The Journal of
the Korean Journal of Metals and Materials

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the Korean Journal of Metals and Materials

Monthly
  • pISSN : 1738-8228
  • eISSN : 2288-8241

Editorial Office


  1. ๋ถ€์‚ฐ๋Œ€ํ•™๊ต ์žฌ๋ฃŒ๊ณตํ•™๊ณผ (Department of Materials Science and Engineering, Pusan National University, Busan 46241, Republic of Korea)
  2. ํ•œ๊ตญ์ƒ์‚ฐ๊ธฐ์ˆ ์—ฐ๊ตฌ์› ์ฒจ๋‹จํ‘œ๋ฉด๊ณต์ •๊ทธ๋ฃน (Advanced Surface Coating & Processing R&D Group, Korea Institute of Industrial Technology, Busan 46744, Republic of Korea)



plasma electrolytic oxidation (PEO), AZ31B, corrosion resistance, potentiodynamic polarization

1. ์„œ ๋ก 

๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์€ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„, ํ‹ฐํƒ€๋Š„ ๋“ฑ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ๊ฒฝ๋Ÿ‰๊ธˆ์†์œผ๋กœ์„œ ์ง€์†์ ์ธ ๊ฐœ๋ฐœ์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฐ์—…์  ์ ์šฉ ํ™•๋Œ€ ๋ฐ ์‹œ์žฅ ํ™•๋Œ€ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ๋†’๊ฒŒ ๊ฑฐ๋ก ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ์žฌ๋ฃŒ์ด๋‹ค[1,2]. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜๊ณผ ๊ทธ ํ•ฉ๊ธˆ๋“ค์€ ๋‚ฎ์€ ๋‚ด์‹์„ฑ์œผ๋กœ ์ธํ•ด ์‹ค์šฉ์†Œ์žฌ๋กœ์„œ์˜ ์ œ์•ฝ์ด ๋”ฐ๋ฅธ๋‹ค. ํ‘œ๋ฉดํŠน์„ฑ์„ ๋ณด์™„ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ DOW17๋ฒ•๊ณผ HAE๋ฒ• ๋“ฑ์˜ ์•„๋…ธ๋‹ค์ด์ง• ํ‘œ๋ฉด์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ ๋‚ด์‹์„ฑ๊ณผ ๊ธฐ๊ณ„์  ๋ฌผ์„ฑ๋ฉด์—์„œ ๋ถ€์กฑํ•œ ์ธก๋ฉด์ด ๋งŽ์€ ๊ฒƒ์ด ์‚ฌ์‹ค์ด๋‹ค [3,4].

์ตœ๊ทผ 2000๋…„๋Œ€ ๋“ค์–ด ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด ๋ฐ˜์‘์„ ์ด์šฉํ•œ ์ด๋ฅธ๋ฐ” ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด์‚ฐํ™”(plasma electrolytic oxidation, PEO) ๋ฐฉ๋ฒ•์ด ๊ฐœ๋ฐœ๋˜์—ˆ๊ณ , ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์„ ๋น„๋กฏํ•œ ๊ฒฝ๋Ÿ‰๊ธˆ์† ํ•ฉ๊ธˆ์˜ ์ƒˆ๋กœ์šด ์–‘๊ทน์‚ฐํ™” ๊ธฐ์ˆ ๋กœ ์ฃผ๋ชฉ์„ ๋ฐ›์•„์˜ค๊ณ  ์žˆ๋‹ค. PEO๋Š” ์ „ํ•ด์•ก ์ค‘์—์„œ ๊ณ ์ „์•• ์ธ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์ŠคํŒŒํฌ(spark) ๋ฐฉ์ „ํ˜„์ƒ ๋ฐ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ๋ถ„์œ„๊ธฐ๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ์‚ฐํ™”๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ์กด์˜ ์—ฌํƒ€ ์•„๋…ธ๋‹ค์ด์ง•์— ๋น„ํ•ด ํฌ๊ฒŒ ํ–ฅ์ƒ๋œ ๋‚ด์‹์„ฑ๊ณผ ์›”๋“ฑํžˆ ๋†’์€ ๊ฒฝ๋„์˜ ํ”ผ๋ง‰์„ 100 ฮผm ์ด์ƒ์œผ๋กœ ์„ฑ์žฅ์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋™์•ˆ ๋น„๊ต์  ์งง์€ ๊ธฐ๊ฐ„์—๋„ ๋ถˆ๊ตฌํ•˜๊ณ  Keronite, Tagnite, Magoxide-coating ๋“ฑ์˜ ์ƒ์šฉ ๊ธฐ์ˆ ์ด ๊ฐœ๋ฐœ๋˜์—ˆ๊ณ , ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด์™€ ๊ด€๋ จํ•œ ์›๋ฆฌ, ์ „ํ•ด์•ก ๋ฐ ์ „๋ฅ˜ ์กฐ๊ฑด, ํ•ฉ๊ธˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜, ํ›„์ฒ˜๋ฆฌ ๋“ฑ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค์ด ํ™œ๋ฐœํžˆ ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค [5-9].

ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด ๊ณผ์ •์—์„œ์˜ ์ „๋ฅ˜๋Š” ์ฃผ๋กœ ์ „๊ธฐํ™”ํ•™์  ๋ฐ˜์‘์— ์˜ํ•ด ํ”ผ๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑ์‹œํ‚ค๋Š” ์ด์˜จ์ „๋ฅ˜(ionic current)์™€ ์ „๊ธฐ ๋ฐฉ์ „ ํ˜„์ƒ์— ๋”ฐ๋ฅธ ์ „์ž์ „๋ฅ˜(electron current)์˜ ๋‹จ๋… ํ˜น์€ ํ˜ผํ•ฉ ๊ธฐ์—ฌ๋กœ ์„ค๋ช…๋œ๋‹ค [10-12]. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ „๋ฅ˜๋“ค์˜ ๊ธฐ์—ฌ๋Š” ์ „ํ˜•์ ์ธ ์ „์••๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๊ฒŒ ๋˜๋Š”๋ฐ, ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ํ•ฉ๊ธˆ์˜ PEO๊ณผ์ •์—์„œ ์ „์••๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™๊ณผ ๊ด€๋ จํ•ด Guo ๋“ฑ์€ ์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ์ „์•• ๊ฑฐ๋™์ด 2๋ฒˆ์˜ ๊ตด๊ณก์ ์„ ํฌํ•จํ•˜๋Š” 3๊ฐœ์˜ ์˜์—ญ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚จ์„ ๋ณด์˜€๋‹ค [13,14]. ์ด๋“ค์€ ๋˜ํ•œ PEO๊ณผ์ •์—์„œ ๊ธฐ๊ณต์˜ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ๊ทธ ์ˆ˜๊ฐ€ ์ค„์–ด๋“œ๋Š” ๋™์‹œ์— ํฌ๊ธฐ๋Š” ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ฒฝํ–ฅ์„ ๋ณด๊ณ ํ•˜๋Š” ํ•œํŽธ, forsterite์˜ Mg2SiO4์™€ MgO๊ฐ€ ์‚ฐํ™”๋ง‰์„ ๊ตฌ์„ฑํ•˜๋Š” ์ฃผ์š” ์ƒ์ด ๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•˜์˜€๋‹ค. Chang ๋“ฑ๋„ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์˜ PEO๊ณผ์ •์—์„œ ์ธ๊ฐ€์ „๋ฅ˜์— ๋”ฐ๋ผ ๋™์ผํ•œ 3๋‹จ๊ณ„์˜ ์ „์••๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™์—์„œ ์ฒซ ๋ฒˆ์งธ์™€ ๋‘ ๋ฒˆ์งธ ๋‹จ๊ณ„์˜ ์ „์••์ƒ์Šน ์†๋„์— ์ฐจ์ด๊ฐ€ ๋‚˜ํƒ€๋‚จ์„ ๋ณด์˜€์œผ๋ฉฐ, ์™ธ๋ถ€๋กœ ์„ฑ์žฅํ•œ ํ”ผ๋ง‰๋‘๊ป˜์™€ ๋‚ด๋ถ€๋กœ์˜ ๋‘๊ป˜ ์‚ฌ์ด์˜ ๋น„์œจ์ด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ 6:4์—์„œ 4:6 ์ •๋„๋กœ ๋‹ฌ๋ผ์ง์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค [15].

๋‹ค์–‘ํ•œ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ ์ข…๋ฅ˜์— ๋”ฐ๋ฅธ PEO์ฒ˜๋ฆฌ ๋ฐฉ์ „ํŠน์„ฑ๋“ค๊ณผ ํ˜•์„ฑ๋œ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜, ๊ฒฝ๋„, ๋‚ด์‹์„ฑ๋“ค์ด Arrabal ๋“ฑ์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋ณด๊ณ ๋œ ๋ฐ” ์žˆ๋‹ค [16]. ๋˜ํ•œ, Walsh ๋“ฑ์€ AZ91 ํ•ฉ๊ธˆ์—์„œ PEO๊ฐ€ ์‚ฐํ™”๋ง‰๋‚ด ๊ธฐ๊ณต์ด ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ์ ์€ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— DC ์•„๋…ธ๋‹ค์ด์ง•์— ๋น„ํ•ด ์—ผ์ˆ˜๋ถ„๋ฌด์— ๋Œ€ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ์ด ์•ฝ 3๋ฐฐ๋กœ ๊ธธ์–ด์ง€๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์„ค๋ช…ํ•˜์˜€๋‹ค [17]. Barchiche ๋“ฑ์€ ์ „ํ•ด์•ก์˜ KOH๋†๋„, ์•„๋…ธ๋‹ค์ด์ง• ์‹œ๊ฐ„ ๋ฐ ์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๊ฐ€ AZ91D ํ•ฉ๊ธˆ์˜ ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ์–‘๋ถ„๊ทน๊ณผ ์Œ๋ถ„๊ทน๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ์‹œ๊ฐ„๋Œ€์ „๋ฅ˜๋ฒ•(chronoamperometry) ์‹คํ—˜์„ ํ†ตํ•ด ์กฐ์‚ฌํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋ณดํ˜ธํŠน์„ฑ์ด ๊ธฐ๊ณต๋ฅ ์— ํฌ๊ฒŒ ์˜์กดํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด๊ณ ํ•˜์˜€๋‹ค [18]. Ma ๋“ฑ๋„ AM50ํ•ฉ๊ธˆ์— ๋Œ€ํ•œ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ KOH ๋†๋„๊ฐ€ ์ฝ”ํŒ…์˜ ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๊ฐ€์žฅ ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์น˜๋ฉฐ, ์ฝ”ํŒ…์˜ ์ƒ์กฐ์„ฑ, ๋‘๊ป˜ ๋ฐ ๊ท ์ผ์„ฑ์˜ ์›์ธ์œผ๋กœ ๋‚ด์‹์„ฑ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค๊ณ  ํ•˜์˜€๋‹ค [19]. Liang ๋“ฑ์€ AM60ํ•ฉ๊ธˆ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ KOH ์ „ํ•ด์•ก์„ ๊ธฐ๋ณธ์œผ๋กœ ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ์™€ ์ธ์‚ฐ์—ผ์˜ ์ฒจ๊ฐ€์— ๋Œ€ํ•œ ํŠน์„ฑ ์ฐจ์ด๋ฅผ ์—ฐ๊ตฌํ•˜์—ฌ, ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐ€ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๊ฒฝ๋„๊ฐ€ ๋†’๊ณ  ๋‚ด๋งˆ๋ชจ์„ฑ์ด ์šฐ์ˆ˜ํ•˜๋‹ค๊ณ  ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋™์ „์œ„๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜์„ ํ†ตํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ ๋น„๊ต์—์„œ ๋‘ ๊ฒฝ์šฐ ๋ชจ๋‘ PEO์ฒ˜๋ฆฌํ•˜์ง€ ์•Š์€ ์ƒํƒœ์— ๋น„ํ•ด ํ–ฅ์ƒ๋œ ๋‚ด์‹์„ฑ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋Š”๋ฐ, ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋ฅผ ์ฒจ๊ฐ€ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ธ์‚ฐ์—ผ์„ ์ฒจ๊ฐ€ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋ณด๋‹ค๋„ ์šฐ์ˆ˜ํ•˜๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค [20]. Zhang ๋“ฑ์˜ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„-์Šคํ…Œ์ธ๋ฆฌ์Šค์Šคํ‹ธ-๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์˜ ๊ฐˆ๋ฐ”๋‹‰ ๋ถ€์‹์‹คํ—˜์—์„œ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์˜ PEO์ฒ˜๋ฆฌ ๋‘๊ป˜ ์ฆ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ ์ „์ฒด ๋ถ€์‹์†๋„๋Š” ๋Šฆ์–ด์ง€๋ฉฐ, ๋ถ€์‹์— ์˜ํ•œ ๋ฌด๊ฒŒ ๊ฐ์†Œ๊ฐ€ ์ตœ๋Œ€ 100๋ฐฐ๊นŒ์ง€ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ฐ” ์žˆ๋‹ค [21].

์ด์ฒ˜๋Ÿผ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์˜ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์™€ ๊ด€๋ จํ•œ ๋งŽ์€ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์™”์Œ์—๋„ ๋ถˆ๊ตฌํ•˜๊ณ , ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ์ด์™€ ๊ด€๋ จํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ ๋“ฑ ํŠน์„ฑ์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋Š” ์—ฌ์ „ํžˆ ๊ตฌ์ฒด์ ์ด๊ณ  ๋ช…ํ™•ํ•˜๊ฒŒ ์ œ์‹œ๋˜์ง€ ๋ชปํ•œ ๋ถ€๋ถ„๋“ค์ด ์žˆ๋‹ค. ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์—์„œ๋Š” AZ31B ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ KOH-์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ ์ „ํ•ด์•ก ์ค‘์—์„œ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์„ฑ์žฅ๊ฑฐ๋™์„ ๋ฉด๋ฐ€ํžˆ ์กฐ์‚ฌํ•จ๊ณผ ์•„์šธ๋Ÿฌ ๋‘๊ป˜ ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋‚ด์‹์„ฑ์˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ „๊ธฐํ™”ํ•™์  ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ํ†ตํ•ด ๋ฐํžˆ๊ณ ์ž ํ•˜์˜€๋‹ค.

2. ์‹คํ—˜ ๋ฐฉ๋ฒ•

์—ฐ๊ตฌ์—๋Š” 3 mm ๋‘๊ป˜์˜ ํŒ์žฌ AZ31B ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์˜€๊ณ , PEO ์ฒ˜๋ฆฌ๋ฉด์ ์€ 20 cm2์œผ๋กœ ํ•˜์˜€๋‹ค. ์‹œํŽธ์˜ ์ „์ฒ˜๋ฆฌ๋กœ #600์˜ ์—ฐ๋งˆํฌ๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ํ‘œ๋ฉด์„ ์—ฐ๋งˆํ•œ ๋‹ค์Œ ์ค‘์„ฑ ์šฉ์•ก์—์„œ ์„ธ์ฒ™ํ•˜๊ณ  ๊ณต๊ธฐ๋กœ ๋ธ”๋กœ์ž‰ ๊ฑด์กฐํ•˜์˜€๋‹ค. ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „ํ•ด์— ์‚ฌ์šฉ๋œ ์ „ํ•ด์•ก์€ 1.5 g/L KOH + 5 g/L KF + 8 g/L Na2O(SiO2)xยทxH2O์˜ ์กฐ์„ฑ์„ ๊ฐ–๋Š” ํฌ๋ฐ•(dilute)๋†๋„์˜ ์•Œ์นผ๋ฆฌ ์ˆ˜์šฉ์•ก์œผ๋กœ ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ „ํ•ด์žฅ์น˜๋Š” 10 ๋ฆฌํ„ฐ๊ธ‰ ์ „ํ•ด์กฐ์™€ ๋ƒ‰๊ฐ์žฅ์น˜ ๋ฐ ์ •๋ฅ˜๊ธฐ๋กœ ๊ตฌ์„ฑํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์ƒ๋Œ€์ „๊ทน์€ 2 mm ๋‘๊ป˜์˜ 304ํ˜• ์Šคํ…Œ์ธ๋ฆฌ์Šค ์Šคํ‹ธ ํŒ์œผ๋กœ ์‹œํŽธ์ฒ˜๋ฆฌ๋ฉด์ ์˜ 20๋ฐฐ ์ด์ƒ์˜ ๋ฉด์ ์„ ๊ฐ–๋„๋ก ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ „ํ•ด์—๋Š” 380 V, 60 Hz, 3์ƒ ๊ต๋ฅ˜์˜ ์ž…๋ ฅ ์ „์›์„ ๊ฐ–๋Š” ์ •๋ฅ˜๊ธฐ๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ์ถœ๋ ฅ์ „๋ฅ˜๋Š” ์ •ํ˜„ํŒŒ์˜ ๋‹จ์ƒ ๊ต๋ฅ˜๋กœ์„œ ํ”ผํฌ๊ฐ’์„ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ 1,000 mA/cm2 ์˜ ์กฐ๊ฑด์œผ๋กœ ์ธ๊ฐ€ ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋˜ํ•œ PEO์ฒ˜๋ฆฌ ๊ณผ์ •์—์„œ์˜ ์‹ค์ œ ์ „๋ฅ˜ ์ถœ๋ ฅ์€ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ์ œ์–ด ํ”„๋กœ๊ทธ๋žจ์— ์˜ํ•ด ๋ณด์ƒํ•˜์—ฌ ๋ณ€๋™๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ „ํ•ด์•ก์˜ ์˜จ๋„๋Š” ์ฒ˜๋ฆฌ๊ฐœ์‹œ ์ „ 10 ยฐC๋กœ ํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์ฒ˜๋ฆฌ๊ณผ์ •์—์„œ ์ „๊ทน๊ฐ€์—ด์— ์˜ํ•œ ์˜จ๋„์ƒ์Šน์„ 20 ยฐC ์ด๋‚ด์—์„œ ์œ ์ง€๋˜๋„๋ก ํ•˜์˜€๋‹ค.

PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ๊ฑฐ๋™์„ ๊ณ ์ฐฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋งค 1๋ถ„ ๋‹จ์œ„๋กœ ์‹œ๊ฐ„์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๋ฉฐ, ์ตœ๋Œ€ 10๋ถ„๊นŒ์ง€ ์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ดˆ๊ธฐ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ํ™•์ธํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด 5์ดˆ์™€ 20์ดˆ ๋™์•ˆ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ์ƒ˜ํ”Œ์„ ์ถ”๊ฐ€ํ•˜์—ฌ ์ค€๋น„ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ „์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ(Hitachi, SU5000) ๊ด€์ฐฐ์„ ํ†ตํ•ด ์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‹จ๋ฉด ๋ฐ ํ‰๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง€๋ฅผ ํ™•์ธํ•จ๊ณผ ์•„์šธ๋Ÿฌ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์‹œ๊ฐ„ ๋ณ€ํ™”์— ๋”ฐ๋ฅธ PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์›์†Œ ๋ถ„ํฌ๋ฅผ ์•Œ์•„๋ณด๊ธฐ ์œ„ํ•ด EDS(HORIBA, EMAX)๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ์กฐ์‚ฌํ•˜์—ฌ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค.

PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์— ๋Œ€ํ•ด X์„  ํšŒ์ ˆ๋ถ„์„์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ ์ƒ(phase)๋ถ„์„์„ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. ์ด๋•Œ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์™ธ๋ถ€ ํ‘œ๋ฉด๊ณผ ๋‚ด๋ถ€๋ฉด์„ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜์—ฌ ๋ถ„์„ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋‚ด๋ถ€๋ฉด์€ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜๊ฐ€ ์•ฝ 40 ฮผm๊ฐ€ ๋‚จ์„ ๋•Œ ๊นŒ์ง€ ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ๋ถ„์„์— ์‚ฌ์šฉํ•˜์˜€๋‹ค. ํšŒ์ ˆ๋ถ„์„์กฐ๊ฑด์€ Cu Kฮฑ radiation (ฮป=0.15406)์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ 2ฮธ = 10ยฐ ~ 80ยฐ, ์Šคํ… ํฌ๊ธฐ 0.05ยฐ๋กœ ํ•˜์˜€๋‹ค.

ํ•œํŽธ ์ตœ๋Œ€ 10๋ถ„๊นŒ์ง€ PEO ์ฒ˜๋ฆฌ๊ณผ์ •์—์„œ ์ „์•• ๋ฐ ์ „๋ฅ˜๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™์„ ์ธก์ •(Keithley, DMM6500 / Fluke, DMM 289)ํ•˜์˜€๊ณ , ํ˜•์„ฑ๋œ ์‚ฐํ™”๋ง‰๋“ค์˜ ๋‹จ๋ฉด์กฐ์ง์— ๋Œ€ํ•ด ๋งˆ์ดํฌ๋กœ๋น„์ปค์Šค ๊ฒฝ๋„(Mitutoyo, HM-220)๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜์—ฌ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๊ธฐ๊ณ„์  ๋ฌผ์„ฑ์„ ์กฐ์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. ๊ฒฝ๋„์ธก์ •์€ ํ”ผ๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜์™€ ์••ํ”์˜ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ณ ๋ คํ•˜์—ฌ 0.245 N์˜ ํ•˜์ค‘์œผ๋กœ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๊ฐ ๋ถ€์œ„์— ๋Œ€ํ•ด 9๊ตฐ๋ฐ์”ฉ ์ธก์ • ํ›„ ๊ทธ ํ‰๊ท ๊ฐ’์„ ์‚ฐ์ •ํ•˜์˜€๋‹ค.

์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋‚ด์‹์„ฑ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋™์ „์œ„๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜(potentiodynamic polarization)์„ ํ†ตํ•ด ๋น„๊ต ๋ถ„์„ํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์ „์œ„์ฐจ๊ณ„(potentiostat) (AMETEK, PARSTAT4000)์™€ 1 cm2์˜ ์‹œํŽธ ๋…ธ์ถœ ๋ฉด์ ์„ ๊ฐ–๋Š” Flat cell (PARC model. K0235)์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค. ์‹œํ—˜์€ 3.5 wt% NaCl์šฉ์•ก์—์„œ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์ „ํ•ด์•ก์— ๋Œ€ํ•œ ๋ณ„๋„์˜ ํƒˆ๊ธฐ์ฒ˜๋ฆฌ ์—†์ด ๋Œ€๊ธฐํฌํ™” ์ƒํƒœ๋กœ ์‹ค์˜จ์„ ์œ ์ง€ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ „์œ„ ๋ฒ”์œ„ ๋ฐ ์ฃผ์‚ฌ์†๋„๋Š” ๊ฐ๊ฐ โ€“1.8์—์„œ โ€“0.25 V (vs. Ag/AgCl), 5 mV/sec.๋กœ ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์‹œ๊ฐ„๋Œ€์ „๋ฅ˜๋ฒ•์„ ํ†ตํ•ด ํ”ผํŒ…(pitting)๊ฑฐ๋™๊ณผ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ํ•จ๊ป˜ ํ‰๊ฐ€ํ•˜์˜€๋‹ค. 3.5 wt% NaCl ์šฉ์•ก์„ ์ด์šฉํ•ด Ecorr + 200 mV ์˜ ์กฐ๊ฑด์œผ๋กœ ๊ณผ์ „์••์„ ์ธ๊ฐ€ํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ ์ „๋ฅ˜๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜์˜€๋‹ค.

PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ๊ณ ์ฐฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ open pore(defect) density๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ธก์ •์€ 3.5 wt% NaCl ์šฉ์•ก์— 1 ์‹œ๊ฐ„ ์นจ์  ํ›„ 60 g/L CH3COOH + 5 g/L CuSO4ยท5H2O + 15 g/L ZnCl2ยท7H2O ์šฉ์•ก์— 1 ๋ถ„๊ฐ„ ์นจ์  ์ฒ˜๋ฆฌํ•˜์—ฌ ์ˆœ์ˆ˜๋กœ ์„ธ์ฒ™ํ•œ ๋‹ค์Œ ๊ฑด์กฐ์‹œ์ผœ ํ‘œ๋ฉด์œผ๋กœ ์ ์ƒ ๋Œ์ถœ๋œ ๋ถ€์‹์ƒ์„ฑ๋ฌผ์˜ ์ˆ˜๋ฅผ 200๋ฐฐ์œจ์˜ ๊ด‘ํ•™ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ ๊ด€์ฐฐ์„ ํ†ตํ•ด ์„ธ๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์กŒ๋‹ค [22,23].

3. ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ

๊ทธ๋ฆผ 1์€ PEO์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‹จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง€๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. ๋ชจ๋“  ๋‹จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง€์—์„œ outer layer์™€ inner layer๋กœ ๊ตฌ๋ณ„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” 2๊ฐœ์˜ ์ธต์„ ์ด๋ฃจ๋Š” ์ „ํ˜•์ ์ธ PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. (a) 5์ดˆ ๋ฐ (b) 20์ดˆ์—์„œ๋Š” ์•ฝ 5 ฮผm ์ด๋‚ด์˜ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ๊ฐ–๋Š” ์–‡์€ ๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ๋ชจ์žฌ์™€์˜ ๊ณ„๋ฉด์— 1 ฮผm ๋ฏธ๋งŒ์˜ ์—ฐ์†์ ์ธ ์ธต๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ๋‹ค๊ณต์„ฑ์˜ ์™ธ๋ถ€ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, (c) 1๋ถ„ ์ดํ›„ (h) 6๋ถ„์— ์ด๋ฅด๊ธฐ๊นŒ์ง€ ์•ฝ 10 ~ 35 ฮผm ๋‘๊ป˜๋กœ ํ”ผ๋ง‰์ด ๋‘๊บผ์›Œ์ง์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ด๋“ค 6๋ถ„ ์ด๋‚ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ outer layer๋Š” ํฐ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋งŽ์€ ๋ถˆ๊ทœ์น™์ ์ธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ€์ง€๊ณ , inner layer ์—ญ์‹œ ๋น„๊ต์  ์ž‘๊ณ  ๋งŽ์€ ๊ธฐ๊ณต์˜ ๋‹ค๊ณต์„ฑ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ™•์ธ๋œ๋‹ค. ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ (i) 7๋ถ„ ์ด์ƒ์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ๋Š” ์‹œ๊ฐ„ ์ฆ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ inner layer๊ฐ€ ๋‘๊ป๊ฒŒ ์„ฑ์žฅํ•จ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๋‚ด๋ถ€ ๊ธฐ๊ณต์ด ๊ฐ์†Œ๋˜๋ฉฐ ์น˜๋ฐ€ํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋ฉฐ ์น˜๋ฐ€ํ•ด์ง„ inner layer๋Š” ๋‹ค์ˆ˜์˜ ํฌ๋ž™์„ ํฌํ•จํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ๊ด€์ฐฐ๋œ๋‹ค. Outer layer์—์„œ์˜ ํฌ๋ž™์€ (g) 5๋ถ„ ์ด์ƒ์˜ ๋ชจ๋“  ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ํ•œํŽธ, ์ตœ๋Œ€ (l) 10๋ถ„๊นŒ์ง€ ์ฒ˜๋ฆฌํ•˜์—ฌ ํ˜•์„ฑ๋œ ํ”ผ๋ง‰์˜ ์ „์ฒด ๋‘๊ป˜๋Š” ์•ฝ 90 ฮผm์— ์ด๋ฅด๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค.

๋‹จ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง€๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์ด๋ฏธ์ง€ ๋ถ„์„ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ๊ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ํ‰๊ท ๋‘๊ป˜๋ฅผ ์‚ฐ์ •ํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ์ „์ฒด ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๋‘๊ป˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 2(a)์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ „์ฒด์ ์œผ๋กœ ๋ฐ˜์‘ ์ดˆ๊ธฐ์™€ ๋”๋ถˆ์–ด 6๋ถ„ ์ดํ›„ ๊ธ‰๊ฒฉํ•œ ๋‘๊ป˜ ์ฆ๊ฐ€๊ฐ€ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ์—ญ โ€˜Sโ€™์ž ํ˜•ํƒœ์˜ ๊ฑฐ๋™์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ฆผ 1์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ inner layer์™€ outer layer์˜ ํ‰๊ท ์ ์ธ ๋‘๊ป˜๋ฅผ ํ•จ๊ป˜ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋Š”๋ฐ, 6๋ถ„ ์ด๋‚ด๊นŒ์ง€๋Š” outer layer๊ฐ€ inner layer์— ๋น„ํ•ด ๋” ํฐ ๋น„์œจ์„ ๋ณด์ด๋ฉฐ, 8๋ถ„ ์ดํ›„ ์‚ฐํ™”๋ง‰์—์„œ๋Š” inner layer๊ฐ€ ์ „์ฒด ๋‘๊ป˜์—์„œ ์ฐจ์ง€ํ•˜๋Š” ๋น„์œจ์ด ๋ณด๋‹ค ๋†’์•„์ง€๋ฉฐ ๊ทธ ๋‘๊ป˜ ์ฆ๊ฐ€๊ฐ€ ํ˜„์ €ํ•˜๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ์Œ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด outer layer๋Š” ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 2๋ถ„๊นŒ์ง€ ์•ฝ 15 ฮผm ๋‘๊ป˜๋กœ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ํ˜•์„ฑ๋œ ๋‹ค์Œ ์ตœ์ข… 10๋ถ„์— ์ด๋ฅด๊ธฐ๊นŒ์ง€ ์•ฝ 25 ฮผm ์ด๋‚ด์˜ ๋‘๊ป˜๋กœ ์ฆ๊ฐ€ ํญ์ด ์ž‘๋‹ค.

๋˜ํ•œ, ์ด๋ฅผ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์„ฑ์žฅ์†๋„๋กœ ํ™˜์‚ฐํ•˜์—ฌ ๊ทธ๋ฆผ 2(b)์— ํ•จ๊ป˜ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ดˆ๊ธฐ 1๋ถ„ ์ด๋‚ด์—์„œ ๋ถ„๋‹น 10 ฮผm ์ด์ƒ์˜ ์†๋„๋กœ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์„ฑ์žฅํ•จ์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, 5์ดˆ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ •๋ฅ˜๊ธฐ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ์˜ ์ „๋ฅ˜์ƒ์Šน ์‹œ๊ฐ„์ด ํฌํ•จ๋˜๋ฉฐ, ํ”Œ๋ผ์ฆˆ๋งˆ ํ˜น์€ ๋ฐฉ์ „ํ˜„์ƒ๊ณผ ๋ฌด๊ด€ํ•˜๊ฒŒ ์ „๊ธฐํ™”ํ•™์  ๋ฐ˜์‘์— ์˜ํ•ด ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ ๋“ฑ ์‚ฐํ™”๋ง‰์ด ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. 20์ดˆ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ์ŠคํŒŒํฌ(micro-spark) ๋ฐœ์ƒ์ด ์ˆ˜๋ฐ˜๋˜๊ธฐ๋Š” ํ•˜์ง€๋งŒ ์•ž ๋‹จ๊ณ„์—์„œ ํ˜•์„ฑ๋œ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์ง€์†์ ์ธ ๋‘๊ป˜ ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค.

์ดํ›„ ์ „์ฒด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์˜ ์ ˆ๋ฐ˜์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” 5๋ถ„์— ์ด๋ฅด๊ธฐ๊นŒ์ง€ ์„ฑ์žฅ์†๋„๋Š” ์ ์ฐจ ๊ฐ์†Œํ•˜์—ฌ ์•ฝ 2 ฮผm/min์— ์ด๋ฅด๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. 6๋ถ„ ์ดํ›„ ํ›„๋ฐ˜๋ถ€๊ฐ€ ๋˜๋ฉด์„œ ๋‹ค์‹œ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜์—ฌ 10 ฮผm/min ์ด์ƒ์œผ๋กœ ์ตœ๋Œ€ ์•ฝ 18 ฮผm/min์˜ ์„ฑ์žฅ ์†๋„๋ฅผ ๋ณด์ด๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. ์ด์ฒ˜๋Ÿผ ์„ฑ์žฅ ์†๋„๋Š” PEO์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ์ดˆ๊ธฐ์™€ ํ›„๊ธฐ๋กœ ๊ฐˆ์ˆ˜๋ก ๋นจ๋ผ์ง€๊ณ  ์ค‘๊ฐ„๋‹จ๊ณ„์—์„œ ๋А๋ฆฐ ํ˜•ํƒœ์ธ โ€˜Uโ€™์žํ˜• ๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค.

ํ•œํŽธ, ๊ทธ๋ฆผ 3์— EDS(energy dispersive spectroscopy)๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ์กฐ์‚ฌํ•œ ์‹œ๊ฐ„ ๋ณ€ํ™”์— ๋”ฐ๋ฅธ PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์›์†Œ ๋ถ„ํฌ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋‹จ๋ฉด ํ˜•์ƒ์˜ ํŠน์ง•์„ ๋ฐ˜์˜ํ•˜์—ฌ ๊ทน์ดˆ๊ธฐ์˜ 20์ดˆ๋ฅผ ๋น„๋กฏํ•ด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์˜ ์ „๋ฐ˜๋ถ€์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” 2๋ถ„ ๋ฐ ์ตœ์ข… 10๋ถ„์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ์›์†Œ๋Š” ์ „ํ•ด์•ก์˜ ์„ฑ๋ถ„ ๋“ฑ์„ ๊ณ ๋ คํ•˜์—ฌ Mg, O, Si, F, Al์˜ ๋ถ„ํฌ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. ๋จผ์ € ์‚ฐ์†Œ์™€ ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ชจ๋“  ๊ฒฝ์šฐ์˜ ์ฝ”ํŒ…์ธต ์ „์ฒด์—์„œ ๋ถ„ํฌํ•˜๋ฉฐ, ์ด๋Š” outer layer์™€ inner layer ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๋ณธ์ ์œผ๋กœ ์‚ฐํ™”๋ฌผ ๊ตฌ์กฐ์ž„์„ ์‹œ์‚ฌํ•˜๋Š” ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋‹ค. ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ชจ๋“  outer layer์— ์ง‘์ค‘์ ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ™•์ธ๋˜๊ณ  ์žˆ์–ด, outer layer๋Š” ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๊ณ„ ์ƒ์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •ํ•ด ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, inner layer์— ์žˆ์–ด ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜์˜ ๋ถ„ํฌ์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜์€ ๋ถ„ํฌ๊ฐ€ ์ ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ถ„ํฌ๋Š” 10๋ถ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ์—์„œ ํ˜„์ €ํžˆ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋ฟ๋งŒ ์•„๋‹ˆ๋ผ, 20์ดˆ์— ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ชจ์žฌ ๊ณ„๋ฉด์˜ ์—ฐ์†์ ์ธ ์ธต์—๋Š” ๋ถˆ์†Œํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ด ์ง‘์ค‘์ ์œผ๋กœ ํ˜•์„ฑ๋˜์–ด ์žˆ์Œ์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ์ „ํ•ด์•ก ์ค‘ KF์— ์˜ํ•ด ํ˜•์„ฑ๋œ MgF2 ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ๋กœ ์ถ”์ •๋œ๋‹ค. 2๋ถ„ ๋ฐ 10๋ถ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ์—์„œ์˜ ๋ถˆ์†Œ ๋ถ„ํฌ๊ฐ€ ๋ถˆ์—ฐ์†์ ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ MgF2 ๋Š” ์ดˆ๊ธฐ ๊ณ„๋ฉด์—์„œ ํ˜•์„ฑ๋œ ํ›„ ์ฝ”ํŒ…์ธต ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ผ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ๋‚ด๋ถ€๋กœ ๋ถ„์‚ฐ๋˜์–ด ๊ฐ€๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 20์ดˆ ์ดํ•˜์™€ ๊ฐ™์€ ์ดˆ๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ 2๋ถ„ ์ด์ƒ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์™€๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ MgF2 ์™€ ์ˆœ์ˆ˜ ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋กœ ์ฝ”ํŒ…์ธต์ด ๊ตฌ์„ฑ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. Al์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ์‚ฐํ™”๋ง‰๋‚ด ๊ฐ€์‹œ์ ์ธ ๋ถ„ํฌ๊ฐ€ ํ™•์ธ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค.

PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์„ฑ๋ถ„์„ ๋ณด๋‹ค ๋ช…ํ™•ํžˆ ํ™•์ธํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด 10๋ถ„๊ฐ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ์ฝ”ํŒ…์ธต์— ๋Œ€ํ•ด outer layer์™€ inner layer๋ฅผ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜์—ฌ X์„  ํšŒ์ ˆ๋ถ„์„์„ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 4์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋ชจ์žฌ์ธ AZ31B์˜ ํšŒ์ ˆํŒจํ„ด์„ ํ•จ๊ป˜ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋Š”๋ฐ, outer layer์™€ inner layer ๋ชจ๋‘์—์„œ 34.6ยฐ, 36.8ยฐ, 48.1ยฐ, 63.4ยฐ, 72.9ยฐ์˜ ๊ด€๋ จ ํ”ผํฌ๊ฐ€ ๊ด€์ฐฐ๋œ๋‹ค. ์ด๋Š” ๋‹ค๊ณต์„ฑ์˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ๊ตฌ์กฐ์— ๋”ฐ๋ฅธ ์˜ํ–ฅ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋ฉฐ, ํ‰๊ท  40 ฮผm ์ •๋„์˜ ๋‘๊ป˜๋กœ ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ์ธก์ •ํ•œ inner layer์—์„œ ๋ณด๋‹ค ๋šœ๋ ท์ด ํ™•์ธ๋œ๋‹ค. ํšŒ์ ˆํŒจํ„ด์—์„œ ์ฃผ๋กœ MgO (2ฮธ=43.0ยฐ, 62.4ยฐ, 74.9ยฐ, 78.8ยฐ)์™€ Mg2SiO4 (2ฮธ=32.3ยฐ, 35.7ยฐ, 36.5ยฐ, 39.7ยฐ, 40.0ยฐ, 41.8ยฐ, 52.3ยฐ)์˜ ํ”ผํฌ๋“ค์ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š”๋ฐ, outer layer์—๋Š” ์ด ๋‘ ์ข…๋ฅ˜์˜ ํ”ผํฌ๋“ค์ด ๋ชจ๋‘ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ inner layer์—์„œ๋Š” ์ผ๋ถ€ Mg2SiO4์˜ ํ”ผํฌ๋“ค์ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ธฐ๋Š” ํ•˜์ง€๋งŒ ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๊ฐ•ํ•œ MgO์˜ ํ”ผํฌ๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ด๋“ค ๊ฒฐ๊ณผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ outer layer๋Š” Mg2SiO4์˜ ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋ฅผ ์ฃผ๋กœ ํ•˜์—ฌ MgO๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜๋Š” ํ˜ผํ•ฉ ์ƒ์„ ์ด๋ฃจ๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, inner layer๋Š” ์ด์™€๋Š” ๋ฐ˜๋Œ€๋กœ MgO๋ฅผ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์œผ๋กœ ํ•˜์—ฌ ์†Œ๋Ÿ‰์˜ ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ์ƒ์„ ํฌํ•จํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ด๋Š” ์•ž์„œ EDS๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ์›์†Œ๋ถ„ํฌ์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๊ฒฐ๊ณผ์™€๋„ ์ผ์น˜ํ•˜๋Š” ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋‹ค. ํ•œํŽธ, X์„  ํšŒ์ ˆ๋ถ„์„ ๊ฒฐ๊ณผ์—์„œ๋Š” ๊ฐ€์‹œ์ ์ธ MgF2์˜ ํ”ผํฌ๋Š” ๊ด€์ฐฐ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ๋ถ„์„์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋Š” ํ‘œ๋ฉด๋ถ€์— MgF2์˜ ํ•จ๋Ÿ‰์ด ์‚ฌ์‹ค์ƒ ๋ฏธ๋ฏธํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค.

PEO์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ํ‘œ๋ฉด ์ด๋ฏธ์ง€๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 5์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋ชจ๋“  ์‹œ๊ฐ„์— ๋Œ€ํ•ด ํ‘œ๋ฉด ์ „์ฒด์— ๊ฑธ์ณ ๋‹ค๋Ÿ‰์˜ ๊ธฐ๊ณต ๊ตฌ์กฐ๊ฐ€ ๊ด€์ฐฐ๋œ๋‹ค. (a) 5์ดˆ ๋ฐ (b) 20์ดˆ์—์„œ๋Š” ์ˆ˜์‹ญ ~์ˆ˜๋ฐฑ nm์˜ ๊ธฐ๊ณต๊ณผ ์ˆ˜๋ฐฑ nm ~ 1 ฮผm ์ด๋‚ด ํฌ๊ธฐ์˜ ๊ธฐ๊ณต๋“ค์ด ๊ฐ๊ฐ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. (C) 1๋ถ„ ์ดํ›„ (g) 5๋ถ„์— ์ด๋ฅด๊ธฐ๊นŒ์ง€ ์‹œ๊ฐ„์˜ ์ฆ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ ๊ธฐ๊ณต๋“ค์ด ๋ถˆ๊ทœ์น™์ ์ธ ํ˜•์ƒ์œผ๋กœ ๊ทธ ํฌ๊ธฐ๊ฐ€ ์ปค์ง€๋Š” ๊ฒƒ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ด ์‚ฌ์ด์— ๊ธฐ๊ณต์˜ ์ˆ˜๋Š” ๊ฐ์†Œํ•˜๋Š” ์–‘์ƒ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. (h) 6๋ถ„ ์ดํ›„ ์ด๋ฏธ์ง€๋“ค์—์„œ๋„ ์—ฌ์ „ํžˆ ์ˆ˜ ~์ˆ˜์‹ญ ฮผm์˜ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ–๋Š” ๋‹ค์ˆ˜์˜ ๊ธฐ๊ณต๋“ค์ด ๊ด€์ฐฐ๋˜๋‚˜ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ผ ํ˜„์ €ํ•œ ํฌ๊ธฐ์™€ ์ˆ˜์˜ ์ฆ๊ฐ์€ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ๋˜ํ•œ, 5๋ถ„ ์ดํ›„์˜ ํ˜•์ƒ๋“ค์—์„œ๋Š” PEO์˜ ์ „ํ˜•์ ์ธ โ€˜volcano-likeโ€™ํ˜•ํƒœ์˜ ํ‘œ๋ฉด๋“ค์ด ์ž˜ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋“ค ๊ธฐ๊ณต๋“ค์€ PEO๊ณผ์ •์—์„œ ์ŠคํŒŒํฌ ๋ฐฉ์ „์˜ ์ฑ„๋„ ์—ญํ• ์„ ํ†ตํ•ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค.

๊ทธ๋ฆผ 6์— PEO ์ง„ํ–‰ ๊ณผ์ •์—์„œ ์‹ค์ œ ์ „๊ทน์— ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” (a) ์ „์•• ๋ฐ (b) ์ „๋ฅ˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ (c)์—๋Š” ์ดˆ๊ธฐ 1๋ถ„ ์ด๋‚ด์˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ํ™•๋Œ€ํ•˜์—ฌ ๋ณด๋‹ค ์ž์„ธํžˆ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋จผ์ € ์ „์••๋ณ€ํ™”์™€ ๊ด€๋ จํ•ด (I ๊ตฌ๊ฐ„) ์ตœ์ดˆ ์•ฝ 7์ดˆ ์ด๋‚ด์—์„œ ์•ฝ 220 V (rms AC)๊นŒ์ง€ ๊ธ‰์ƒ์Šนํ•œ ํ›„ (II ๊ตฌ๊ฐ„) ๋ณ€๊ณก์ ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋ฉฐ ์ƒ์Šน์†๋„๊ฐ€ ๋‹ค์†Œ ์™„ํ™”๋œ๋‹ค. ์•ฝ 30์ดˆ๊นŒ์ง€ ์ง์„ ์ ์œผ๋กœ ์ƒ์Šนํ•˜์—ฌ ์•ฝ 280 V ์ •๋„์— ๋„๋‹ฌํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋Š”๋ฐ, (III ๊ตฌ๊ฐ„) ๋‘ ๋ฒˆ์งธ ๋ณ€๊ณก์  ์ดํ›„ ์ผ์ •์‹œ๊ฐ„ ๋น„๊ต์  ์ผ์ •ํ•œ ์ „์••์„ ์œ ์ง€ํ•˜๋ฉด์„œ ์•ฝ 270 V ๋กœ ์•ฝ๊ฐ„์”ฉ ๋‚ฎ์•„์ง€๋Š” ๋ชจ์Šต์„ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ (IV ๊ตฌ๊ฐ„) 7๋ถ„๊ฒฝ์— ๋‹ค์‹œ ์ƒ์Šนํ•˜์—ฌ ์ตœ์ข… 10๋ถ„ ์ข…๋ฃŒ์ง์ „ ์•ฝ 290 V์—๊นŒ์ง€ ์ด๋ฅด๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. ์ „๋ฅ˜์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ดˆ๊ธฐ ๊ธ‰์ƒ์Šน ํ›„ ๋‹ค์†Œ ๊ฐ์†Œํ•˜์—ฌ ์ผ์ •์‹œ๊ฐ„ ์œ ์ง€๋˜๊ณ , 3๋ถ„ ์ดํ›„ ์ถ”๊ฐ€๋กœ ๊ฐ์†Œํ•œ ๋‹ค์Œ ์ง€์†์ ์ธ ์ฆ๊ฐ€๋ฅผ ์†Œํญ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 7๋ถ„์— ์ด๋ฅด๋Ÿฌ ์ตœ์ข…๊นŒ์ง€ ๋”์šฑ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ํ˜„์ƒ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ „๋ฅ˜์˜ ๋ณ€ํ™”๋Š” ์ „์••์˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ 4๊ฐœ์˜ ๊ตฌ๊ฐ„์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ ์‹œ์ ๊ณผ ๊ฑฐ์˜ ๋™์ผํ•˜๋‹ค. PEO์ฒ˜๋ฆฌ ๊ณผ์ •์—์„œ ์ „๋ฅ˜ ๋ฐ ์ „์••์˜ ๋ณ€ํ™” ๊ฑฐ๋™์€ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ํ˜•์„ฑ ๋ฐ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ๋ฐ€์ ‘ํ•œ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ๋ณธ ์‹คํ—˜๊ฒฐ๊ณผ์—์„œ I ~ III ๊ตฌ๊ฐ„์€ ๊ธฐ์กด์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค์—์„œ ์„ค๋ช…๋œ 3๋‹จ๊ณ„ ๊ฑฐ๋™๊ณผ ๋™์ผํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. I ๊ตฌ๊ฐ„์—์„œ๋Š” ํ‘œ๋ฉด์—์„œ ์ด์˜จ์ „๋ฅ˜(ionic current)๋งŒ์œผ๋กœ ์ŠคํŒŒํฌ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜์ง€ ์•Š์€ ์ฑ„ ๊ฐ€์Šค๋งŒ ์ง€์†์ ์œผ๋กœ ์ƒ์„ฑ๋˜๋ฉฐ ์–‡์€ ์‚ฐํ™”๋ง‰์ด ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ๊ตฌ๊ฐ„์ด๋‹ค. II ๊ตฌ๊ฐ„์€ ์ ˆ์—ฐ ํŒŒ๊ดด์— ๋”ฐ๋ผ ํ‘œ๋ฉด ์ „๋ฐ˜์— ๊ฑธ์ณ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ ์ŠคํŒŒํฌ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š”๋ฐ, ์ „์ž์ „๋ฅ˜(electron current)์˜ ๊ธฐ์—ฌ๊ฐ€ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ „์ž์ „๋ฅ˜๋Š” ์ด์˜จ์ „๋ฅ˜์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ํ˜•์„ฑ๊ณผ ๋ฌด๊ด€ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ „์••์˜ ์ƒ์Šน์„ ์œ ๋ฐœํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ „์ฒด ์ „๋ฅ˜์—์„œ ์ „์ž์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ฐจ์ง€ํ•˜๋Š” ๋น„์œจ์˜ ์ฆ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ II ๊ตฌ๊ฐ„์ด ๋๋‚˜๋Š” ์ง€์ ์ธ ์ž„๊ณ„ ์ „์••(critical voltage)์—์„œ ์ „์••์˜ ๊ธฐ์šธ๊ธฐ๊ฐ€ 0์— ๊ฐ€๊นŒ์›Œ์ง€๋ฉฐ III ๊ตฌ์—ญ์œผ๋กœ ๋“ค์–ด์„œ๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. III ๊ตฌ๊ฐ„์—์„œ๋Š” II ๊ตฌ๊ฐ„๋ณด๋‹ค ์ ์ฐจ ์ŠคํŒŒํฌ์˜ ์ˆ˜๋Š” ๊ฐ์†Œํ•˜์ง€๋งŒ ๊ทธ ํฌ๊ธฐ๋Š” ์ปค์ง€๊ฒŒ ๋œ๋‹ค [14]. ์ „๋ฅ˜๋ณ€ํ™”์™€ ๊ด€๋ จํ•ด์„œ ๋ณธ ์‹คํ—˜์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ II, III ๊ตฌ๊ฐ„์—์„œ์˜ ์ „๋ฅ˜๊ฐ์†Œ๋Š” ๋ฐฉ์ „ํ˜„์ƒ์— ์˜ํ•œ ์ „๋ฅ˜, ์ฆ‰ ์ „์ž์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ •๋ฅ˜๊ธฐ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์ธ๊ฐ€๋˜๋Š” ์ „๋ฅ˜๋ฅผ ์ƒ์‡„์‹œํ‚ค๋Š” ์—ญํ• ์„ ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. ๊ธฐ์กด์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค๊ณผ ๋‹ฌ๋ฆฌ ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์—์„œ๋Š” ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ ์•ฝ 7๋ถ„ ์ดํ›„ ๋ฐ˜์‘ ํ›„๋ฐ˜๊ธฐ ๋ถ€๋ถ„์— ์ „์••๊ณผ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋‹ค์‹œ ์ƒ์Šนํ•˜๋Š” IV ๊ตฌ๊ฐ„์„ ์ถ”๊ฐ€๋กœ ๊ตฌ๋ถ„ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋ช‡๋ช‡ ๊ธฐ์กด์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค์—์„œ 4๊ฐœ์˜ ๋‹จ๊ณ„๋กœ ๊ตฌ๋ถ„ํ•˜์—ฌ ์„ค๋ช…ํ•œ ๋ฐ” ์žˆ์œผ๋‚˜, ์ด๋“ค ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์ด II๊ตฌ๊ฐ„๊ณผ III๊ตฌ๊ฐ„ ์‚ฌ์ด์— ์ „์•• ๊ฑฐ๋™ ๊ธฐ์šธ๊ธฐ๊ฐ€ ์กฐ๊ฑด๋ณ„๋กœ ๋‹ค์†Œ ๋‹ฌ๋ผ์ง€๋Š” ๊ฒƒ์„ ๊ตฌ๋ถ„ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์—์„œ์˜ ํ˜„์ƒ๊ณผ๋Š” ์ฐจ์ด๊ฐ€ ๋งŽ๋‹ค. IV ๊ตฌ๊ฐ„์—์„œ์˜ ์ „์•• ๋ฐ ์ „๋ฅ˜์˜ ์ƒ์Šน์€ ๊ทธ๋ฆผ 1 ๋ฐ 3์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ํ˜•์„ฑ ๋ฐ ์„ฑ์žฅ ๊ฒฐ๊ณผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ํ•˜๋ถ€ inner layer์˜ MgO ์‚ฐํ™”๋ง‰๊ณผ ๊ด€๋ จํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์œ ์ถ”ํ•ด ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋ฐ˜์‘ ํ›„๋ฐ˜๋ถ€์˜ ์ „์•• ๋ฐ ์ „๋ฅ˜ ์ƒ์Šน๊ณผ ๊ด€๋ จํ•ด Timoshenko๋ฅผ ๋น„๋กฏํ•œ Gebarowski ๋“ฑ์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋†’์•„์ง„ ๊ต๋ฅ˜์ „์›์˜ negative phase ์ „์••์— ์˜ํ•ด ํ˜•์„ฑ๋œ ๋Œ€๋Ÿ‰์˜ ์ˆ˜์†Œ๋ง‰์ด ์ ˆ์—ฐ์ €ํ•ญ ์—ญํ• ์„ ํ•จ์œผ๋กœ์จ ํฐ ๊ทœ๋ชจ์˜ ์ „๊ธฐํ™”ํ•™์  ๋ฐ˜์‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๊ณ  ์ด์— ๋”ฐ๋ฅธ ์ „๋ฅ˜ยท์ „์••์˜ ์ƒ์Šน ๋ฐ ๋น ๋ฅธ MgO ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค [24,25].

๊ทธ๋ฆผ 7๋Š” PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰๊ณผ ๋ชจ์žฌ AZ31B์˜ ๊ฒฝ๋„๋ฅผ ์ธก์ •ํ•œ ๊ทธ๋ž˜ํ”„์ด๋‹ค. Outer layer์™€ inner layer์˜ ๊ตฌ๋ถ„์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•œ PEO ๊ณต์ • 8๋ถ„๋ถ€ํ„ฐ 10๋ถ„ ๊นŒ์ง€ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์— ๋Œ€ํ•ด ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ์‹œ๊ฐ„์˜ ์ฆ๊ฐ€์™€๋Š” ๋ฌด๊ด€ํ•˜๊ฒŒ outer layer์™€ inner layer๋Š” ๊ฐ๊ฐ ํ‰๊ท  390 Hv์™€ 640 Hv์˜ ๊ฒฝ๋„๊ฐ’์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ™•์ธ๋˜์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ๋ชจ์žฌ์ธ AZ31B์˜ ๊ฒฝ๋„๊ฐ’์ด 65 Hv ์ •๋„์ด๊ณ , ์ข…๋ž˜์˜ DOW17 ์•„๋…ธ๋‹ค์ด์ง• ํ”ผ๋ง‰์˜ ๊ฒฝ๋„๊ฐ€ ์•ฝ 250 Hv ์ˆ˜์ค€์ž„์„ ๊ฐ์•ˆํ•  ๋•Œ PEO์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋งค์šฐ ๋†’์€ ์ˆ˜์ค€์˜ ๊ธฐ๊ณ„์  ํ‘œ๋ฉด๋ฌผ์„ฑ ํ™•๋ณด๊ฐ€ ๊ฐ€๋Šฅํ•จ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค.

๊ฐ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ PEO ์ฝ”ํŒ…์ด ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์„ ์•Œ์•„๋ณด๊ธฐ ์œ„ํ•ด 3.5 wt% NaCl ์šฉ์•ก์—์„œ ์‹ค์‹œํ•œ ๋™์ „์œ„๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 8์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๊ณก์„ ๋“ค์˜ ๊ฐ€๋…์„ฑ์„ ๋•๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 5๋ถ„ ์ด๋‚ด์™€ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋‚˜๋ˆ„์–ด (a)์™€ (b)์— ๊ฐ๊ฐ ๋„์‹œํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, PEO์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ํ•˜์ง€์•Š์€ AZ31B ๋ชจ์žฌ์™€ 5๋ถ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋ฅผ ํ•จ๊ป˜ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, ๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ถ€์‹์ „์œ„(Ecorr)์™€ ๋ถ€์‹์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„(Icorr), ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ(Rp) ๊ฐ’์„ ์‚ฐ์ •ํ•˜์—ฌ ํ‘œ 1์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ด ๋•Œ, ๋ถ€์‹์ „์œ„ ยฑ100 mV ๋ฒ”์œ„๋‚ด์—์„œ ์™ธ์‚ฝํ•˜์—ฌ ์ ‘์„ ์˜ ๊ต์ ์œผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ถ€์‹์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ ‘์„ ์˜ ๊ธฐ์šธ๊ธฐ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์• ๋…ธ๋”• ๋ฐ ์บ์†Œ๋”• ํƒ€ํŽ  ์ƒ์ˆ˜ ฮฒa ๋ฐ ฮฒc ๋ฅผ ๊ตฌํ•˜๊ณ  ์‹ (1)์— ํ‘œํ˜„๋œ Stern-Geary์‹์„ ์ด์šฉํ•ด ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ๊ฐ’(Rp)์„ ์‚ฐ์ •ํ•˜์˜€๋‹ค.

(1)
R P = ฮฒ a ฮฒ c 2 . 30 | ( ฮฒ a + ฮฒ c ) / i c o r r

5๋ถ„์ด๋‚ด์—์„œ ๋ถ€์‹์ „์œ„๋Š” -1.50 ~ -1.48 V ์‚ฌ์ด์˜ ๊ฐ’์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋ฉฐ ์ดˆ๊ธฐ์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” 1๋ถ„์ด๋‚ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ ์•ฝ 17 kฮฉ ์ด์ƒ์˜ ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋†’์€ ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ ๊ฐ’์„ ๊ฐ–๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด 2 ~ 5๋ถ„ ์‚ฌ์ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ, 1๋ถ„ ์ด๋‚ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค ๋ณด๋‹ค ๋†’์€ ๋ถ€์‹์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„ ๋ฐ ๋‚ฎ์€ ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค. 5๋ถ„ ์ด๋‚ด์—์„œ๋Š” ์ „๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์˜ ์ฆ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ ๋ถ€์‹์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๋Š” ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๊ณ , ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ์€ ๊ฐ์†Œํ•˜๋ฉฐ, ๋ถ€์‹์ „์œ„๋Š” ์†Œํญ ์ƒ์Šนํ•˜๋Š” ๊ฒฝํ–ฅ์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ํ˜„์ƒ์€ 1๋ถ„ ์ด๋‚ด, ํŠนํžˆ 5์ดˆ์™€ 20์ดˆ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—์„œ ๋ฐ˜์‘์ดˆ๊ธฐ ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ์ ˆ์—ฐ์ธต(dielectric layer)๊ณผ ๋”๋ถˆ์–ด ๋ชจ์žฌ ๊ณ„๋ฉด์— ์ง‘์ค‘๋˜๋Š” ์ธต์„ ์ด๋ฃจ๋Š” MgF2์˜ ๊ธฐ์—ฌ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด์— 2๋ถ„ ์ด์ƒ์ด ๋˜๋ฉด ๊ทธ๋ฆผ 1(d) ~ (g)์™€ 5(d) ~ (g)์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด ๊ธฐ๊ณต์˜ ํฌ๊ธฐ๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ํ˜„์ƒ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋œ๋‹ค. ๊ธฐ์กด์˜ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค์—์„œ๋„ PEO์ฝ”ํŒ…์˜ ๊ธฐ๊ณต์ด ๋‚ด์‹์„ฑ์— ์ฃผ์š”์ธ์ž๊ฐ€ ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ๋ณด๊ณ ๋œ ๋ฐ” ์žˆ๋‹ค [17,18]. ๋˜ํ•œ ๊ทธ๋ฆผ 3์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด MgF2๋Š” ์‚ฐํ™”๋ง‰ ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ผ ์ ์ฐจ ํฉ์–ด์ง€๋ฉฐ ๊ณ„๋ฉด์— ์ง‘์ค‘๋œ ์ธต์„ ์ด๋ฃจ์ง€ ๋ชปํ•จ์œผ๋กœ์จ ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ธฐ์—ฌ๊ฐ€ ์ ์ฐจ ์ค„์–ด๋“œ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์ด๋•Œ์˜ ๋‚ด์‹์„ฑ์€ inner layer์˜ ๊ธฐ์—ฌ๊ฐ€ ๋‚ฎ๊ณ , ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋˜๋Š” outer layer์˜ ๋ฐฉ์ „์ฑ„๋„์ธ ๊ธฐ๊ณต์˜ ํฌ๊ธฐ์— ์˜์กดํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. ํ•œํŽธ, 5์ดˆ์™€ 20์ดˆ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๊ฐ๊ฐ -1.21 ๋ฐ -0.71 V์˜ ์–‘๋ถ„๊ทน ์ƒํƒœ์—์„œ ์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๊ฐ€ ๊ธ‰์ฆํ•˜๋Š” ํ˜•ํƒœ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋Š”๋ฐ ์ด๋Š” ์ดˆ๊ธฐ์— ํ˜•์„ฑ๋œ ์–‡์€ ์ ˆ์—ฐ๋ง‰์ด ๋†’์€ ๊ณผ์ „์••์„ ๊ฒฌ๋””์ง€ ๋ชปํ•˜๊ณ  ํŒŒ๊ดด๋˜๋Š”๋ฐ ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ์ด๋•Œ์˜ PEO ์ฝ”ํŒ…์ธต์€ ๋ณดํ˜ธํ”ผ๋ง‰์œผ๋กœ์„œ ์ถฉ๋ถ„ํžˆ ๊ฒฌ๊ณ ํ•˜์ง€ ๋ชปํ•˜๋‹ค๋Š” ์ ์„ ์‹œ์‚ฌํ•œ๋‹ค. (b)์˜ ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 6๋ถ„ ์ด์ƒ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋„ 7๋ถ„ ์ด๋‚ด์™€ 8๋ถ„ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ณ„๋˜๋Š” ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, 7๋ถ„ ์ด๋‚ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ 5๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ์™€ ์œ ์‚ฌํ•œ ๊ฑฐ๋™์„ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, -1.44 ๋ฐ -1.43 V์˜ ๋ถ€์‹์ „์œ„๊ฐ’์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค. 8 ~ 10๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ๋Š” -1.32 ~ -1.29 V์˜ ๋ถ€์‹์ „์œ„๋กœ ๋†’์€ ๊ฐ’์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋ฉฐ, ๋ถ€์‹์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๊ฐ€ ํฌ๊ฒŒ ์ค„์–ด๋“œ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ ๋˜ํ•œ 20 kฮฉ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ํฌ๊ฒŒ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ๊ทธ๋ฆผ 1(j) ~ (l)์— ๋ณด์ด๋Š” ๊ฒƒ๊ณผ ๊ฐ™์ด MgO๋ฅผ ์ฃผ์ƒ์œผ๋กœ ํ•˜๋Š” inner layer์˜ ํ˜„์ €ํ•œ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ์น˜๋ฐ€ํ™”์— ์˜ํ•ด ๊ธ‰๊ฒฉํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ ํ–ฅ์ƒ์ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. ๋‹ค๋งŒ, 8๋ถ„๊ณผ 9๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋†’์€ ๊ณผ์ „์••์กฐ๊ฑด์—์„œ ์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๊ฐ€ ๊ธ‰์ฆํ•˜๋Š” ๋ชจ์Šต์„ ๋ณด์ด๋Š”๋ฐ, MgO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์น˜๋ฐ€์„ฑ ํ˜น์€ ๊ฒฌ๊ณ ์„ฑ์ด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 10๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ์— ๋ฏธ์น˜์ง€ ๋ชปํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ฃŒ๋œ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ, ์ตœ์ข… 10๋ถ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ™•์ธ๋œ๋‹ค. ์ด์ƒ์˜ ๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ชจ๋“  PEO์ฒ˜๋ฆฌ ์‹œ๊ฐ„์—์„œ AZ31B ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ํ•ฉ๊ธˆ์— ๋Œ€ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ ํ–ฅ์ƒ ํšจ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋Œ€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ํŠนํžˆ, inner layer๋ฅผ ๋‘๊ป๊ฒŒ ์„ฑ์žฅ์‹œํ‚ด์œผ๋กœ์จ ํ˜„์ €ํ•œ ํšจ๊ณผ๋ฅผ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.

ํ•œํŽธ, AZ31B ์†Œ์žฌ๊ฐ€ 3 wt%์˜ Al์„ ํฌํ•จํ•˜๊ณ  ์žˆ์Œ์— ๋”ฐ๋ผ ๊ทธ ์˜ํ–ฅ์„ ์ƒ๊ฐํ•ด ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋‚˜, ์•ž์„œ EDS ๋ฐ XRD ๊ฒฐ๊ณผ๋“ค์— ์‚ฐํ™”๋ง‰๋‚ด Al ์›์†Œ ๋ฐ ๊ด€๋ จ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์˜ ์œ ์˜๋ฏธํ•œ ๋ถ„ํฌ๊ฐ€ ํ™•์ธ๋˜์ง€ ์•Š์Œ์— ๋”ฐ๋ผ PEO ํ”ผ๋ง‰ ํ˜•์„ฑ๊ณผ ์„ฑ์žฅ์„ ๋น„๋กฏํ•ด ์ดํ›„ ๋‚ด์‹์„ฑ์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ์ด ๊ทนํžˆ ๋ฏธ๋ฏธํ•  ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋œ๋‹ค.

๊ทธ๋ฆผ 9์€ ๋‚ด์‹์„ฑ๊ณผ ๊ด€๋ จํ•˜์—ฌ PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์‹ค์‹œํ•œ ์‹œ๊ฐ„๋Œ€์ „๋ฅ˜ ๊ณก์„ ์œผ๋กœ AZ31B ๋ชจ์žฌ์™€ ๋”๋ถˆ์–ด ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 20์ดˆ, 3๋ถ„, 6๋ถ„, 8๋ถ„, 10๋ถ„์— ๋Œ€ํ•ด ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ๊ฒฐ๊ณผ์—์„œ PEO ์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ํ•˜์ง€ ์•Š์€ AZ31B ๋ชจ์žฌ์˜ ๊ฒฝ์šฐ, ๋งค์šฐ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜์—ฌ ํ”ผํฌ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๊ณ  ์•ฝ 15 mA์˜ ๋น„๊ต์  ์ผ์ •ํ•œ ํ•œ๊ณ„์ „๋ฅ˜๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, ์ง€์†์ ์ธ ์ „๋ฅ˜ ์ง„๋™์„ ๋ณด์ด๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์˜ ํ‘œ๋ฉด์—์„œ ํ”ผํŒ…์— ์˜ํ•œ ๋ถ€์‹์ด ๋ฐœ์ƒํ•จ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด๋Š” ๊ฒƒ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋œ๋‹ค. ์ด์™€๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ PEO์ฒ˜๋ฆฌ๋œ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ๋Š” ํ•œ๊ณ„์ „๋ฅ˜์— ๋„๋‹ฌํ•˜๊ธฐ๊นŒ์ง€ ์‹œ๊ฐ„์ง€์—ฐ์ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š”๋ฐ, 20์ดˆ์™€ 3๋ถ„, 6๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์—์„œ๋Š” ์ „๋ฅ˜์ฆ๊ฐ€์˜ ์ง€์—ฐํ˜„์ƒ์ด ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ธฐ๋Š” ํ•˜์ง€๋งŒ 10๋ถ„ ๋ฐ 8๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์— ๋น„ํ•ด 1000์ดˆ ์ด๋‚ด์—์„œ ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์ „๋ฅ˜์ฆ๊ฐ€๊ฐ€ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. 10๋ถ„ ๋ฐ 8๋ถ„ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ์ „๋ฅ˜์ฆ๊ฐ€์˜ ์ง€์—ฐ์ด ์•ฝ 3000์ดˆ ์ด์ƒ์ด ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํ™•์ธ๋˜๋ฉฐ, ํŠนํžˆ 10๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ์— ๊ฐ€์žฅ ์ž‘์€ ๊ธฐ์šธ๊ธฐ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ธ๋‹ค. 4000์ดˆ ์ด์ƒ์˜ ํ•œ๊ณ„์ „๋ฅ˜์™€ ๊ด€๋ จํ•ด์„œ 3๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ AZ31B ๋ชจ์žฌ์™€ ๋Œ€๋“ฑํ•œ ์ˆ˜์ค€์— ์ด๋ฅด๊ณ , 20์ดˆ, 6๋ถ„, 8๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ด๋ณด๋‹ค ๋‚ฎ์€ ์•ฝ 12 mA ์ •๋„๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. 10๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ์•ฝ 6 mA ์ •๋„์˜ ๊ฐ€์žฅ ๋‚ฎ์€ ํ•œ๊ณ„์ „๋ฅ˜๋ฅผ ๋ณด์ž„์œผ๋กœ์จ ๋™์ „์œ„๋ถ„๊ทน ๊ฒฐ๊ณผ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๊ฐ€์žฅ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ์žฅ์‹œ๊ฐ„์— ๊ฑธ์นœ ์ˆ˜์‹ํ™˜๊ฒฝ์—์„œ๋„ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ๊ฐ–๋Š” ๊ฒƒ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.

Open pore density๋ฅผ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 10์— ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ํ‘œ๋ฉด์— ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๊ธฐ๊ณต ๋˜๋Š” ํฌ๋ž™๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฐํ•ฉ ์ค‘ ๋ชจ์žฌ๊ณ„๋ฉด๊นŒ์ง€ ์—ฐ๊ฒฐ๋œ ์ด๋ฅธ๋ฐ” โ€˜open poreโ€™๋ฅผ ํ™•์ธํ•œ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. 1๋ถ„์—์„œ 10๋ถ„๊นŒ์ง€ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„์ด ์ฆ๊ฐ€ํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ open pore์˜ ์ˆ˜๊ฐ€ ์ ์ฐจ ๊ฐ์†Œํ•˜๋Š” ๊ฒฝํ–ฅ์„ ๋ณด์ด๋ฉฐ ์ตœ์ข… ์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ๊ฐ„ 10๋ถ„์˜ ๊ธฐ๊ณต์˜ ์ˆ˜๋Š” 171 ea/mm2์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ์‹œ๊ฐ„์ด ์ฆ๊ฐ€ํ• ์ˆ˜๋ก ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋˜ ๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜์˜ ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋ถ€ํ•ฉํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ, PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ผ open pore์˜ ์ˆ˜๊ฐ€ ๊ฐ์†Œํ•˜๊ณ  ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ๋†’์€ ๋ถ„๊ทน์ €ํ•ญ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๋‚ด์‹์„ฑ ํ–ฅ์ƒ์˜ ์š”์ธ์ด ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋œ๋‹ค. ํ•œํŽธ, ์ดˆ๊ธฐ์ธ 5์ดˆ์™€ 20์ดˆ์—์„œ๋Š” ๊ฐ๊ฐ 13,536 ea/mm2, 2,580 ea/mm2์˜ open pore๋กœ ์›”๋“ฑํ•˜๊ฒŒ ๋†’์€ ์ˆ˜๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์–ด, ์–‘ํ˜ธํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ์„ ํƒ€๋‚˜๋‚ด์—ˆ๋˜ ๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜์˜ ๊ฒฐ๊ณผ์— ์ƒ๋ฐ˜๋˜๋Š” ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Š” ์•„์„ธํŠธ์‚ฐ ๋“ฑ์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ ์ธก์ •์กฐ๊ฑด์˜ ๋ถ€์‹ ์šฉ์•ก์ด ๋ณด๋‹ค ๊ฐ€ํ˜นํ•œ ์กฐ๊ฑด์œผ๋กœ ๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ์—์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ถ€์‹์ „์œ„ ๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ๋†’์€ ๊ณผ์ „์•• ์กฐ๊ฑด, ์ฆ‰ ๊ทธ๋ฆผ 8(a)์˜ ๋ถ„๊ทน ์‹œํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ์—์„œ โ€“0.5 V ์ด์ƒ๊ณผ ์œ ์‚ฌํ•œ ์ƒํƒœ๋ฅผ ์œ ๋ฐœํ•˜๋Š”๋ฐ ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋Š”๋ฐ, -0.5 V ์ด์ƒ์—์„œ 5์ดˆ์™€ 20์ดˆ ์ฒ˜๋ฆฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋“ค์ด ๋†’์€ ์ „๋ฅ˜๋ฐ€๋„๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ  ์žˆ๋‹ค.

4. ๊ฒฐ ๋ก 

AZ31B ๋งˆ๊ทธ๋„ค์Š˜ ํ•ฉ๊ธˆ์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ KOH-์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ ์ „ํ•ด์•ก ์ค‘์—์„œ PEO์ฒ˜๋ฆฌ์‹œ ์‹œ๊ฐ„์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์„ฑ์žฅ๊ฑฐ๋™ ๋ฐ ๋‘๊ป˜ ์„ฑ์žฅ์— ๋”ฐ๋ฅธ ๋‚ด์‹์„ฑ์˜ ๋ณ€ํ™”๋ฅผ ์กฐ์‚ฌํ•˜์—ฌ ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฐ๋ก ์„ ์–ป์—ˆ๋‹ค.

1. PEO ์ฒ˜๋ฆฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํ˜•์„ฑ๋˜๋Š” ์‚ฐํ™”๋ง‰์€ ๋ฐ˜์‘์ดˆ๊ธฐ๋ถ€ํ„ฐ ์ŠคํŒŒํฌ ๋ฐฉ์ „ ํ˜„์ƒ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ๋ฅผ ์ฃผ์ƒ์œผ๋กœ ํ•˜๋Š” ๋‹ค๊ณต์„ฑ์˜ outer layer๋ฅผ ์œ„์ฃผ๋กœ ์„ฑ์žฅํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ๋ฐ˜์‘ ํ›„๋ฐ˜ ์ผ์ • ํ•œ๊ณ„ ๋‘๊ป˜์— ๋‹ค๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ๋˜๋ฉฐ, ์ดํ›„ under-layer ๋ฐฉ์ „์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋ฉด MgO๋ฅผ ์ฃผ์ƒ์œผ๋กœ ํ•˜๋Š” inner layer๊ฐ€ ๋งค์šฐ ๋น ๋ฅธ ์†๋„๋กœ ๋‘๊ป˜๊ฐ€ ๊ธ‰์„ฑ์žฅํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋Š” ๋™์‹œ์— ์น˜๋ฐ€ํ•ด์ง„๋‹ค.

2. PEO ์‚ฐํ™”๋ง‰ ํ˜•์„ฑ ๋ฐ ์„ฑ์žฅ๊ณผ์ •์—์„œ ์ „๋ฅ˜, ์ „์•• ๋ณ€ํ™”๋Š” ๋‹ค์Œ์˜ ๋„ค ๊ตฌ๊ฐ„์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ถ„๋œ๋‹ค. ๋ฐ˜์‘ ๊ทน์ดˆ๊ธฐ ์ ˆ์—ฐ๋ง‰์ด ํ˜•์„ฑ๋˜๋ฉฐ ์ „์••, ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋™์‹œ์— ๊ธ‰์ƒ์Šนํ•˜๋Š” I ๊ตฌ๊ฐ„, ์ ˆ์—ฐํŒŒ๊ดด์™€ ํ•จ๊ป˜ ์ „๋ฉด์ ์ธ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ ์ŠคํŒŒํฌ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒ๋˜๋ฉฐ, ์ „์••์€ ์—ฐ์†์ ์œผ๋กœ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋‚˜ ์ „๋ฅ˜๋Š” ๊ฐ์†Œํ•˜๋Š” II ๊ตฌ๊ฐ„, ํฌ๊ณ  ์•ˆ์ •์ ์ธ ์ŠคํŒŒํฌ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋ฉฐ, ์ „์•• ๋ฐ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ์ผ์ •ํ•ด์ง€๋Š” III ๊ตฌ๊ฐ„, ๋ฐ˜์‘ํ›„๊ธฐ ๊ตญ๋ถ€์ ์ธ ์ŠคํŒŒํฌ์™€ ํ•จ๊ป˜ under-layer๋ฐฉ์ „์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๋ฉฐ, ์ „์•• ๋ฐ ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ ๋‹ค์‹œ ์ƒ์Šนํ•˜๋Š” IV ๊ตฌ๊ฐ„์ด๋‹ค. ์ด๋“ค ๊ตฌ๊ฐ„์—์„œ I, IV ๊ตฌ๊ฐ„์€ ์ด์˜จ์ „๋ฅ˜๊ฐ€ II, III ๊ตฌ๊ฐ„์€ ์ „์ž์ „๋ฅ˜์˜ ๊ธฐ์—ฌ๊ฐ€ ๋†’์€ ๊ตฌ์—ญ์— ํ•ด๋‹นํ•œ๋‹ค.

3. ๋™์ „์œ„๋ถ„๊ทน์‹œํ—˜์„ ํ†ตํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ ๋ถ„์„ ๊ฒฐ๊ณผ, ์ดˆ๊ธฐ 1๋ถ„ ์ด๋‚ด์—๋Š” ํ˜•์„ฑ๋œ ์ ˆ์—ฐ๋ง‰๊ณผ ๋ชจ์žฌ๊ณ„๋ฉด์— ์ง‘์ค‘ํ•˜์—ฌ ์ธต์„ ์ด๋ฃจ๋Š” MgF2์ƒ์˜ ๊ธฐ์—ฌ๋กœ ์ธํ•ด ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋†’์€ ๋‚ด์‹์„ฑ์„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ด์ง€๋งŒ, ๋ถ€์‹์— ๋Œ€ํ•œ ์•ˆ์ •์„ฑ์ด ๋‹ค์†Œ ๋–จ์–ด์ง„๋‹ค. ์‹ค๋ฆฌ์ผ€์ดํŠธ outer layer๋ฅผ ์œ„์ฃผ๋กœ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ๋‘๊ป˜ ์„ฑ์žฅ์‹œ์—๋Š” ์ŠคํŒŒํฌ ๋ฐฉ์ „์˜ ์ฑ„๋„ ์—ญํ• ์„ ํ•˜๋Š” ๊ธฐ๊ณตํฌ๊ธฐ ์ฆ๊ฐ€๊ฐ€ ๋‚ด์‹์„ฑ ๊ฐ์†Œ์˜ ์ฃผ์š” ์›์ธ์ด ๋˜๋ฉฐ, ๋ฐ˜์‘ ํ›„๊ธฐ ์šฐ์ˆ˜ํ•œ ๋‚ด์‹์„ฑ๊ณผ ์‚ฐํ™”๋ง‰์˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์€ MgO์˜ inner layer์˜ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ์น˜๋ฐ€ํ™”์— ๋”ฐ๋ฅธ ๊ฒƒ์ด๋‹ค.

Acknowledgements

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REFERENCES

1 
Jo S. M., You B. S., Kim Y. M., Korean J. Met. Mater,56, 734 (2018)Google Search
2 
Lee J. U., Song S. W., Kim Y., Kim S. H., Kim Y. J., Park S. H., Met. Mater. Int,24, 280 (2018)Google Search
3 
Blawert C., Dietzel W., Ghali E., Song G., Adv. Eng. Mater,8, 511 (2006)Google Search
4 
Murakami K., Hino M., Hiramatsu M., Nakai K., Kobayashi S., Saijo A., Kanadani T., Mater. Trans,48, 3101 (2007)Google Search
5 
Yerokhin A. L., Nie X., Leyland A., Matthews A., Dowey S. J., Surf. Coat. Tech,122, 73 (1999)Google Search
6 
Moon S., Jeong Y., Corros. Sci,51, 1506 (2009)Google Search
7 
Moon S., J. Solid State Electr,18, 341 (2014)Google Search
8 
Barik R. C., Wharton J. A., Wood R. J. K., Stokes K. R., Jones R. L., Surf. Coat. Tech,199, 158 (2005)Google Search
9 
Castellanos A., Altube A., Vega J. M., Garcรญa-Lecina E., Dรญez J. A., Grande H. J., Surf. Coat. Tech,278, 99 (2015)Google Search
10 
Albella J. M., Montero I., Martinez-Duart J. M., Electrochim. Acta,32, 255 (1987)Google Search
11 
Stojadinoviฤ‡ S., Vasiliฤ‡ R., Petkoviฤ‡ M., Belฤa I., Kasalica B., Periฤ‡ M., Zekoviฤ‡ Lj., Electrochim. Acta,59, 354 (2012)Google Search
12 
Yerokhin A. L., Leyland A., Matthews A., Appl. Surface Sci,200, 172 (2002)Google Search
13 
Guo H. F., An M. Z., Appl. Surf. Sci,246, 229 (2005)Google Search
14 
Guo H. F., An M. Z., Huo H. B., Xu S., Wu L. J., Appl. Surf. Sci,252, 7911 (2006)Google Search
15 
Chang L., J. Alloy. Compd,468, 462 (2009)Google Search
16 
Arrabal R., Matykina E., Hashimoto T., Skeldon P., Thompson G. E., Surf. Coat. Tech,203, 2207 (2009)Google Search
17 
Walsh F. C., Low C. T. J., Wood R. J. K., Stevens K. T., Archer J., Poeton A. R., Ryder A., Trans. Inst. Met. Finish,87, 122 (2009)Google Search
18 
Barchiche C. E., Rocca E., Juers C., Hazan J., Steinmetz J., Electrochim. Acta,53, 417 (2007)Google Search
19 
Ma Y., Nie X., Northwood D. O., Hu H., Thin Solid Films,494, 296 (2006)Google Search
20 
Liang J., Hu L., Hao J., App. Surf. Sci,253, 4490 (2007)Google Search
21 
Zhang P., Nie X., Northwood D. O., Surf. Coat. Tech,203, 3271 (2009)Google Search
22 
Blawert C., Heitmann V., Dietzel W., Nykyforchyn H. M., Klapkiv M. D., Surf. Coat. Tech,201, 8709 (2007)Google Search
23 
Lee J., Kim Y., Chun W., App. Surf. Sci,259, 454 (2012)Google Search
24 
Timoshenko A. V., Magurova Y. V., Surf. Coat. Tech,199, 135 (2005)Google Search
25 
Gebarowski W., Pietrzyk S., Arch. Metall. Mater,59, 407 (2014)Google Search

Figures and Table

Fig. 1.

Cross-sectional images of PEO coatings with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f1.jpg
Fig. 2.

Variation of (a) coating thickness and (b) growth rate with PEO processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f2.jpg
Fig. 3.

EDS elemental distributions of Mg, O, Si, F and Al in PEO coating with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f3.jpg
Fig. 4.

X-ray diffraction patterns of inner and outer layer in PEO coating.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f4.jpg
Fig. 5.

Surface morphologies of PEO coatings with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f5.jpg
Fig. 6.

(a) Voltage and (b) current responses during PEO process of AZ31B, (c) zoomed-in view of initial variation within 1minute.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f6.jpg
Fig. 7.

Micro-vickers hardness values of PEO coatings.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f7.jpg
Fig. 8.

Polarization curves of PEO coatings with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f8.jpg
Fig. 9.

Chronoamperometric curves of PEO coatings with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f9.jpg
Fig. 10.

Open pore density of PEO coatings with processing time.

../../Resources/kim/KJMM.2020.58/kjmm-2020-58-2-87f10.jpg
Table 1.

Ecorr, Icorr and Rp values measured from polarization test with processing time.

specimen / processing time Ecorr (V vs. Ag/AgCl) Icorr (ยตA/cm2) Rp (kOhm)
AZ31B -1.56 53.27 0.2
5 sec. -1.50 0.35 23.7
20 sec. -1.47 0.26 31.5
1 min. -1.51 0.51 16.9
2 min. -1.50 1.41 4.4
3 min. -1.50 1.99 3.0
4 min. -1.48 4.32 1.6
5 min. -1.48 1.66 2.7
6 min. -1.43 6.59 1.6
7 min. -1.44 2.24 7.3
8 min. -1.29 0.03 53.5
9 min. -1.32 0.25 20.7
10 min. -1.30 0.03 75.4