ณํ์ฌ ๋ถ์ํ์๋๋ฐ, ๋ด๋ถ๋ฉด์
์ฐํ๋ง์ ๋๊ป๊ฐ ์ฝ 40 ฮผm๊ฐ ๋จ์ ๋ ๊น์ง ์ฐ๋งํ์ฌ ๋ถ์์ ์ฌ์ฉํ์๋ค. ํ์ ๋ถ์์กฐ๊ฑด์ Cu Kฮฑ radiation (ฮป=0.15406)์ ์ฌ์ฉํ์ฌ
2ฮธ = 10ยฐ ~ 80ยฐ, ์คํ
ํฌ๊ธฐ 0.05ยฐ๋ก ํ์๋ค.
ํํธ ์ต๋ 10๋ถ๊น์ง PEO ์ฒ๋ฆฌ๊ณผ์ ์์ ์ ์ ๋ฐ ์ ๋ฅ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ์ธก์ (Keithley, DMM6500 / Fluke, DMM 289)ํ์๊ณ , ํ์ฑ๋
์ฐํ๋ง๋ค์ ๋จ๋ฉด์กฐ์ง์ ๋ํด ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์ปค์ค ๊ฒฝ๋(Mitutoyo, HM-220)๋ฅผ ์ธก์ ํ์ฌ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๊ธฐ๊ณ์ ๋ฌผ์ฑ์ ์กฐ์ฌํ์๋ค. ๊ฒฝ๋์ธก์ ์ ํผ๋ง์ ๋๊ป์
์ํ์ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ณ ๋ คํ์ฌ 0.245 N์ ํ์ค์ผ๋ก ์ค์ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ฐํ๋ง์ ๊ฐ ๋ถ์์ ๋ํด 9๊ตฐ๋ฐ์ฉ ์ธก์ ํ ๊ทธ ํ๊ท ๊ฐ์ ์ฐ์ ํ์๋ค.
์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ด์์ฑ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋์ ์๋ถ๊ทน์ํ(potentiodynamic polarization)์ ํตํด ๋น๊ต ๋ถ์ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ ์์ฐจ๊ณ(potentiostat)
(AMETEK, PARSTAT4000)์ 1 cm2์ ์ํธ ๋
ธ์ถ ๋ฉด์ ์ ๊ฐ๋ Flat cell (PARC model. K0235)์ด ์ฌ์ฉ๋์๋ค. ์ํ์ 3.5 wt% NaCl์ฉ์ก์์ ์ค์ํ์์ผ๋ฉฐ,
์ ํด์ก์ ๋ํ ๋ณ๋์ ํ๊ธฐ์ฒ๋ฆฌ ์์ด ๋๊ธฐํฌํ ์ํ๋ก ์ค์จ์ ์ ์งํ์๋ค. ์ ์ ๋ฒ์ ๋ฐ ์ฃผ์ฌ์๋๋ ๊ฐ๊ฐ โ1.8์์ โ0.25 V (vs. Ag/AgCl),
5 mV/sec.๋ก ํ์๋ค. ๋ํ ์๊ฐ๋์ ๋ฅ๋ฒ์ ํตํด ํผํ
(pitting)๊ฑฐ๋๊ณผ ์ฐํ๋ง์ ์์ ์ฑ์ ํจ๊ป ํ๊ฐํ์๋ค. 3.5 wt% NaCl ์ฉ์ก์
์ด์ฉํด Ecorr + 200 mV ์ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ๊ณผ์ ์์ ์ธ๊ฐํ์์ผ๋ฉฐ, ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ๋ฅ๋ณํ๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค.
PEO ์ฐํ๋ง์ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋ด์์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ๊ณ ์ฐฐํ๊ธฐ ์ํด ๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ open pore(defect) density๋ฅผ ์ธก์ ํ์๋ค. ์ธก์ ์
3.5 wt% NaCl ์ฉ์ก์ 1 ์๊ฐ ์นจ์ ํ 60 g/L CH3COOH + 5 g/L CuSO4ยท5H2O + 15 g/L ZnCl2ยท7H2O ์ฉ์ก์ 1 ๋ถ๊ฐ ์นจ์ ์ฒ๋ฆฌํ์ฌ ์์๋ก ์ธ์ฒํ ๋ค์ ๊ฑด์กฐ์์ผ ํ๋ฉด์ผ๋ก ์ ์ ๋์ถ๋ ๋ถ์์์ฑ๋ฌผ์ ์๋ฅผ 200๋ฐฐ์จ์ ๊ดํํ๋ฏธ๊ฒฝ ๊ด์ฐฐ์ ํตํด ์ธ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก
์ด๋ฃจ์ด์ก๋ค [22,23].
3. ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ
๊ทธ๋ฆผ 1์ PEO์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ํ์ฑ๋๋ ์ฐํ๋ง์ ๋จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ๋ํ๋ธ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ชจ๋ ๋จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง์์ outer layer์ inner layer๋ก ๊ตฌ๋ณํ
์ ์๋ 2๊ฐ์ ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ ์ ํ์ ์ธ PEO ์ฐํ๋ง์ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. (a) 5์ด ๋ฐ (b) 20์ด์์๋ ์ฝ 5 ฮผm ์ด๋ด์ ๋๊ป๋ฅผ ๊ฐ๋ ์์ ๋ง์
ํ์ฑํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ชจ์ฌ์์ ๊ณ๋ฉด์ 1 ฮผm ๋ฏธ๋ง์ ์ฐ์์ ์ธ ์ธต๊ณผ ํจ๊ป ๋ค๊ณต์ฑ์ ์ธ๋ถ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. ๋ํ, (c) 1๋ถ ์ดํ (h) 6๋ถ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง
์ฝ 10 ~ 35 ฮผm ๋๊ป๋ก ํผ๋ง์ด ๋๊บผ์์ง์ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. ์ด๋ค 6๋ถ ์ด๋ด์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์ outer layer๋ ํฐ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋ง์ ๋ถ๊ท์น์ ์ธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ
๊ฐ์ง๊ณ , inner layer ์ญ์ ๋น๊ต์ ์๊ณ ๋ง์ ๊ธฐ๊ณต์ ๋ค๊ณต์ฑ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋๋ค. ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ (i) 7๋ถ ์ด์์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์๋ ์๊ฐ ์ฆ๊ฐ์
๋ฐ๋ผ inner layer๊ฐ ๋๊ป๊ฒ ์ฑ์ฅํจ์ ์ ์ ์๋๋ฐ, ๋ด๋ถ ๊ธฐ๊ณต์ด ๊ฐ์๋๋ฉฐ ์น๋ฐํ ๊ตฌ์กฐ๋ก ๋ํ๋๋ฉฐ ์น๋ฐํด์ง inner layer๋ ๋ค์์ ํฌ๋์
ํฌํจํ๋ ๊ฒ์ด ๊ด์ฐฐ๋๋ค. Outer layer์์์ ํฌ๋์ (g) 5๋ถ ์ด์์ ๋ชจ๋ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์ ๋ํ๋๊ณ ์๋ค. ํํธ, ์ต๋ (l) 10๋ถ๊น์ง ์ฒ๋ฆฌํ์ฌ
ํ์ฑ๋ ํผ๋ง์ ์ ์ฒด ๋๊ป๋ ์ฝ 90 ฮผm์ ์ด๋ฅด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค.
๋จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง๋ก๋ถํฐ ์ด๋ฏธ์ง ๋ถ์ ์ํํธ์จ์ด๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ฐํ๋ง์ ํ๊ท ๋๊ป๋ฅผ ์ฐ์ ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ ์ฒด ์ฐํ๋ง์ ๋๊ป ๋ณํ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 2(a)์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ ์ด๊ธฐ์ ๋๋ถ์ด 6๋ถ ์ดํ ๊ธ๊ฒฉํ ๋๊ป ์ฆ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋๋ ์ญ โSโ์ ํํ์ ๊ฑฐ๋์ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 1์์ ๋ํ๋ inner layer์ outer layer์ ํ๊ท ์ ์ธ ๋๊ป๋ฅผ ํจ๊ป ๋ํ๋ด์๋๋ฐ, 6๋ถ ์ด๋ด๊น์ง๋ outer layer๊ฐ inner layer์
๋นํด ๋ ํฐ ๋น์จ์ ๋ณด์ด๋ฉฐ, 8๋ถ ์ดํ ์ฐํ๋ง์์๋ inner layer๊ฐ ์ ์ฒด ๋๊ป์์ ์ฐจ์งํ๋ ๋น์จ์ด ๋ณด๋ค ๋์์ง๋ฉฐ ๊ทธ ๋๊ป ์ฆ๊ฐ๊ฐ ํ์ ํ๊ฒ ๋ํ๋๊ณ
์์์ ์ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ฉด outer layer๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 2๋ถ๊น์ง ์ฝ 15 ฮผm ๋๊ป๋ก ๋น ๋ฅด๊ฒ ํ์ฑ๋ ๋ค์ ์ต์ข
10๋ถ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์ฝ 25 ฮผm
์ด๋ด์ ๋๊ป๋ก ์ฆ๊ฐ ํญ์ด ์๋ค.
๋ํ, ์ด๋ฅผ ์ฐํ๋ง์ ์ฑ์ฅ์๋๋ก ํ์ฐํ์ฌ ๊ทธ๋ฆผ 2(b)์ ํจ๊ป ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๊ธฐ 1๋ถ ์ด๋ด์์ ๋ถ๋น 10 ฮผm ์ด์์ ์๋๋ก ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฑ์ฅํจ์ ๋ณด์ด๊ณ ์๋๋ฐ, 5์ด์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ฅ๊ธฐ๋ก๋ถํฐ์ ์ ๋ฅ์์น ์๊ฐ์ด
ํฌํจ๋๋ฉฐ, ํ๋ผ์ฆ๋ง ํน์ ๋ฐฉ์ ํ์๊ณผ ๋ฌด๊ดํ๊ฒ ์ ๊ธฐํํ์ ๋ฐ์์ ์ํด ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ ๋ฑ ์ฐํ๋ง์ด ๋น ๋ฅด๊ฒ ํ์ฑ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. 20์ด์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ง์ดํฌ๋ก์คํํฌ(micro-spark)
๋ฐ์์ด ์๋ฐ๋๊ธฐ๋ ํ์ง๋ง ์ ๋จ๊ณ์์ ํ์ฑ๋ ์ฐํ๋ง์ ์ง์์ ์ธ ๋๊ป ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค.
์ดํ ์ ์ฒด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ์ ๋ฐ์ ํด๋นํ๋ 5๋ถ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์ฑ์ฅ์๋๋ ์ ์ฐจ ๊ฐ์ํ์ฌ ์ฝ 2 ฮผm/min์ ์ด๋ฅด๊ฒ ๋๋ค. 6๋ถ ์ดํ ํ๋ฐ๋ถ๊ฐ ๋๋ฉด์ ๋ค์
๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฆ๊ฐํ์ฌ 10 ฮผm/min ์ด์์ผ๋ก ์ต๋ ์ฝ 18 ฮผm/min์ ์ฑ์ฅ ์๋๋ฅผ ๋ณด์ด๊ฒ ๋๋ค. ์ด์ฒ๋ผ ์ฑ์ฅ ์๋๋ PEO์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ด๊ธฐ์
ํ๊ธฐ๋ก ๊ฐ์๋ก ๋นจ๋ผ์ง๊ณ ์ค๊ฐ๋จ๊ณ์์ ๋๋ฆฐ ํํ์ธ โUโ์ํ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ธ๋ค.
ํํธ, ๊ทธ๋ฆผ 3์ EDS(energy dispersive spectroscopy)๋ฅผ ์ด์ฉํด ์กฐ์ฌํ ์๊ฐ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ PEO ์ฐํ๋ง์ ์์ ๋ถํฌ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋จ๋ฉด
ํ์์ ํน์ง์ ๋ฐ์ํ์ฌ ๊ทน์ด๊ธฐ์ 20์ด๋ฅผ ๋น๋กฏํด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ์ ๋ฐ๋ถ์ ํด๋นํ๋ 2๋ถ ๋ฐ ์ต์ข
10๋ถ์ ๋ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ, ์์๋ ์ ํด์ก์ ์ฑ๋ถ
๋ฑ์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ Mg, O, Si, F, Al์ ๋ถํฌ๋ฅผ ๋ํ๋ธ ๊ฒ์ด๋ค. ๋จผ์ ์ฐ์์ ๋ง๊ทธ๋ค์์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ชจ๋ ๊ฒฝ์ฐ์ ์ฝํ
์ธต ์ ์ฒด์์ ๋ถํฌํ๋ฉฐ, ์ด๋ outer
layer์ inner layer ๋ชจ๋ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ผ๋ก ์ฐํ๋ฌผ ๊ตฌ์กฐ์์ ์์ฌํ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ชจ๋ outer layer์ ์ง์ค์ ์ผ๋ก ๋ํ๋๋
๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋๊ณ ์์ด, outer layer๋ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๊ณ ์์ ํ์ฑํ๊ณ ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ํด ๋ณผ ์ ์๋ค. ๋ํ, inner layer์ ์์ด ๋ง๊ทธ๋ค์์
๋ถํฌ์ ๋ฌ๋ฆฌ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ถํฌ๊ฐ ์ ์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฌํ ๋ถํฌ๋ 10๋ถ ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ์์ ํ์ ํ ๋ํ๋๊ณ ์๋ค. ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ, 20์ด์ ๋ํ๋ ๋ชจ์ฌ ๊ณ๋ฉด์ ์ฐ์์ ์ธ
์ธต์๋ ๋ถ์ํํฉ๋ฌผ์ด ์ง์ค์ ์ผ๋ก ํ์ฑ๋์ด ์์์ ํ์ธํ ์ ์๋๋ฐ, ์ด๋ ์ ํด์ก ์ค KF์ ์ํด ํ์ฑ๋ MgF2 ํํฉ๋ฌผ๋ก ์ถ์ ๋๋ค. 2๋ถ ๋ฐ 10๋ถ ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ์์์ ๋ถ์ ๋ถํฌ๊ฐ ๋ถ์ฐ์์ ์ผ๋ก ๋ํ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก๋ถํฐ MgF2 ๋ ์ด๊ธฐ ๊ณ๋ฉด์์ ํ์ฑ๋ ํ ์ฝํ
์ธต ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ ์ฐํ๋ง ๋ด๋ถ๋ก ๋ถ์ฐ๋์ด ๊ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ๋ํ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 20์ด ์ดํ์ ๊ฐ์ ์ด๊ธฐ์ ๊ฒฝ์ฐ 2๋ถ
์ด์์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ฌ๋ฆฌ MgF2 ์ ์์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ก ์ฝํ
์ธต์ด ๊ตฌ์ฑ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. Al์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ฐํ๋ง๋ด ๊ฐ์์ ์ธ ๋ถํฌ๊ฐ ํ์ธ๋์ง ์์๋ค.
PEO ์ฐํ๋ง์ ๊ตฌ์ฑ ์ฑ๋ถ์ ๋ณด๋ค ๋ช
ํํ ํ์ธํ๊ธฐ ์ํด 10๋ถ๊ฐ ์ฒ๋ฆฌํ ์ฝํ
์ธต์ ๋ํด outer layer์ inner layer๋ฅผ ๊ตฌ๋ณํ์ฌ X์
ํ์ ๋ถ์์ ์ค์ํ์์ผ๋ฉฐ, ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 4์ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ชจ์ฌ์ธ AZ31B์ ํ์ ํจํด์ ํจ๊ป ๋ํ๋ด์๋๋ฐ, outer layer์ inner layer ๋ชจ๋์์ 34.6ยฐ, 36.8ยฐ, 48.1ยฐ,
63.4ยฐ, 72.9ยฐ์ ๊ด๋ จ ํผํฌ๊ฐ ๊ด์ฐฐ๋๋ค. ์ด๋ ๋ค๊ณต์ฑ์ ์ฐํ๋ง ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ํฅ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋ฉฐ, ํ๊ท 40 ฮผm ์ ๋์ ๋๊ป๋ก ์ฐ๋งํ์ฌ ์ธก์ ํ
inner layer์์ ๋ณด๋ค ๋๋ ท์ด ํ์ธ๋๋ค. ํ์ ํจํด์์ ์ฃผ๋ก MgO (2ฮธ=43.0ยฐ, 62.4ยฐ, 74.9ยฐ, 78.8ยฐ)์ Mg2SiO4 (2ฮธ=32.3ยฐ, 35.7ยฐ, 36.5ยฐ, 39.7ยฐ, 40.0ยฐ, 41.8ยฐ, 52.3ยฐ)์ ํผํฌ๋ค์ด ๋ํ๋๋๋ฐ, outer layer์๋ ์ด
๋ ์ข
๋ฅ์ ํผํฌ๋ค์ด ๋ชจ๋ ๋ํ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ inner layer์์๋ ์ผ๋ถ Mg2SiO4์ ํผํฌ๋ค์ด ๋ํ๋๊ธฐ๋ ํ์ง๋ง ์๋์ ์ผ๋ก ๊ฐํ MgO์ ํผํฌ๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. ์ด๋ค ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ outer layer๋ Mg2SiO4์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ฅผ ์ฃผ๋ก ํ์ฌ MgO๋ฅผ ํฌํจํ๋ ํผํฉ ์์ ์ด๋ฃจ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, inner layer๋ ์ด์๋ ๋ฐ๋๋ก MgO๋ฅผ ๋๋ถ๋ถ์ผ๋ก ํ์ฌ ์๋์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ์์
ํฌํจํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ๋ํ ์ด๋ ์์ EDS๋ฅผ ์ด์ฉํ ์์๋ถํฌ์์ ๋ํ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์๋ ์ผ์นํ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ํํธ, X์ ํ์ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ์์๋ ๊ฐ์์ ์ธ
MgF2์ ํผํฌ๋ ๊ด์ฐฐ๋์ง ์์๋๋ฐ, ์ด๋ ๋ถ์์ด ์งํ๋๋ ํ๋ฉด๋ถ์ MgF2์ ํจ๋์ด ์ฌ์ค์ ๋ฏธ๋ฏธํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค.
PEO์ฒ๋ฆฌ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ํ์ฑ๋๋ ์ฐํ๋ง์ ํ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 5์ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ชจ๋ ์๊ฐ์ ๋ํด ํ๋ฉด ์ ์ฒด์ ๊ฑธ์ณ ๋ค๋์ ๊ธฐ๊ณต ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๊ด์ฐฐ๋๋ค. (a) 5์ด ๋ฐ (b) 20์ด์์๋ ์์ญ ~์๋ฐฑ nm์ ๊ธฐ๊ณต๊ณผ ์๋ฐฑ
nm ~ 1 ฮผm ์ด๋ด ํฌ๊ธฐ์ ๊ธฐ๊ณต๋ค์ด ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋๋ค. (C) 1๋ถ ์ดํ (g) 5๋ถ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์๊ฐ์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๊ธฐ๊ณต๋ค์ด ๋ถ๊ท์น์ ์ธ ํ์์ผ๋ก
๊ทธ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์ปค์ง๋ ๊ฒ์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด ์ฌ์ด์ ๊ธฐ๊ณต์ ์๋ ๊ฐ์ํ๋ ์์์ ๋ํ๋ด๊ณ ์๋ค. (h) 6๋ถ ์ดํ ์ด๋ฏธ์ง๋ค์์๋ ์ฌ์ ํ ์ ~์์ญ ฮผm์
ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ๋ ๋ค์์ ๊ธฐ๊ณต๋ค์ด ๊ด์ฐฐ๋๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ํ์ ํ ํฌ๊ธฐ์ ์์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ํ๋์ง ์๋๋ค. ๋ํ, 5๋ถ ์ดํ์ ํ์๋ค์์๋ PEO์ ์ ํ์ ์ธ
โvolcano-likeโํํ์ ํ๋ฉด๋ค์ด ์ ๋ํ๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ค ๊ธฐ๊ณต๋ค์ PEO๊ณผ์ ์์ ์คํํฌ ๋ฐฉ์ ์ ์ฑ๋ ์ญํ ์ ํตํด ๋ํ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ
์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 6์ PEO ์งํ ๊ณผ์ ์์ ์ค์ ์ ๊ทน์ ๋ฐ์ํ๋ (a) ์ ์ ๋ฐ (b) ์ ๋ฅ ๋ณํ๋ฅผ ์ธก์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ํ (c)์๋ ์ด๊ธฐ 1๋ถ ์ด๋ด์ ๋ณํ๋ฅผ
ํ๋ํ์ฌ ๋ณด๋ค ์์ธํ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋จผ์ ์ ์๋ณํ์ ๊ด๋ จํด (I ๊ตฌ๊ฐ) ์ต์ด ์ฝ 7์ด ์ด๋ด์์ ์ฝ 220 V (rms AC)๊น์ง ๊ธ์์นํ ํ (II
๊ตฌ๊ฐ) ๋ณ๊ณก์ ์ ๋ํ๋ด๋ฉฐ ์์น์๋๊ฐ ๋ค์ ์ํ๋๋ค. ์ฝ 30์ด๊น์ง ์ง์ ์ ์ผ๋ก ์์นํ์ฌ ์ฝ 280 V ์ ๋์ ๋๋ฌํ๊ฒ ๋๋๋ฐ, (III ๊ตฌ๊ฐ) ๋ ๋ฒ์งธ
๋ณ๊ณก์ ์ดํ ์ผ์ ์๊ฐ ๋น๊ต์ ์ผ์ ํ ์ ์์ ์ ์งํ๋ฉด์ ์ฝ 270 V ๋ก ์ฝ๊ฐ์ฉ ๋ฎ์์ง๋ ๋ชจ์ต์ ๋ณด์ด๋ค๊ฐ (IV ๊ตฌ๊ฐ) 7๋ถ๊ฒฝ์ ๋ค์ ์์นํ์ฌ ์ต์ข
10๋ถ ์ข
๋ฃ์ง์ ์ฝ 290 V์๊น์ง ์ด๋ฅด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋๋ค. ์ ๋ฅ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ด๊ธฐ ๊ธ์์น ํ ๋ค์ ๊ฐ์ํ์ฌ ์ผ์ ์๊ฐ ์ ์ง๋๊ณ , 3๋ถ ์ดํ ์ถ๊ฐ๋ก ๊ฐ์ํ
๋ค์ ์ง์์ ์ธ ์ฆ๊ฐ๋ฅผ ์ํญ ๋ณด์ด๋ค๊ฐ 7๋ถ์ ์ด๋ฅด๋ฌ ์ต์ข
๊น์ง ๋์ฑ ์ฆ๊ฐํ๋ ํ์์ ๋ํ๋ด๊ณ ์๋ค. ์ด๋ฌํ ์ ๋ฅ์ ๋ณํ๋ ์ ์์ ๋ณํ๋ฅผ 4๊ฐ์ ๊ตฌ๊ฐ์ผ๋ก
๋ํ๋ธ ์์ ๊ณผ ๊ฑฐ์ ๋์ผํ๋ค. PEO์ฒ๋ฆฌ ๊ณผ์ ์์ ์ ๋ฅ ๋ฐ ์ ์์ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ์ฐํ๋ง์ ํ์ฑ ๋ฐ ์ฑ์ฅ๊ณผ ๋ฐ์ ํ ๊ด๋ จ์ด ์์ผ๋ฉฐ, ๋ณธ ์คํ๊ฒฐ๊ณผ์์ I
~ III ๊ตฌ๊ฐ์ ๊ธฐ์กด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์ ์ค๋ช
๋ 3๋จ๊ณ ๊ฑฐ๋๊ณผ ๋์ผํ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. I ๊ตฌ๊ฐ์์๋ ํ๋ฉด์์ ์ด์จ์ ๋ฅ(ionic current)๋ง์ผ๋ก
์คํํฌ๊ฐ ๋ฐ์ํ์ง ์์ ์ฑ ๊ฐ์ค๋ง ์ง์์ ์ผ๋ก ์์ฑ๋๋ฉฐ ์์ ์ฐํ๋ง์ด ํ์ฑ๋๋ ๊ตฌ๊ฐ์ด๋ค. II ๊ตฌ๊ฐ์ ์ ์ฐ ํ๊ดด์ ๋ฐ๋ผ ํ๋ฉด ์ ๋ฐ์ ๊ฑธ์ณ ๋ง์ดํฌ๋ก ์คํํฌ๊ฐ
๋ฐ์ํ๋๋ฐ, ์ ์์ ๋ฅ(electron current)์ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ๋ํ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ ์์ ๋ฅ๋ ์ด์จ์ ๋ฅ์ ๋ฌ๋ฆฌ ์ฐํ๋ง์ ํ์ฑ๊ณผ ๋ฌด๊ดํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ์์
์์น์ ์ ๋ฐํ์ง ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ง๊ณ ์๋ค. ์ ์ฒด ์ ๋ฅ์์ ์ ์์ ๋ฅ๊ฐ ์ฐจ์งํ๋ ๋น์จ์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ II ๊ตฌ๊ฐ์ด ๋๋๋ ์ง์ ์ธ ์๊ณ ์ ์(critical
voltage)์์ ์ ์์ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ๊ฐ 0์ ๊ฐ๊น์์ง๋ฉฐ III ๊ตฌ์ญ์ผ๋ก ๋ค์ด์๊ฒ ๋๋ค. III ๊ตฌ๊ฐ์์๋ II ๊ตฌ๊ฐ๋ณด๋ค ์ ์ฐจ ์คํํฌ์ ์๋ ๊ฐ์ํ์ง๋ง
๊ทธ ํฌ๊ธฐ๋ ์ปค์ง๊ฒ ๋๋ค [14]. ์ ๋ฅ๋ณํ์ ๊ด๋ จํด์ ๋ณธ ์คํ์์ ๋ํ๋ II, III ๊ตฌ๊ฐ์์์ ์ ๋ฅ๊ฐ์๋ ๋ฐฉ์ ํ์์ ์ํ ์ ๋ฅ, ์ฆ ์ ์์ ๋ฅ๊ฐ ์ ๋ฅ๊ธฐ๋ฅผ ํตํด ์ธ๊ฐ๋๋ ์ ๋ฅ๋ฅผ
์์์ํค๋ ์ญํ ์ ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ๊ธฐ์กด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ ์ฝ 7๋ถ ์ดํ ๋ฐ์ ํ๋ฐ๊ธฐ ๋ถ๋ถ์ ์ ์๊ณผ ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ค์ ์์นํ๋
IV ๊ตฌ๊ฐ์ ์ถ๊ฐ๋ก ๊ตฌ๋ถํ์๋ค. ๋ช๋ช ๊ธฐ์กด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์ 4๊ฐ์ ๋จ๊ณ๋ก ๊ตฌ๋ถํ์ฌ ์ค๋ช
ํ ๋ฐ ์์ผ๋, ์ด๋ค ๋๋ถ๋ถ์ด II๊ตฌ๊ฐ๊ณผ III๊ตฌ๊ฐ ์ฌ์ด์ ์ ์
๊ฑฐ๋ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ๊ฐ ์กฐ๊ฑด๋ณ๋ก ๋ค์ ๋ฌ๋ผ์ง๋ ๊ฒ์ ๊ตฌ๋ถํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์์ ํ์๊ณผ๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ๋ง๋ค. IV ๊ตฌ๊ฐ์์์ ์ ์ ๋ฐ ์ ๋ฅ์ ์์น์ ๊ทธ๋ฆผ 1 ๋ฐ 3์์ ๋ํ๋ธ ์ฐํ๋ง ํ์ฑ ๋ฐ ์ฑ์ฅ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ ํ๋ถ inner layer์ MgO ์ฐํ๋ง๊ณผ ๊ด๋ จํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ์ถํด ๋ณผ ์ ์๋ค. ๋ฐ์ ํ๋ฐ๋ถ์ ์ ์ ๋ฐ
์ ๋ฅ ์์น๊ณผ ๊ด๋ จํด Timoshenko๋ฅผ ๋น๋กฏํ Gebarowski ๋ฑ์ ์ฐ๊ตฌ๋ก๋ถํฐ ๋์์ง ๊ต๋ฅ์ ์์ negative phase ์ ์์ ์ํด ํ์ฑ๋
๋๋์ ์์๋ง์ด ์ ์ฐ์ ํญ ์ญํ ์ ํจ์ผ๋ก์จ ํฐ ๊ท๋ชจ์ ์ ๊ธฐํํ์ ๋ฐ์์ ์ ๋ฐํ๊ณ ์ด์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ๋ฅยท์ ์์ ์์น ๋ฐ ๋น ๋ฅธ MgO ์ฐํ๋ง ์ฑ์ฅ์ ์ ๋ฐํ๋
๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค [24,25].
๊ทธ๋ฆผ 7๋ PEO ์ฐํ๋ง๊ณผ ๋ชจ์ฌ AZ31B์ ๊ฒฝ๋๋ฅผ ์ธก์ ํ ๊ทธ๋ํ์ด๋ค. Outer layer์ inner layer์ ๊ตฌ๋ถ์ด ๊ฐ๋ฅํ PEO ๊ณต์ 8๋ถ๋ถํฐ
10๋ถ ๊น์ง ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์ ๋ํด ์ธก์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ ์๊ฐ์ ์ฆ๊ฐ์๋ ๋ฌด๊ดํ๊ฒ outer layer์ inner layer๋ ๊ฐ๊ฐ ํ๊ท 390 Hv์ 640
Hv์ ๊ฒฝ๋๊ฐ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋์๋ค. ์ด๋ ๋ชจ์ฌ์ธ AZ31B์ ๊ฒฝ๋๊ฐ์ด 65 Hv ์ ๋์ด๊ณ , ์ข
๋์ DOW17 ์๋
ธ๋ค์ด์ง ํผ๋ง์ ๊ฒฝ๋๊ฐ ์ฝ
250 Hv ์์ค์์ ๊ฐ์ํ ๋ PEO์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํตํด ๋งค์ฐ ๋์ ์์ค์ ๊ธฐ๊ณ์ ํ๋ฉด๋ฌผ์ฑ ํ๋ณด๊ฐ ๊ฐ๋ฅํจ์ ๋ํ๋ธ๋ค.
๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ PEO ์ฝํ
์ด ๋ด์์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ์์๋ณด๊ธฐ ์ํด 3.5 wt% NaCl ์ฉ์ก์์ ์ค์ํ ๋์ ์๋ถ๊ทน์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 8์ ๋ํ๋ด์๋ค. ๊ณก์ ๋ค์ ๊ฐ๋
์ฑ์ ๋๊ธฐ ์ํด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 5๋ถ ์ด๋ด์ ์ด์์ผ๋ก ๋๋์ด (a)์ (b)์ ๊ฐ๊ฐ ๋์ํ์๋๋ฐ, PEO์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํ์ง์์ AZ31B
๋ชจ์ฌ์ 5๋ถ ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ๋ฅผ ํจ๊ป ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ํ, ๋ถ๊ทน์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ ๋ถ์์ ์(Ecorr)์ ๋ถ์์ ๋ฅ๋ฐ๋(Icorr), ๋ถ๊ทน์ ํญ(Rp) ๊ฐ์ ์ฐ์ ํ์ฌ ํ 1์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด ๋, ๋ถ์์ ์ ยฑ100 mV ๋ฒ์๋ด์์ ์ธ์ฝํ์ฌ ์ ์ ์ ๊ต์ ์ผ๋ก๋ถํฐ ๋ถ์์ ๋ฅ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ์๋ค. ๋ํ ์ ์ ์ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ๋ก๋ถํฐ ์ ๋
ธ๋
๋ฐ ์บ์๋ ํํ ์์ ฮฒa ๋ฐ ฮฒc ๋ฅผ ๊ตฌํ๊ณ ์ (1)์ ํํ๋ Stern-Geary์์ ์ด์ฉํด ๋ถ๊ทน์ ํญ๊ฐ(Rp)์ ์ฐ์ ํ์๋ค.
5๋ถ์ด๋ด์์ ๋ถ์์ ์๋ -1.50 ~ -1.48 V ์ฌ์ด์ ๊ฐ์ ๋ํ๋ด๋ฉฐ ์ด๊ธฐ์ ํด๋นํ๋ 1๋ถ์ด๋ด์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์ ์ฝ 17 kฮฉ ์ด์์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋์
๋ถ๊ทน์ ํญ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค. ๋ฐ๋ฉด 2 ~ 5๋ถ ์ฌ์ด์ ๊ฒฝ์ฐ, 1๋ถ ์ด๋ด์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค ๋ณด๋ค ๋์ ๋ถ์์ ๋ฅ๋ฐ๋ ๋ฐ ๋ฎ์ ๋ถ๊ทน์ ํญ์ ๋ํ๋ธ๋ค. 5๋ถ
์ด๋ด์์๋ ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ๋ถ์์ ๋ฅ๋ฐ๋๋ ์ฆ๊ฐํ๊ณ , ๋ถ๊ทน์ ํญ์ ๊ฐ์ํ๋ฉฐ, ๋ถ์์ ์๋ ์ํญ ์์นํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์์
1๋ถ ์ด๋ด, ํนํ 5์ด์ 20์ด์ ๊ฒฝ์ฐ์์ ๋ฐ์์ด๊ธฐ ํ์ฑ๋๋ ์ ์ฐ์ธต(dielectric layer)๊ณผ ๋๋ถ์ด ๋ชจ์ฌ ๊ณ๋ฉด์ ์ง์ค๋๋ ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ MgF2์ ๊ธฐ์ฌ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด์ 2๋ถ ์ด์์ด ๋๋ฉด ๊ทธ๋ฆผ 1(d) ~ (g)์ 5(d) ~ (g)์ ๋ํ๋ธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ๊ธฐ๊ณต์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ ํ์์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋ค. ๊ธฐ์กด์ ์ฐ๊ตฌ๋ค์์๋ PEO์ฝํ
์ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋ด์์ฑ์ ์ฃผ์์ธ์๊ฐ ๋๋ ๊ฒ์ด ๋ณด๊ณ ๋
๋ฐ ์๋ค [17,18]. ๋ํ ๊ทธ๋ฆผ 3์์ ๋ํ๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด MgF2๋ ์ฐํ๋ง ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์ฐจ ํฉ์ด์ง๋ฉฐ ๊ณ๋ฉด์ ์ง์ค๋ ์ธต์ ์ด๋ฃจ์ง ๋ชปํจ์ผ๋ก์จ ๋ด์์ฑ์ ๋ํ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์ ์ฐจ ์ค์ด๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด๋์ ๋ด์์ฑ์
inner layer์ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ๋ฎ๊ณ , ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋๋ outer layer์ ๋ฐฉ์ ์ฑ๋์ธ ๊ธฐ๊ณต์ ํฌ๊ธฐ์ ์์กดํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ํํธ, 5์ด์
20์ด์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ฐ๊ฐ -1.21 ๋ฐ -0.71 V์ ์๋ถ๊ทน ์ํ์์ ์ ๋ฅ๋ฐ๋๊ฐ ๊ธ์ฆํ๋ ํํ๋ฅผ ๋ํ๋ด๋๋ฐ ์ด๋ ์ด๊ธฐ์ ํ์ฑ๋ ์์ ์ ์ฐ๋ง์ด ๋์
๊ณผ์ ์์ ๊ฒฌ๋์ง ๋ชปํ๊ณ ํ๊ดด๋๋๋ฐ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก, ์ด๋์ PEO ์ฝํ
์ธต์ ๋ณดํธํผ๋ง์ผ๋ก์ ์ถฉ๋ถํ ๊ฒฌ๊ณ ํ์ง ๋ชปํ๋ค๋ ์ ์ ์์ฌํ๋ค. (b)์ ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 6๋ถ
์ด์์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ 7๋ถ ์ด๋ด์ 8๋ถ ์ด์์ผ๋ก ๊ตฌ๋ณ๋๋ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ ์๋๋ฐ, 7๋ถ ์ด๋ด์ ๊ฒฝ์ฐ 5๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ์ ์ ์ฌํ ๊ฑฐ๋์ ๋ณด์ด๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, -1.44
๋ฐ -1.43 V์ ๋ถ์์ ์๊ฐ์ ๋ํ๋ธ๋ค. 8 ~ 10๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์๋ -1.32 ~ -1.29 V์ ๋ถ์์ ์๋ก ๋์ ๊ฐ์ ๋ํ๋ด๋ฉฐ, ๋ถ์์ ๋ฅ๋ฐ๋๊ฐ
ํฌ๊ฒ ์ค์ด๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋๊ณ ์๋ค. ๋ถ๊ทน์ ํญ ๋ํ 20 kฮฉ ์ด์์ผ๋ก ํฌ๊ฒ ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๋ ๊ทธ๋ฆผ 1(j) ~ (l)์ ๋ณด์ด๋ ๊ฒ๊ณผ ๊ฐ์ด MgO๋ฅผ ์ฃผ์์ผ๋ก ํ๋ inner layer์ ํ์ ํ ์ฑ์ฅ๊ณผ ์น๋ฐํ์ ์ํด ๊ธ๊ฒฉํ ๋ด์์ฑ ํฅ์์ด ๋ํ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ๋ค๋ง,
8๋ถ๊ณผ 9๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋์ ๊ณผ์ ์์กฐ๊ฑด์์ ์ ๋ฅ๋ฐ๋๊ฐ ๊ธ์ฆํ๋ ๋ชจ์ต์ ๋ณด์ด๋๋ฐ, MgO ์ฐํ๋ง์ ์น๋ฐ์ฑ ํน์ ๊ฒฌ๊ณ ์ฑ์ด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 10๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ์ ๋ฏธ์น์ง
๋ชปํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์, ์ต์ข
10๋ถ ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ฐ์ํ ๋ด์์ฑ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋๋ค. ์ด์์ ๋ถ๊ทน์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก๋ถํฐ ๋ชจ๋ PEO์ฒ๋ฆฌ
์๊ฐ์์ AZ31B ๋ง๊ทธ๋ค์ํฉ๊ธ์ ๋ํ ๋ด์์ฑ ํฅ์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ํนํ, inner layer๋ฅผ ๋๊ป๊ฒ ์ฑ์ฅ์ํด์ผ๋ก์จ ํ์ ํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ป์
์ ์์์ ์ ์ ์๋ค.
ํํธ, AZ31B ์์ฌ๊ฐ 3 wt%์ Al์ ํฌํจํ๊ณ ์์์ ๋ฐ๋ผ ๊ทธ ์ํฅ์ ์๊ฐํด ๋ณผ ์ ์์ผ๋, ์์ EDS ๋ฐ XRD ๊ฒฐ๊ณผ๋ค์ ์ฐํ๋ง๋ด Al
์์ ๋ฐ ๊ด๋ จ ํํฉ๋ฌผ์ ์ ์๋ฏธํ ๋ถํฌ๊ฐ ํ์ธ๋์ง ์์์ ๋ฐ๋ผ PEO ํผ๋ง ํ์ฑ๊ณผ ์ฑ์ฅ์ ๋น๋กฏํด ์ดํ ๋ด์์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ด ๊ทนํ ๋ฏธ๋ฏธํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 9์ ๋ด์์ฑ๊ณผ ๊ด๋ จํ์ฌ PEO ์ฐํ๋ง์ ์์ ์ฑ์ ํ๊ฐํ๊ธฐ ์ํด ์ค์ํ ์๊ฐ๋์ ๋ฅ ๊ณก์ ์ผ๋ก AZ31B ๋ชจ์ฌ์ ๋๋ถ์ด ์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 20์ด, 3๋ถ, 6๋ถ, 8๋ถ,
10๋ถ์ ๋ํด ๋ํ๋ด์๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์์ PEO ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํ์ง ์์ AZ31B ๋ชจ์ฌ์ ๊ฒฝ์ฐ, ๋งค์ฐ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ ๋ฅ๊ฐ ์ฆ๊ฐํ์ฌ ํผํฌ๋ฅผ ๋ํ๋ด๊ณ ์ฝ 15 mA์
๋น๊ต์ ์ผ์ ํ ํ๊ณ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. ๋ํ, ์ง์์ ์ธ ์ ๋ฅ ์ง๋์ ๋ณด์ด๋๋ฐ, ์ด๋ ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ ํ๋ฉด์์ ํผํ
์ ์ํ ๋ถ์์ด ๋ฐ์ํจ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ์
๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋ค. ์ด์๋ ๋ฌ๋ฆฌ PEO์ฒ๋ฆฌ๋ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์๋ ํ๊ณ์ ๋ฅ์ ๋๋ฌํ๊ธฐ๊น์ง ์๊ฐ์ง์ฐ์ด ๋ํ๋๋๋ฐ, 20์ด์ 3๋ถ, 6๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์์๋ ์ ๋ฅ์ฆ๊ฐ์
์ง์ฐํ์์ด ๋ํ๋๊ธฐ๋ ํ์ง๋ง 10๋ถ ๋ฐ 8๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์ ๋นํด 1000์ด ์ด๋ด์์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ ๋ฅ์ฆ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋๊ณ ์๋ค. 10๋ถ ๋ฐ 8๋ถ ์ฒ๋ฆฌํ
๊ฒฝ์ฐ ์ ๋ฅ์ฆ๊ฐ์ ์ง์ฐ์ด ์ฝ 3000์ด ์ด์์ด ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋๋ฉฐ, ํนํ 10๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ์ ๊ฐ์ฅ ์์ ๊ธฐ์ธ๊ธฐ๋ฅผ ๋ํ๋ธ๋ค. 4000์ด ์ด์์ ํ๊ณ์ ๋ฅ์
๊ด๋ จํด์ 3๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ AZ31B ๋ชจ์ฌ์ ๋๋ฑํ ์์ค์ ์ด๋ฅด๊ณ , 20์ด, 6๋ถ, 8๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ด๋ณด๋ค ๋ฎ์ ์ฝ 12 mA ์ ๋๋ฅผ ๋ํ๋๋ค. 10๋ถ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋
์ฝ 6 mA ์ ๋์ ๊ฐ์ฅ ๋ฎ์ ํ๊ณ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ณด์์ผ๋ก์จ ๋์ ์๋ถ๊ทน ๊ฒฐ๊ณผ ๋ํ๋ ๊ฐ์ฅ ์ฐ์ํ ๋ด์์ฑ๊ณผ ํจ๊ป ์ฅ์๊ฐ์ ๊ฑธ์น ์์ํ๊ฒฝ์์๋ ์ฐ์ํ ์์ ์ฑ์
๊ฐ๋ ๊ฒ์ ์ ์ ์๋ค.
Open pore density๋ฅผ ์ธก์ ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 10์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๋ ํ๋ฉด์ ๋ํ๋ ๊ธฐ๊ณต ๋๋ ํฌ๋๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒฐํฉ ์ค ๋ชจ์ฌ๊ณ๋ฉด๊น์ง ์ฐ๊ฒฐ๋ ์ด๋ฅธ๋ฐ โopen poreโ๋ฅผ ํ์ธํ ๊ฒ์ด๋ค. 1๋ถ์์ 10๋ถ๊น์ง
PEO์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ์ด ์ฆ๊ฐํจ์ ๋ฐ๋ผ open pore์ ์๊ฐ ์ ์ฐจ ๊ฐ์ํ๋ ๊ฒฝํฅ์ ๋ณด์ด๋ฉฐ ์ต์ข
์ฒ๋ฆฌ์๊ฐ 10๋ถ์ ๊ธฐ๊ณต์ ์๋ 171 ea/mm2์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๋ ์๊ฐ์ด ์ฆ๊ฐํ ์๋ก ์ฐ์ํ ๋ด์์ฑ์ ๋ํ๋ด์๋ ๋ถ๊ทน์ํ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ถํฉํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก, PEO ์ฐํ๋ง์ ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ open pore์
์๊ฐ ๊ฐ์ํ๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋์ ๋ถ๊ทน์ ํญ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ด์์ฑ ํฅ์์ ์์ธ์ด ๋๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ํํธ, ์ด๊ธฐ์ธ 5์ด์ 20์ด์์๋ ๊ฐ๊ฐ 13,536 ea/mm2, 2,580 ea/mm2์ open pore๋ก ์๋ฑํ๊ฒ ๋์ ์๋ฅผ ๋ํ๋ด์ด, ์ํธํ ๋ด์์ฑ์ ํ๋๋ด์๋ ๋ถ๊ทน์ํ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์๋ฐ๋๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๋ ์์ธํธ์ฐ ๋ฑ์ผ๋ก
์ด๋ฃจ์ด์ง ์ธก์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ถ์ ์ฉ์ก์ด ๋ณด๋ค ๊ฐํนํ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ๋ถ๊ทน์ํ ๊ฒฐ๊ณผ์์ ๋ํ๋ ๋ถ์์ ์ ๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋์ ๊ณผ์ ์ ์กฐ๊ฑด, ์ฆ ๊ทธ๋ฆผ 8(a)์ ๋ถ๊ทน ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ์์ โ0.5 V ์ด์๊ณผ ์ ์ฌํ ์ํ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๋๋ฐ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋๋ฐ, -0.5 V ์ด์์์ 5์ด์ 20์ด ์ฒ๋ฆฌํ ๊ฒฝ์ฐ๋ค์ด ๋์
์ ๋ฅ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ ์๋ค.
4. ๊ฒฐ ๋ก
AZ31B ๋ง๊ทธ๋ค์ ํฉ๊ธ์ ๋์์ผ๋ก KOH-์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ ์ ํด์ก ์ค์์ PEO์ฒ๋ฆฌ์ ์๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ฐํ๋ง์ ์ฑ์ฅ๊ฑฐ๋ ๋ฐ ๋๊ป ์ฑ์ฅ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ด์์ฑ์ ๋ณํ๋ฅผ
์กฐ์ฌํ์ฌ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๋ก ์ ์ป์๋ค.
1. PEO ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํตํด ํ์ฑ๋๋ ์ฐํ๋ง์ ๋ฐ์์ด๊ธฐ๋ถํฐ ์คํํฌ ๋ฐฉ์ ํ์๊ณผ ํจ๊ป ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ฅผ ์ฃผ์์ผ๋ก ํ๋ ๋ค๊ณต์ฑ์ outer layer๋ฅผ ์์ฃผ๋ก
์ฑ์ฅํ๋ค๊ฐ ๋ฐ์ ํ๋ฐ ์ผ์ ํ๊ณ ๋๊ป์ ๋ค๋ค๋ฅด๊ฒ ๋๋ฉฐ, ์ดํ under-layer ๋ฐฉ์ ์ด ์งํ๋๋ฉด MgO๋ฅผ ์ฃผ์์ผ๋ก ํ๋ inner layer๊ฐ ๋งค์ฐ
๋น ๋ฅธ ์๋๋ก ๋๊ป๊ฐ ๊ธ์ฑ์ฅํ๊ฒ ๋๋ ๋์์ ์น๋ฐํด์ง๋ค.
2. PEO ์ฐํ๋ง ํ์ฑ ๋ฐ ์ฑ์ฅ๊ณผ์ ์์ ์ ๋ฅ, ์ ์ ๋ณํ๋ ๋ค์์ ๋ค ๊ตฌ๊ฐ์ผ๋ก ๊ตฌ๋ถ๋๋ค. ๋ฐ์ ๊ทน์ด๊ธฐ ์ ์ฐ๋ง์ด ํ์ฑ๋๋ฉฐ ์ ์, ์ ๋ฅ๊ฐ ๋์์ ๊ธ์์นํ๋
I ๊ตฌ๊ฐ, ์ ์ฐํ๊ดด์ ํจ๊ป ์ ๋ฉด์ ์ธ ๋ง์ดํฌ๋ก ์คํํฌ๊ฐ ๋ฐ์๋๋ฉฐ, ์ ์์ ์ฐ์์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๋ ์ ๋ฅ๋ ๊ฐ์ํ๋ II ๊ตฌ๊ฐ, ํฌ๊ณ ์์ ์ ์ธ ์คํํฌ๊ฐ ๋ฐ์ํ๋ฉฐ,
์ ์ ๋ฐ ์ ๋ฅ๊ฐ ์ผ์ ํด์ง๋ III ๊ตฌ๊ฐ, ๋ฐ์ํ๊ธฐ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ์คํํฌ์ ํจ๊ป under-layer๋ฐฉ์ ์ด ๋ฐ์ํ๋ฉฐ, ์ ์ ๋ฐ ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ค์ ์์นํ๋ IV
๊ตฌ๊ฐ์ด๋ค. ์ด๋ค ๊ตฌ๊ฐ์์ I, IV ๊ตฌ๊ฐ์ ์ด์จ์ ๋ฅ๊ฐ II, III ๊ตฌ๊ฐ์ ์ ์์ ๋ฅ์ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ๋์ ๊ตฌ์ญ์ ํด๋นํ๋ค.
3. ๋์ ์๋ถ๊ทน์ํ์ ํตํ ๋ด์์ฑ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ, ์ด๊ธฐ 1๋ถ ์ด๋ด์๋ ํ์ฑ๋ ์ ์ฐ๋ง๊ณผ ๋ชจ์ฌ๊ณ๋ฉด์ ์ง์คํ์ฌ ์ธต์ ์ด๋ฃจ๋ MgF2์์ ๊ธฐ์ฌ๋ก ์ธํด ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ ๋ด์์ฑ์ ๋ํ๋ด์ง๋ง, ๋ถ์์ ๋ํ ์์ ์ฑ์ด ๋ค์ ๋จ์ด์ง๋ค. ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ outer layer๋ฅผ ์์ฃผ๋ก ์ฐํ๋ง ๋๊ป
์ฑ์ฅ์์๋ ์คํํฌ ๋ฐฉ์ ์ ์ฑ๋ ์ญํ ์ ํ๋ ๊ธฐ๊ณตํฌ๊ธฐ ์ฆ๊ฐ๊ฐ ๋ด์์ฑ ๊ฐ์์ ์ฃผ์ ์์ธ์ด ๋๋ฉฐ, ๋ฐ์ ํ๊ธฐ ์ฐ์ํ ๋ด์์ฑ๊ณผ ์ฐํ๋ง์ ์์ ์ฑ์ MgO์
inner layer์ ์ฑ์ฅ๊ณผ ์น๋ฐํ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ด๋ค.