3.1 레이저의영향
과거에는 단순히 흄이 고에너지에 의한 고체금속의 단순한 기화라고만 이해하였다. 그러나 유체역학적인 해석과 물리적 계산에 의하면 흄 발생 전에 플라즈마
단계를 거쳐 나노입자 방출에 의해 흄이 발생하는 것으로 보고 되었으며 [18-56], 최근에는 X선, 레이저 이미지, 공초점현미경 등을 이용하여 고속촬영으로 이런 과정들을 직접 관찰하는데 성공하였다 [53-56].Fig. 1.
고출력 레이저에서 광 강도가 증가하면 광자가 고속 진동하며 날아가 재료에 충돌하고, 금속원자의 자유전자들이 에너지를 흡수하여 레이저 유기 플라즈마
(Laser induced plasma)가 발생된다 [57].
이 과정에서 레이저 빔 초점에 접하는 모재는 고속가열되어 용융지 (melt pool)를 형성하는데, 순간적인 레이저 플래시(laser flash)로
인해 고온에 도달하면 용융지에서 플라즈마 플룸(plasma plume) 형성단계와 캐비테이션 버블 형성단계를 거쳐 수십 nm크기의 입자들로 방출된다
[53]. 이 방출된 고온의 나노입자들을 흄 [56]이라고 부르며, 대기와 만나는 과정에서 쉽게 산화물, 질화물로 바뀐다. 흄은 인체 뿐만 아니라 레이저 반응과 DED 품질에 큰 영향을 미치기 때문에
이를 억제하는 것은 DED에서 매우 중요하다.
고출력 레이저 빔 중심부에서의 온도는 출력에 따라 약 2000 °C 이상이며 3200 °C 를 초과하는 고온이 되는 경우도 있어 [58], 모재와 분말의 열전도도 한계에 의해 순간적으로 재료는 기화되고, 플라즈마가 발생하는 일이 종종 생긴다. 분말 입자 사이즈가 작아도 표면 에너지가
높고 열전달 시간이 짧아져 플라즈마를 형성하기 쉽다. 그리고 분말 재료의 레이저 흡수율도 플라즈마와 밀접한 연관이 있다. 레이저 흡수율이 낮은 재료는
처음에는 강한 레이저빔에도 용융되지 않다가 국부적으로 용융된 부분에서는 흡수율이 급격히 상승하여 융액이 과열되기 때문이다. 레이저 에너지의 흡수율에는
재료 조성, 조사각 및 레이저 파장 등이 관계되는데 그림 2에서 재료와 레이저 파장에 따라 흡수율이 다름을 알 수 있다 [50]. 예를 들어 1미크론 내외 파장의 Nd:YAG 레이저에서 알루미늄합금의 흡수율은 불과 5~15% 이지만, 철강은 40%가 넘는다 [50]. 따라서 알루미늄의 융점은 철강보다 낮음에도 불구하고, 레이저 흡수율이 낮아 용융상태 조절이나 플라즈마 형성을 억제하는 것이 쉽지 않아 자칫 과열로
인해 흄이 발생하기 쉽다.
또한 레이저에서 재료 가열 에너지를 가지는 종파(P wave)는 모재와 이루는 조사각이 70°일 때 흡수율이 25%에 지나지 않지만 87° 이상에서는
흡수율이 70-82%에 이를 정도로 크게 증가하며, 파장이 1미크론 내외인 Yb도핑 파이버 레이저는 조사각이 70-85° 구간에서 흡수율이 높지만
파장이 10미크론 수준인CO2 레이저는 85-88.5° 조사각 일 때 흡수율이 가장 높다 [59].
레이저에 의해 흄이 발생할 확률에 대해서는 1968년 Anisimov가 진공 중에서 금속증기 운동을 유체역학적으로 해석한 이래, 흄 거동 연구가 많이
이루어졌다 [18]. 특히 Anisimov와 Khokhlov 는 온도에 따른 기화율을 다음과 같은 식으로 표현하여 흄 발생율을 예측하였다.
Vn은 기화 전방속도 (Evaporation front velocity)의 법선성분 (Normal component), V0는 응축상 (Condensed phase)의 음속 차수 (Order of speed of sound)인 상수, 내부 에너지 U= MLv/kB이며, M은 원자질량, Lv는 기화 잠열 (단위 질량당), kB는 볼츠만 상수이다 [19]. 그러나 기화는 단순히 온도에만 의존하는 변화가 아니다. 예를 들어 재료의 기화점과 융점이 반드시 비례하지 않으며, 합금의 용융에서는 원자 간의
공정반응이나 금속간화합물과 같이 원소 고유의 변태점에 비해 크게 달라지는 현상이 있다. 따라서 흄과 온도의 관계를 해석할 때는 상태도를 참고하여 흄발생
여부를 유추할 필요가 있다.
Anisimov의 해석 이후 레이저 어블레이션 연구 과정에서 분자역학 (Molecular Dynamics, MD), 유체역학(HD), Direct
Simulation Monte Carlo (DSMC)법 같은 방법들이 제안되면서 가스 입자의 특성, 플라즈마 형성, 플룸 거동에 대한 해석들을 통해
흄 발생과정 이해에 많은 진전이 있었다 [20-49].
그림 3은 레이저에 의해 흄이 발생하기 직전의 유체 흐름을 그린 개념도이다. 분말과 모재 (substrate)가 용융된 후에 레이저 빔이 유지되면 플라즈마에
의해 수 백 μm 크기의 캐비테이션 버블 (cavitation bubble)이 생성되고, 버블이 팽창하는 과정에서 플라즈마 플룸이 생기면서 버블 내부에
유체 흐름이 솟아오르게 된다 [55].
레이저에 의한 기화과정에 대해서는 펄스 레이저 보고서들을 주로 참고하였다. 다음 그림 4에서 연속파 레이저일 경우는 레이저가 소재와 반응하는 시간이 지속시간 (duration time)에 직선적으로 비례하며, 펄스 레이저나 초단파 레이저에서는
지속시간 단위에 따라 반응시간이나 모재의 반응이 다를 것을 직관적으로 가늠할 수 있다. 반응시간에 관해서는 Yeo 등이 제시한 다음의 간단한 식이
있다.
Pp는 피크 출력 (W), E는 펄스 레이저 에너지 (J), 그리고 D는 펄스 레이저 지속시간 (s)이다. 따라서 지속시간 D는 레이저 빔과 반응하는
시간으로 간주할 수 있다 [60]. 이 식은 동일 레이저 장비에서 실험 조건을 변화시켜 가며 결과를 비교할 때 유용하다. 하지만 단순히 출력만으로 이들을 상대비교하기는 어렵고,
레이저 방식이나 빔의 모드가 달라지거나, 재료가 바뀌면 레이저 흡수율이 달라져 같은 출력에서도 빔의 최고온도와 온도분포는 달라지게 된다.
레이저 빔의 온도는 기화 현상을 일으키는 근본적인 원인 중 하나이므로 이에 대해 살펴본다. 다음 그림 5는 펄스 레이저와 연속파 레이저의 파형특징을 비교한 것이다.
그림 5에서 보듯 펄스 레이저에서는 중간의 휴지시간이 어떻게 되느냐에 따라 총 인가 에너지가 연속파 레이저보다 더 낮을 수도 있고 높을 수도 있다. 출력이
안정적인 고출력 연속파 레이저에서의 초점 온도는 2000~3200 °C로 알려져 있지만, 피크 출력이 높은 펄스 레이저에서의 초점 온도는 연속파 레이저보다
더 높은 경우가 많다 [62]. 그리고 레이저 빔의 모드에 따라, 중심부 강도가 강한 가우시안보다는 탑햇 (Top-hat)인 경우에 최고온도가 더 낮아지므로 흄 발생 가능성이
낮아진다 [63].
하지만 레이저 파장에 따른 에너지 [65], 재료의 흡수율 [65,66], 재료의 열전도도, 표면조도에 따른 반사율, 레이저 빔 이송속도 [68], 빔에서의 위치에 의해서도 가열 온도가 달라지기 때문에 같은 레이저 장비에서도 일률적으로 레이저 빔의 온도를 규정하기는 어렵다.
이런 레이저의 특성으로 인해 레이저 온도를 측정하거나 일정하게 유지하는 것이 쉽지 않은 점이 공정개발에서의 어려움이다. 그럼에도 불구하고 1970년대
이래 레이저 빔의 강도를 계산하거나 [68] 라만 측정법 [69]과 광학 고온계 [70] 등으로 레이저 빔의 온도를 직접 측정하려는 노력들이 이어져 레이저 빔의 온도분포를 확인할 수 있었다. 지금은 정밀한 온도 센서들이 많이 개발되어
MKS의 Ophir 센서 같은 경우 레이저 빔 온도를 1% 오차 범위로 측정할 수 있는 수준에 이르렀다. 또한 공정에서 이들 변수를 일일이 고려하지
않더라도 실제로는 장비에 의해 빔 사이즈, 레이저 종류, 초점 거리 등이 이미 결정된다. 또 레이저 출력, 분말량, 이송속도만 변수로 하여 single
track deposition, multi-track deposition 실험을 해보면 해당 장비에서 적용 가능한 조건인지, 재료가 적합한지 등을
판별할 수 있기에 레이저 빔 온도측정을 반드시 필요로 하지는 않는다.
3.2 나노입자 방출에 의한 흄 발생
대부분의 문헌들은 레이저 광자가 모재에 침투하면 표면이 용융되어 용융지가 형성되고, 융액에서 플라즈마가 생기면 이후에 흄이 발생한다고 간단하게 설명하였다
[71-73]. 하지만 실제 플라즈마 형성 이후 흄 생성 사이에는 몇 가지 과정들이 추가로 존재한다. 연속파 레이저에서는 이런 모든 반응이 불과 수십 ~ 수백
μs 시간 내에 이루어지며 [71], 펄스 레이저에서는 최고 출력에 따라 더 빠른 시간에 일어난다 [73]. 용융지에서 플라즈마가 생기면 캐비테이션 버블이 형성되어 팽창되면서 내부에 플라즈마 플룸이 솟구치는데 [55], 이를 따라 방출된 나노입자들은 흄으로 된다. 이렇게 방출된 나노입자들, 즉 흄은 분위기 중의 가스와 반응하여 산화물, 질화물 등을 형성하기 때문에
분말과 모재에 균일하게 레이저 에너지가 전달되는 것을 방해할 뿐만 아니라 불순물로 혼입될 수 있어 건전한 DED층을 얻기 어려워지는 것으로 판단된다.
연속파 레이저에서는 피크 출력이 없어 펄스 레이저와 달리 충격파 효과나 나노입자 발생은 없다고 오해할 수 있다. 그러나 실제로는 연속파 레이저에서도
플라즈마가 형성되며, 연달아 플라즈마 플룸, 캐비테이션 버블, 나노입자 방출 과정들이 나타나고 [56,71-75] 흄 발생으로 이어지는데, 이는 종모드 전자기파의 강도와 가속에 의해 플라즈마가 형성된 것으로 쉽게 유추할 수 있다. 또한 캐비테이션 버블이 붕괴될
때 충격파가 발생하는 것은 많이 알려진 사실이며 고출력 연속 레이저에서 캐비테이션이 발생하게 되면 충격파가 존재한다는 추론이 가능하다.
3.3 캐비테이션버블 (cavitation bubble)의 영향
캐비테이션은 액체가 존재하는 곳에서 온도가 상승함에 따라 액체 속에 포화된 성분의 증기압이 낮아지면서 기화 할 때 증기 버블이 생기는 현상이다. MAM에서
캐비테이션 버블이 생기는 이유에는 유체 압력변화 뿐만 아니라 융액의 유체속도 변화에 의한 증기압 변화도 주요 요인이다. 즉, 융액의 점도나 기화성분의
함량이 높으면 캐비테이션 발생 가능성이 높아 흄이나 스패터의 원인이 되곤 한다. 단시간에 고압을 형성했던 캐비테이션 버블 내에서는 기상의 응집으로
나노 입자가 생성되었다가, 플룸 형성과 폭발로 이어지면서 방출된 나노입자들이 흄을 발생시키고, 버블 내에서 크게 응집되었던 나노 입자들은 방출되면서
주변에 스패터를 형성한다.
연속파 레이저와 같은 고에너지 빔과 반응할 때 레이저 빔의 이동속도가 빨라지면, 유체의 증기압에 변화가 생겨 증기 버블이 발생하게 된다. 레이저 빔에
의해 생성되는 유체의 이동속도가 빠를수록 융액의 증기압은 낮아져 캐비테이션 버블이 생기기 쉬워진다. 실제에서는 레이저 빔의 이송속도가 빨라지면 유체
이동속도가 빨라지는 것과 유사한 효과가 생긴다. 이는 다음 베르누이의 법칙을 설명하는 식에서,
p는 압력, ρ는 유체의 밀도, v는 유동 속도, g는 중력 가속도, h는 기준면에 대한 레이저 초점의 높이 [76] 일 때, 유체속도가 증가하면 압력이 낮아지는 사실을 알 수 있다.
DED공정에서 캐비테이션 버블은 붕괴되는 과정에서 충격파나 진동을 발생하므로 응고 중인 층에도 결함을 남기게 된다. 이밖에 충격파를 일으키는 캐비테이션
버블 원인에는 융액 내의 기포가 렌즈역할을 하여 융액을 과열시키는 광학 캐비테이션 (Optical cavitation) [77]도 있다.
다음 그림 6은 Stauss 등이 플라즈마 어블레이션에서 캐비테이션 버블생성에 의해 나노입자들이 발생하는 과정을 설명한 그림이다 [51,52].
Stauss 등의 연구에 의하면, 레이저 조사 후에 캐비테이션 버블이 가장 크게 팽창한 때에 나노입자 핵이 형성된다. 시간이 지나면서 일부 나노입자들은
버블 내에서 응집되어 더 큰 나노입자로 성장하는데 큰 입자가 캐비테이션 버블에 갇혀 있는 동안, 작은 나노입자 일부는 버블에서 주변의 유체로 빠져나가기도
한다 [51]. 이 연구에서는 나노입자들이 통과할 수 있는 이유에 대해 캐비테이션 버블의 계면이 이동이 불가능한 물질막이 아니라 압력과 밀도 차이로 형성된 막으로
나노 입자가 통과할 수 있는 상태이기 때문이며, 버블 내의 압력이 증가하고 캐비테이션 버블이 붕괴되는 과정에서 일부 나노 입자들은 플라즈마에 의해
재생성되는 캐비테이션 버블 속에 갇혀 잔류하기 때문이라고 주장한다. 또한 버블 속에 나노 입자들의 수가 증가하면 플라즈마 플룸이 상승하여 다시 캐비테이션
버블 붕괴가 일어나게 나며, 캐비테이션 버블이 붕괴할 때 형상은, 플라즈마 플룸에 의한 나노 입자들의 제트 유속이 모재의 표면에 수직방향으로 방출되어
그림 3과 같이 뾰족한 고깔 형태가 된다고 설명하고 있다.
플라즈마 발생에서부터 나노 입자방출까지의 단계를 연구한 Muneoka 등의 연구에 의하면, 기체 분위기에서는 플라즈마 발생으로 부터 나노입자 방출까지
플라즈마 형성단계 (phase I), 캐비테이션 버블 팽창단계 (phase II), 이중층 캐비테이션 버블의 팽창단계 (phase III), 수축단계
(phase IV), 침체단계 (phase V), 나노입자 방출에 의한 캐비테이션 버블의 붕괴단계 (phase VI)까지 총 6단계를 거치게 된다
[56].
하지만 DED동일 조건에서도 레이저 노즐과 모재의 상대각도를 바꾸면 흄이 줄어드는 것을 볼 수 있는데, 이는 레이저 조사각과 분말, 가스의 공급각도에
따라 캐비테이션없이 융액이 형성되는 구간이 존재한다는 것을 말한다. 이런 현상은 다음의 Tupper 식으로 설명할 수 있다 [78].
식 (4)에서 받음각의 일정 범위 내에서는 캐비테이션 수가 증가해도 캐비테이션이 쉽게 일어나지 않는 비캐비테이션 영역이 존재한다. Tupper는 캐비테이션수와
받음각 (angle of attack)의 관계에서 비캐비테이션 영역을 그림 7의 캐비테이션 버켓 다이아그램으로 설명하였다 [78]. DED에서도 이같은 캐비테이션 버켓 다이어그램과 이와 연관된 분말의 성분, 모재의 표면조도에 따른 레이저의 흡수율 차이에 대한 이해는 흄 억제에
매우 유익하다.
캐비테이션 버블이 생기고 최고점에 이를 때 플룸 팽창이 일어나는데, 그림 8은 레이저 어블레이션에 의해 알루미나 나노입자를 합성하는 연구에서 수백 μs 시간 사이에 플라즈마로 인해 생긴 가스상들이 응집하였다가 터지는 과정을
공초점현미경으로 관찰한 사례를 소개하고 있다 [54].
또한 그림 9는 Ibrahimkutty 등이 약 320 μs 레이저를 조사한 후 캐비테이션 버블의 내부에서 레이저 초점 위치로부터 플라즈마 플룸이 솟아 오르는
장면들을 X선 투과 촬영한 사진들이며, 앞에 그림 3은 이의 개념도이다 [55]. 흄은 이때 방출되는 유체의 나노입자들을 일컫는다.