๋ฐ์ ํ
(Jung-Hyun Park)
1
์ก๋
ธ๊ฑด
(Noh-Geon Song)
12
์ต์ฌํธ
(Jae-Ho Choi)
3
๊ฐ๋ํ
(Doo-Hong Kang)
4
์ด๊ธฐ์
(Kee-Ahn Lee)
1*
-
์ธํ๋ํ๊ต ์ ์์ฌ๊ณตํ๊ณผ
(1Department of Materials Science and Engineering, Inha University, Incheon 22212, Republic of Korea)
-
์ธํ๋ํ๊ต ๋ฐ๋์ฒด ์ตํฉ์ ๊ณต
(2Program in Semiconductor Convergence, Inha University, Incheon 22212, Republic of Korea)
-
(์ฃผ) ์จ์์
(3CN-1 Corp., Hwaseong 18487, Republic of Korea)
-
(์ฃผ) ์์คํ๋ก
(4Asflow Corp, Hwaseong 18514, Republic of Korea)
Copyright ยฉ 2025 The Korean Institute of Metals and Materials
Key words
Diaphragm valve, Co-Cr-Ni, Co-Ni-Cr, Cold-rolled, Microstructure, Tensile property
1. ์ ๋ก
๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ๋ ๊ธ์ ์์ฌ๋ฅผ ์์ฐํ์ฌ ์ ์กฐํ ์์ ๋ฐํ ํํ์ ์ค๋ฐํธ๋ก, ๊ฐ์ค ๋ฐธ๋ธ ๋ถํ์์ ์ ์ฒด๋ ๊ฐ์ค ํ๋ฆ์ ์ ์ดํ๋ ์ค์ํ ๊ตฌ์ฑ ์์์ด๋ค[1-3]. ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
์ ๋ฐ์ ์ ๋ฐ๋ผ ultra-high purity ๋ฑ๊ธ์ ๊ฐ์ค ์ ์ด์ ์ค์์ฑ์ด ์ปค์ง๋ฉด์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ์ ๋ํ ์์๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๊ณ
์๋ค[4,5]. ์ด๋ฌํ ์์ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฌ๋ฃ๋ ๋์ ์๋ ฅ๊ณผ ์ธ๋ถ ์๋ ฅ์ ๊ฒฌ๋์ผ ํ๋ฉฐ ๊ทธ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ณํ ์ ํญ์ฑ์ด ์๊ตฌ๋๋ค[6]. ๋ํ ์๋ ์ค์ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ๋ ํผ์คํค ๋ก๋ฉ์ผ๋ก ์ธํ ์ธ์ฅ ์๋ ฅ์ ๊ฒช์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์์ฑ ๋ณํ ๋ฐ ํ์์ผ๋ก ์ด์ด์ง ์ ์๋ค[7,8]. ์ด๋ ๋ฐธ๋ธ ๋ถํ์ ์ฌ์ฉ ์๋ช
๊ณผ ๋ด๊ตฌ์ฑ์ ์๋นํ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ํจ๊ณผ์ ์ธ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ ์ค๊ณ๋ฅผ ์ํด์๋ ํ์ฑ ํ๊ณ, ํญ๋ณต ๊ฐ๋, ์ธ์ฅ
๊ฐ๋์ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฃ์ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ์ ์ ์คํ๊ฒ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํ๋ฉฐ, ์ด๋ฌํ ํน์ฑ์ ์ฌ๋ฃ์ ๋ฏธ์ธ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ณํ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ์ํด ์ง์ ์ ์ธ ์ํฅ์ ๋ฐ๋๋ค.
๊ฐ์ค ๋ฐธ๋ธ ๋ถํ์์ ๊ธ์ ๋ค์ด์ดํ๋จ์ ํน์ ๋ถ์์ฑ ๊ฐ์ค์ ์ฅ์๊ฐ์ผ๋ก ๋
ธ์ถ๋ ์ํ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ต๊ทผ์๋ ๋ค์ํ ๋ถ์ ํ๊ฒฝ์์๋ ๋์ ๋ด๊ตฌ์ฑ์
๊ฐ๋ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ์ ์ ์กฐ๋ฅผ ์ํด ๊ธฐ์กด์ ์ฌ์ฉ๋์๋ ์คํ
์ธ๋ฆฌ์ค ๊ฐ ์์ฌ ์ด์ธ์ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ ์์ฌ๋ค์ด ์ ์ ๋ฐ ์ ์ฉ ์๋๋๊ณ ์๋ค[9,10]. ํนํ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ ์์ฌ๋ค์ ์คํ
์ธ๋ฆฌ์ค ๊ฐ ์์ฌ์ ๋นํด ์๋์ ์ผ๋ก ์ฐ์ํ ๋ด์์ฑ ๋ฐ ๊ฐ๋, ๋ง๋ชจ ์ ํญ์ฑ์ ์ ๊ณตํ์ฌ ์ฅ์๋ช
๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ ์์ฉ
๋ถ์ผ์ ์ ํฉํ๋ค[11-13]. ์ด ์ค Co-Cr-Ni๊ณ์ Co-Ni-Cr๊ณ ํฉ๊ธ๋ค์ ์ฐ์ํ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ ๋ฐ ๋ด์์ฑ ์กฐํฉ์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[14,15]. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ Co-Cr-Ni๊ณ ์ดํฉ๊ธ์ธ Elgiloy์ Co-Ni-Cr๊ณ ์ดํฉ๊ธ์ธ SPRON 510์ด ์ ์ฉ๋์๋ค. Elgiloy์ SPRON
510์ ์ฐ์ํ ๊ฐ๊ณต์ฑ ๋ฐ ๊ฐ๊ณต๊ฒฝํ ํน์ฑ์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ๊ณ ๊ฐ๋ ํ์ฑ ๋ถํ์ ์ ํฉํ ์์ฌ๋ก ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ๊ณ ์๋ค[16,17]. ๋ํ ๊ณ ์ฉ๊ฐํ ๋ฐ ์์ถ๊ฐํ๋ฅผ ํตํด ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋์ ํ์ฑ ํ๊ณ๋ฅผ ์ ์งํ์ฌ, ๋ฐ๋ณต์ ์ธ ํ์ฑ ๋ณํ์ด ์๊ตฌ๋๋ ๋ค์ด์ดํ๋จ ๋ฐธ๋ธ ๋ถํ์ ๋์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์
์ ์ํ๋ค.
Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ์ ๊ฐํ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ, ์ ์ ๋ฐ๋, ์๋ณํ, ์์ ๋ฑ ๋ค์ํ ๋ฏธ์ธ์กฐ์งํ์ ์์์ ์ํด ๊ฒฐ์ ๋๋ฉฐ, ๋๊ฐ ์์ฐ์ ํตํ ์ ์ ํ์ฑ์
์ํด ๋์ฑ ํ์ฑํ๋ ์ ์๋ค[18]. ๋ณํ ์์ ์ ์ํ ์์ ๊ฒฝ๊ณ์ ๋ณํ์ ๊ธฐ ์๋ณํ๋ก ํ์ฑ๋ hexagonal close packed (HCP) ์์ ๊ฐ๋ ฅํ ์ ์ ์ฅ๋ฒฝ์ผ๋ก ์์ฉํ์ฌ
๊ฐ๋ ํน์ฑ ์ฆ๊ฐ์ ํฌ๊ฒ ๊ธฐ์ฌํ ์ ์๋ค[19]. ์ด๋ฌํ ํน์ง๋ค์ ์ฃผ๋ก ํฉ๊ธ ๊ตฌ์ฑ์ ์ํด ๊ฒฐ์ ๋๋ ์ ์ธต ๊ฒฐํจ ์๋์ง (stacking fault energy, SFE) ์ฐจ์ด์ ์ํฅ์ ๋ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก
๋ณด๊ณ ๋๊ณ ์๋ค[20,21]. ๋ฐ๋ฉด Co-Cr-Ni๊ณ์ Co-Ni-Cr๊ณ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ๋ค์ ํจ์ ๋์ด ์๋ Mo, Nb, W, Ta์ ๊ฐ์ ํฉ๊ธ ์์๋ค์ topological
close packed (TCP) ์๋ค์ ํ์ฑ์ ์ ๋ํ๋ค. ์ต๊ทผ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ ์ํ๋ฉด ์ด๋ฌํ TCP ์๋ค์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฏธ์ธํ ๋ฐ ์์ถ๊ฐํ๋ฅผ ํตํด ๊ฐ๋, ๊ฒฝ๋
ํน์ฑ์ ํฅ์์ํค๋ฉฐ, ๊ตญ๋ถ์ ์๋ ฅ ์ง์ค์ ํตํด ์ฐ์ฑ์ ๊ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[22,23].
Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ์์๋ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ํน์ง ์ ์ด๋ฅผ ์ํด ๋ค์ํ ์ด์ฒ๋ฆฌ๊ฐ ์ ์ฉ๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฌํ ์ด์ฒ๋ฆฌ ๊ณต์ ์ ์ ์ฉ์ ๊ธฐ๊ณ์ ์ฑ์ง์ ์ ์ด, ํฅ์์ํฌ ์ ์๋ค.
ํนํ ๋๊ฐ ๊ฐ๊ณต๋ ์ํ์์ ์ง์ ์ํจ(direct aging, DA) ์ด์ฒ๋ฆฌ๋ ๊ณ ๋ฐ๋ ์ ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ ์งํ๋ ๋์์ ๊ท ์ผํ ๋ฏธ์ธ
์์ถ๋ฌผ๋ค์ ํ์ฑ์ํฌ ์ ์๋ค[24,25]. ์ด๋ก ์ธํด Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ์์ DA๋ ๊ณ ์ฉํ ์ด์ฒ๋ฆฌ์ ์ํจ ์ด์ฒ๋ฆฌ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ํ์ค ์ด์ฒ๋ฆฌ ์กฐ๊ฑด์ ๋นํด ๊ฐ๋ ํน์ฑ์ ๋ ํฌ๊ฒ ๊ฐ์ ํ ์ ์๋ค. ๋๊ฐ
๊ฐ๊ณต ํ DA ์ด์ฒ๋ฆฌ ํจ๊ณผ์ ๋ํ ํ์ฌ๊น์ง์ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ์์๋, Elgiloy์ ๊ฒฝ์ฐ ์ด๊ธฐ์กฐ์ง์์์ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์๋ณํ ๋ฐ ์์ถ๋ฌผ ํ์ฑ์ ์ค์ฌ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ๋์์ผ๋ฉฐ[26-28], SPRON 510์์๋ Nb ์ฒจ๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ SFE ๋ณํ ๋ฐ ๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๋ํ ๋
ผ๋ฌธ์ด ๋ณด๊ณ ๋์๋ค[29]. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ง์ ์ํจ ํ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ ์ฉ์ ํตํ ๋๊ฐ ์์ฐ Co๊ณ ์์ฌ๋ค์ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง์ ๋ํ ๋ด์ฉ์ ์ผ๋ถ ๋ณด๊ณ ๋์์ง๋ง, ๋ฏธ์ธ ์กฐ์ง ํน์ฑ๋ค์ ์ ๋์ ์ธ
๋น๊ต ๋ฐ ์ธ์ฅ ๋ณํ ๊ฑฐ๋ ํด์์ ๋ํ ์ธ๋ถ์ ์ธ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ ์์ง ์ ์๋ ๋ฐ ์๋ค.
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๋๊ฐ ์์ฐ์ผ๋ก ์ ์กฐ๋ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ์ธ Co-Cr-Ni ํฉ๊ธ(Elgiloy)๊ณผ Co-Ni-Cr ํฉ๊ธ(SPRON 510)์ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง
๋ฐ ์์จ ์ธ์ฅ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ง์ ์ํจ(DA) ์ด์ฒ๋ฆฌ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์กฐ์ฌํ์๋ค. ๋ํ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ ์ฉ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ ๋์ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ํน์ง ๋ณํ๋ฅผ ์ฒด๊ณ์ ์ผ๋ก ๋น๊ตํ์์ผ๋ฉฐ,
์ธ์ฅ ์ํ ํ ๋ณํ ๋ฏธ์ธ ๊ตฌ์กฐ์ ์ธ์ฅ ํน์ฑ ๊ฐ์ ์๊ด ๊ด๊ณ๋ฅผ ํ์ธํ๊ณ ์ฃผ์ ๋ณํ ๊ธฐ๊ตฌ๋ฅผ ๊ท๋ช
ํ๊ณ ์ ํ์๋ค.
2. ์คํ ๋ฐฉ๋ฒ
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ 70%์ ์ํ์จ์ ์ ์ฉํ์ฌ ๋๊ฐ ์์ฐ๋ Co-Cr-Ni ํฉ๊ธ(Elgiloy) ๋ฐ Co-Ni-Cr ํฉ๊ธ(SPRON 510)๋ค์ ์ฌ์ฉํ์๋ค.
๋๊ฐ ์์ฐ์ฌ๋ 285 mm ร 105 mm ๋ฉด์ ๋ฐ 3 mm ๋๊ป๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ํ์ ํํ(๊ทธ๋ฆผ 1)์ด๋ฉฐ ๊ฐ ์์ฌ์ ์กฐ์ฑ์ ํ 1์ ๋ช
๊ธฐํ์๋ค. ์์ฐ์ฌ์ ์ ์ฉ๋ ์ง์ ์ํจ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์กฐ๊ฑด์ ๊ฐ๊ฐ ํ์ค ์ด์ฒ๋ฆฌ(ASTM F1058-08๊ณผ Seiko Instrument Inc.)๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์ฌ
์ค์ ๋์๋ค. Elgiloy๋ ์์ถ๋ฌผ ๋ถ์จ ์ต์ ํ, HCP ์์ ์์ ์ ์ธ ์ ์ง, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํ๋ณต ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ ์ ํ๋ฅผ ๋ฐฉ์งํ๊ธฐ ์ํด 520oC์์
5 h ๋์ DA๋ฅผ ์ํํ ํ ๊ณต๋ํ์๋ค[30]. SPRON 510์ ๊ฒฝ์ฐ, ๋ค์์ ๋ฏธ์ธ ์์ถ๋ฌผ ์ ์ง์ ์ ์๋ฐ๋ ๊ฐ์ ๋ฐ ์์ ๋๊ป ์ฆ๊ฐ๋ฅผ ์ต์ ํจ์ผ๋ก์จ ์์ถ๊ฐํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ํ๋ณดํ๋ฉด์๋ ์กฐ์ง ์์ ์ฑ์
์ ์งํ ์ ์๋ ์กฐ๊ฑด์ผ๋ก ์ค์ ํ์์ผ๋ฉฐ, 520oC์์ 2 h ๋์ DA๋ฅผ ์ํํ ํ ๊ณต๋ํ์๋ค[31]. ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ๊ด์ฐฐ์ ์ํด ์ํธ์ ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ #800-#4000 SiC ์ฐ๋ง์ง, 1 ฮผm ๋ค์ด์ด๋ชฌ๋ ์์คํ์
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 0.04 ฮผm ์ฝ๋ก์ด๋ฌ ์ค๋ฆฌ์นด ์ฉ์ก์
์ด์ฉํ์ฌ ์ํ๋์๋ค. Elgiloy์ SPRON 510์ as-rolled ๋ฐ DA ํ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ๊ด์ฐฐ์ ์ํ ํํ์ ์์นญ์ 200 ml ์ผ์ฐ, 5
ml ์ง์ฐ, 65 g ์ผํ์ฒ ์ ๊ฐ๊ฐ ์ ์ฉํ์ฌ 1๋ถ๊ฐ ์ํ๋์๋ค.
As-rolled ๋ฐ DA ํ์ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ๋ฐ ์ธ์ฅ ์ํ ํ ํ๋จ๋ฉด๋ค์ field emission scanning electron microscope
(FE-SEM, LYRA 3 XMH, TESCAN)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๋ถ์๋์์ผ๋ฉฐ, ์์ถ๋ฌผ์ ๊ตฌ์ฑ ์์ ๋ถํฌ๋ energy dispersive spectroscopy
(EDS, Xmax 50, Oxford) ๋ถ์์ด ์ ์ฉ๋์๋ค. ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ, ์๋ถํฌ ๋ฐ ๊ฒฐ์ ํ์ ๋ฐฐํฅ ๊ด์ฐฐ์ ์ํด FE-SEM์ ์ฅ์ฐฉ๋ electron
backscatter diffraction(EBSD, Nordlys nano, Oxford) ์ฅ๋น๊ฐ ์ฌ์ฉ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด ๋ 20KV voltage,
0.2-0.7 ฮผm์ step size ์กฐ๊ฑด์ ์ ์ฉํ์๋ค. EBSD ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ TSL OIM ์ํํธ์จ์ด๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํด์๋์๋ค.
Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ ์์ฐ์ฌ ์ํ๋ค์ ๊ฒฝ๋๋ ๋ง์ดํฌ๋ก ๋น์ปค์ค ๊ฒฝ๋ ์ํ๊ธฐ (micro-Vickers hardness tester, HM-200, Mitutoyo)๋ฅผ
์ฌ์ฉํ์ฌ ์ธก์ ํ์์ผ๋ฉฐ, 0.3 kgf, 10s holding ์กฐ๊ฑด์์ 12ํ ์ธก์ ํ ํ๊ท ๊ฐ์ ์ ์ํ์๋ค. ์ธ์ฅ ์ํ ์งํ์ ์ํ ์ํํธ์ ASTM
E8M ํ์ค์ ์๋ธ์ฌ์ด์ฆ ๊ท๊ฒฉ์ ๋ฐ๋ผ ๊ธธ์ด 100 mm, ๊ฒ์ด์ง ๊ธธ์ด 25 mm, ๊ฒ์ด์ง ๋๋น 6 mm ํํ๋ก ๊ฐ๊ณตํ์์ผ๋ฉฐ ์์ฐ ๋ฐฉํฅ์ ํํํ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก
์ค๋น๋์๋ค. ์ธ์ฅ ์ํ์ universal machine (AGS-X, Shimadzu)์ ์ด์ฉํ์ฌ 1 ร 10-3 mm/s์ ๋ณํ๋ฅ ์กฐ๊ฑด์์ ์ํํ์์ผ๋ฉฐ, ๋ํ์ ์ธ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ป๊ธฐ ์ํด ๊ฐ ์กฐ์ฑ ๋ณ 5ํ ์ค์ ํ ํ๊ท ๊ฐ์ ๊ตฌํ์๋ค.
3. ๊ฒฐ๋ก ๋ฐ ๊ณ ์ฐฐ
3.1 As-rolled ๋ฐ DA ์ฒ๋ฆฌ๋ Elgiloy์ SPRON 510 ํฉ๊ธ๋ค์ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง
๊ทธ๋ฆผ 2์์๋ Elgiloy ๋๊ฐ ์์ฐ์ฌ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ํน์ง์ ๋ณด์ฌ์ค๋ค. EBSD ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ, as-rolled ๋ฐ DA ์์ฌ์์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก face centered
cubic (FCC) ๋ฐ hexagonal close packed (HCP) ์๋ค์ด ๊ณต์กดํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋์๋ค(๊ทธ๋ฆผ 2(a2,b2)). Co๊ณ ํฉ๊ธ ์์ฌ๋ ๋๊ฐ ์์ฐ ์ค FCC ์์์ HCP ์์ผ๋ก์ ๋ณํ์ ๊ธฐ ๋ง๋ฅดํ
์ฌ์ดํธ ๋ณํ(straininduced martensite transformation,
SIMT)๋ฅผ ํ์ฑํ๋ฉฐ, as-rolled ๋ฐ DA ์์ฌ์์ ๊ด์ฐฐ๋ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ํน์ง์ ์ด์ ๊ฐ์ SIMT ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ๊ธฐ์ธํ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[32]. Elgiloy as-rolled, DA ์์ฌ์ ์๋ถ์จ์ ์ธ ๊ฐ์ ๋ค๋ฅธ ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ๋น๊ตํ์ฌ ํ๊ท ๊ฐ์ ๋์ถํ์๋ค. ํ์ฑ๋ HCP ์์ ๋ถ์จ์ as-rolled์
DA์์ ๊ฐ๊ฐ 11.6%, 19.9%๋ก ์ธก์ ๋์ด, DA์์ ๋ ๋์ ๊ฐ์ ๋ํ๋ด์๋ค. ํนํ DA์์๋ as-rolled ๋๋น ์์ ๋ฐด๋ ํํ์ HCP
์๋ค์ด ๋ค์ ๊ด์ฐฐ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 2(b3)). Co๊ณ ํฉ๊ธ์์ HCP ์์ ํ ์์์ธ Mo๋ ์ํจ ๊ณผ์ ์์ ๊ตญ๋ถ์ ํธ์์ ํ์ฑํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ SFE๋ฅผ ๊ฐ์์์ผ FCC ์์ ๋ถ์์ ํ๊ฒ ํ๊ณ
HCP๋ฅผ ์์ ํ์ํฌ ์ ์๋ค[33,34]. ๋ํ ๋๊ฐ ์์ฐ ๊ณต์ ์ค์ ๋ถ์ฌ๋ ์๋ ฅ์ FCC ๊ธฐ์ง์ ๋ณํ ์๋์ง๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์์ผ ์ํจ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ค HCP๋ก์ ์ ๋ณํ๋ฅผ ์ด์งํ์์ ๊ฒ์ผ๋ก ์์ํ
์ ์๋ค.
As-rolled ๋ฐ DA Elgiloy ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง์ grain orientation spread (GOS) map ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ค์ ๊ทธ๋ฆผ 2(a4,b4)์ ๋์ดํ์๋ค. ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ์ค๋ฐฐํฅ ๊ฐ๋ ๋ฒ์๋ฅผ ์ค์ ํ์ฌ 0o ~ 1.5o๋ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ, 1.5o~ 4o๋ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ, 4o~ 180o๋ ๋ณํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ผ๋ก
๋ถ๋ฅํ์๋ค. As-rolled๋ฐ DA Elgiloy์์๋ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก SIMT๋ก ์ธํด ํ์ฑ๋ HCP ์ ์ฃผ๋ณ์์ ๋ฐด๋ ํํ์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๋ค์ด
ํ์ธ๋์๋ค. ํนํ HCP ์์ด ํ์ฑ๋๋ ์์ญ์ ์ฃผ๋ณ FCC ๊ธฐ์ง์์ ๊ฒฉ์ ๋ถ์ผ์น๋ก ์ธํด ๋์ ๊ฒฐํจ ๋ฐ๋๋ฅผ ํ์ฑํ์๋ค. ๋์ ๊ฒฐํจ ๋ฐ๋๋ ์ ์ฅ ์๋์ง๋ฅผ
์ฆ๊ฐ์์ผ ๋ณํ ๋์ค ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํ์ฑ์ ์ด์งํ ์ ์๋ค[35]. As-rolled ์์ฌ์์๋ 0.76 ยฑ 0.57 ฮผm ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ด ์กด์ฌํ์์ผ๋ฉฐ, DA ์์ฌ์์๋ 0.42 ยฑ 0.21 ฮผm ํฌ๊ธฐ๋ฅผ
๊ฐ์ง๋ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ด ๊ด์ฐฐ๋์ด asrolled ๋๋น ๋ฏธ์ธํ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 2(a5,b5)). SEM-EDS ๋งตํ ๊ฒฐ๊ณผ, as-rolled ๋ฐ DA ์์ฌ๋ค์์ Morich ๋ธ๋ก ํํ์ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ด ๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ฮผ ์ ๋๋ ฯ ์์
๊ธ์๊ฐ ํํฉ๋ฌผ๋ก ์์๋๋ค[36-38]. ๋ํ ์์ถ๋ฌผ์ ๋ถ์จ์ as-rolled์์ 1.2 ยฑ 0.2 %์ด๋ฉฐ DA์ ์ฉ ํ 3.1 ยฑ 0.5 %๋ก ์ฆ๊ฐํ์๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 3์ SPRON 510 ๋๊ฐ ์์ฐ์ฌ์ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค. EBSD์ ์ ๋ถํฌ ๋งต์์, asrolled ๋ฐ DA ์์ฌ๋ค์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก
FCC ๋จ์ผ์์ ์ ์งํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ธ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 3(a3,b3)). ์ด๋ Elgiloy์์ SIMT ๊ฑฐ๋์ ํตํด HCP ์์ด ํ์ฑ๋ ๊ฒ๊ณผ๋ ๋์กฐ์ ์ธ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. ์ด๋ฌํ ํน์ง์ SPRON 510 ์์ฌ์ ๋์ Ni
ํจ๋์ผ๋ก ์ธํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ค๋ช
๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด์ ๊ด๋ จํ์ฌ Li ๋ฑ์ SPRON 510 ์์ฌ์์ Ni ํจ๋์ด 25 wt% ์ด์์ผ ๊ฒฝ์ฐ ์์จ์์ SIMT๋
๋ฐ์ํ์ง ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด๊ณ ํ ๋ฐ ์๋ค[39]. GOS ๋งต ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ, ์กฐ๋ํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ์ฌ์ด์ ์์ญ์์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๋ค์ด ์ผ๋ถ ๊ด์ฐฐ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 3(a4,b4)). ๊ทธ๋ฌ๋ SPRON 510์ Elgiloy ๋ณด๋ค๋ ๋ฎ์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ถ์จ๋ค์ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฌํ ์ฐจ์ด๋ SPRON 510์์ ๋๊ฐ ์์ฐ
๋์ค HCP ์์ผ๋ก์ SIMT ๊ฑฐ๋์ด ๋ํ๋์ง ์์ ๊ฒ์ ๊ธฐ์ธํ๋ค๊ณ ์ดํด๋ ์ ์๋ค. SEM-EDS ๋งตํ ์ด๋ฏธ์ง๋ as-rolled ๋ฐ DA ์์ฌ๋ค์์
Mo, Nb, Ti-rich์ ๋ธ๋ก ํํ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ ๋ณด์ฌ์ค๋ค(๊ทธ๋ฆผ 3(a5,b5)). ์ํ๋์์ ๋น๊ต ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก, ์์ถ๋ฌผ๋ค์ ๊ฐ๊ฐ Mo-rich (ฮผ์, ฯ์), Ti-rich (ฮท์) ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ Ti, Nb-rich
(ฮด์)์ TCP ๊ธ์๊ฐ ํํฉ๋ฌผ๋ก ์์๋์๋ค[40]. ฮผ์, ฯ์, ฮด์ ๋ฐ ฮท์์ ๊ฐ๊ฐ ์๋ก ๋ค๋ฅธ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์์ฌ์ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ์ ๋ค์ํ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค. ฮผ์(Co7Mo6)์ hexagonal ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฉฐ, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฏธ์ธํ๋ฅผ ์ ๋ํ์ฌ ๊ฐ๋ ์ฆ๊ฐ์ ๊ธฐ์ฌํ๋ค[41]. ฯ์(Co2Mo3)์ tetragonal ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ์์ถ๋ฌผ๋ก, ํฌ๊ธฐ๊ฐ ํฌ๊ณ ์ทจ์ฑ์ด ๊ฐํ์ฌ ์ ์์ ์ด๋์ ์ต์ ํจ์ผ๋ก์จ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํจ๋ค[42]. ฮด์(Ni3Ti, Ni3Nb)์ orthorhombic ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฉฐ, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ์ ๋ฏธ์ธํ๊ฒ ๋ถํฌํ์ฌ ๊ท ์ด ์ ํ๋ฅผ ์ง์ฐ์ํค๊ณ ๊ฐ๋๋ฅผ ํฅ์์ํจ๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ฮด์์ด ์กฐ๋ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ,
๊ท ์ด์ ์ฝ๊ฒ ์ ๋ฐํ์ฌ ๊ฐ๋์ ์ฐ์ ์จ์ ์ ํ์ํฌ ์ ์๋ค[43,44]. ฮท์(Ni3Ti)์ hexagonal ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ด๋ถ ๋ชจ๋์์ ์์ถ๋๋ค. ๋ํ ์ ์ ํ ์์ค์ ์ฐ์ฑ์ ์ ์งํ๋ฉด์๋ ์ ์ ์ด๋์ ๋ํ ์ ํญ์
์ ๊ณตํ์ฌ ๊ฐ๋ ํฅ์์ ๊ธฐ์ฌํ๋ค[45]. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ฮผ์, ฯ์ ๋ฐ ฮด์์ ๊ธฐ์ง์ ๋ถ์ ํฉ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฉฐ ์ ์ ์ด๋์ ๋ฐฉํดํด ๊ฐ๋๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํค๊ณ ์ฐ์ฑ์ ์ ํ์ํฌ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ฮท์์ ๊ธฐ์ง์
์ค์ ํฉ ๊ด๊ณ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฉฐ ๊ฐ๋์ ์ธ์ฑ์ ๊ท ํ์ ์ธ ์กฐํฉ์ ๊ธฐ์ฌํ๋ค. ์์ถ๋ฌผ๋ค์ ํ๊ท ํฌ๊ธฐ๋ as-rolled ์ DA์์ ๊ฐ๊ฐ 0.93 ยฑ 0.56 ฮผm,
0.65 ยฑ 0.31 ฮผm ๋ก ํ์ธ๋์ด, Elgiloy์ ๋นํด SPRON 510์์ ์๋์ ์ผ๋ก ์กฐ๋ํ ํน์ง์ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ฐ๋ฉด ์์ถ๋ฌผ์ ๋ถ์จ์ as-rolled์์
3.6 ยฑ 0.5 %, DA์์ 5.4 ยฑ 0.4 %๋ฅผ ๋ํ๋ด์ด DA ํ ์ฆ๊ฐํ์์ผ๋ฉฐ, Elgiloy์ ๋นํด SPRON 510์ด ์๋์ ์ผ๋ก ๋ ๋์
๊ฐ์ ๋ณด์๋ค.
EBSD ๋ถ์์ ํตํด ๊ฐ ์์ฌ์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋น๊ตํ ๊ฒฐ๊ณผ, Elgiloy๋ as-rolled ์ํ์์ ํ๊ท 3.55 ยฑ 1.20 ฮผm, DA ์ํ์์
2.98 ยฑ 1.06 ฮผm์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๋ํ๋์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ SPRON 510 (as-rolled: 8.13 ยฑ 2.36 ฮผm, DA: 5.90 ยฑ
1.68 ฮผm)๊ณผ ๋น๊ตํด ์๋์ ์ผ๋ก ๋ ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์งํ๊ณ ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด๋ Elgiloy์์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ถ์จ๋ค์ด
์๋์ ์ผ๋ก ๋ ๋์ ๊ฒ์ ๊ธฐ์ธํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋๋ค. ๋ํ Elgiloy์ SPRON 510์์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก as-rolled์ ๋นํด DA ํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ
ํฌ๊ธฐ๊ฐ ๊ฐ์ํ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ DA ์ ์ฉ์ ๋ฐ๋ฅธ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ถ์จ ์ฆ๊ฐ์ ์ถ๊ฐ์ ์ผ๋ก ํ์ฑ๋ ๋ฏธ์ธ ์์ถ๋ฌผ๋ก ์ธํ ๊ณ ์ ํจ๊ณผ์ ์ํ ์ํฅ์ด ํจ๊ป
์์ฉ๋์ด ๋ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. Kernel average misorientation (KAM) value ๋น๊ต ๊ฒฐ๊ณผ, Elgiloy (as-rolled:
0.91o, DA: 0.98o)์ ๋นํด SPRON 510 (asrolled: 1.19o, DA: 1.30o)์์ ๋ ๋์ ํน์ง์ ๋ํ๋๋ค. Elgiloy์
SPRON์์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก DA ์ ์ฉ ํ KAM value๊ฐ ์ฆ๊ฐํ์์ผ๋ฉฐ ์ด๋ ๋ฏธ์ธ ์์ถ๋ฌผ ๋ถ์จ ์ฆ๊ฐ์ ์ํ ์ ์ ์ด๋ ๋ฐฉํด์ ์ํ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ์๋ ฅ ์ฆ๊ฐ
๋๋ฌธ์ด๋ค. ๋ฐ๋ฉด Elgiloy๋ ๋๊ฐ์์ฐ ๊ณผ์ ์์ SIMT ํ์ฑ์ผ๋ก ์ธํ ๋ณํ์ ํก์์, HCP ์ ์ฃผ๋ณ์์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ด ํ์ฑ๋จ์ผ๋ก์จ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ์๋ ฅ
์ํ๊ฐ ์ด๋ฃจ์ด์ก์ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ํน์ง์ผ๋ก ์ธํ์ฌ Elgiloy๊ฐ SPRON 510์ ๋นํด ๋ ๋ฎ์ KAM value๋ฅผ ๋ํ๋ด๋
๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ์ดํด๋ ์ ์๋ค.
3.2 As-rolled ๋ฐ DA ์ฒ๋ฆฌ๋ Elgiloy์ SPRON 510 ํฉ๊ธ๋ค์ ์์จ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ง
๋น์ปค์ค ๊ฒฝ๋ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ, Elgiloy๋ as-rolled์์ 485.4 ยฑ 7.9HV, DA์์ 579.1 ยฑ 7.6 HV๋ก ํ์ธ๋์์ผ๋ฉฐ, DA
ํ ๊ฒฝ๋ ๊ฐ์ด 16.2% ์ฆ๊ฐํ์๋ค. SPRON 510์ ๊ฒฝ์ฐ as-rolled์์ 488.8 ยฑ 3.8 HV, DA์์ 599.0 ยฑ 8.0 HV๋ก
์ธก์ ๋์ด, DA ํ 18.4% ์ฆ๊ฐํ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ Elgiloy๋ณด๋ค ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ ๊ฒฝ๋ ์ฆ๊ฐ์จ์ด๋ค. ๊ทธ๋ฆผ 4์ ํ 2๋ Elgiloy ๋ฐ SPRON 510 ์์ฌ๋ค์ ์์จ ์ธ์ฅ ํน์ฑ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด์ฌ์ค๋ค. Elgiloy์ ๊ฒฝ์ฐ as-rolled ์์ฌ๋ ์ต๋ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋ 1825.9
ยฑ 4.9 MPa, ํญ๋ณต ๊ฐ๋ 1433.1 ยฑ 12.5 MPa, ์ฐ์ ์จ 3.4 ยฑ 0.2 %๋ฅผ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ, DA ์ ์ฉ ํ ์ต๋ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋ 2152.6
ยฑ 25.9 MPa, ํญ๋ณต ๊ฐ๋ 1828.4 ยฑ 49.2 MPa, ์ฐ์ ์จ 0.8 ยฑ 0.1 %๋ฅผ ๋ณด์๋ค. ๋ฐ๋ฉด SPRON 510์ as-rolled
์์ฌ๋ ์ต๋ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋ 1684.6 ยฑ 11.1 MPa, ํญ๋ณต ๊ฐ๋ 1442.7 ยฑ 23.2 MPa, ์ฐ์ ์จ 4.6 ยฑ 1.1 %๋ฅผ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ,
DA ์ ์ฉ ํ ์ต๋ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋ 2015.9 ยฑ 22.4 MPa, ํญ๋ณต ๊ฐ๋ 1920.7 ยฑ 31.7MPa, ์ฐ์ ์จ 1.6 ยฑ 0.3 %๋ก ํ์ธ๋์๋ค.
๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก Elgiloy์ SPRON 510์์๋ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก as-rolled์ ๋นํด DA ์ ์ฉ ํ ํญ๋ณต ๊ฐ๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๊ฐ ๋ชจ๋ ์ฆ๊ฐํ์๋ค. ๋ํ
Elgiloy๋ SPRON 510์ ๋นํด ๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๋ฅผ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ, SPRON 510์ Elgiloy์ ๋นํด ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋ ๋ฐ ์ฐ์ ์จ์ ๊ฐ์ง๋
ํฅ๋ฏธ๋ก์ด ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด์๋ค.
3.3 ์ธ์ฅ ํ๋จ๋ฉด ๊ด์ฐฐ ๊ฒฐ๊ณผ
์ธ์ฅ ์ํ ํ Elgiloy ์ํธ๋ค์ ํ๋จ๋ฉด ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 5์์ ์ ์ํ์๋ค. Elgiloy as-rolled์ DA ์ํธ์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก ์กฐ๋ํ ๊ท ์ด๋ค์ ๋ฐ๋ผ ํ์ฑ๋ ๋งค๋๋ฌ์ด ๋ฒฝ๊ฐ ํ๋ฉด ํน์ง์ ๋ณด์ฌ์ฃผ์ด ์ ํ์ ์ธ
์ทจ์ฑ ํ๊ดด ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 5 (a,b)). Elgiloy as-rolled ์ํธ์ ํ๋จ๋ฉด์์๋ 1~7 ฮผm์ ํฌ๊ธฐ ๋ฒ์๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๋ค์์ ๋ฏธ์ธ ๋คํ๋ค๊ณผ ๋ฒฝ๊ฐ ํ๋จ๋ฉด๋ค์ด ์ฃผ๋ก ๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ฉฐ,
๋คํ๋ค์ ํฌ๊ธฐ ๋ถํฌ๋ ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก ๊ท ์ผํ์ง ์์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 5 (a,c)). ๋ฏธ์ธ ๋คํ๋ค์ ์ฃผ๋ก Elgiloy as-rolled ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง์์ ๊ด์ฐฐ๋ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๋ค์ด ์ ์ ์ด๋์ ์ต์ ํ์ฌ ํ์ฑ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ์ด๋ฌํ
๋ถ๊ท ์ผ ํฌ๊ธฐ์ ๋คํ๋ค์ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ํ๊ดด๋ฅผ ์ผ๊ธฐํ์ฌ ์ฐ์ ์จ ๊ฐ์์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ์ ์๋ค. DA ์ํธ์ ๊ฒฝ์ฐ, asrolled ๋๋น ๋ฒฝ๊ฐ ํ๋จ๋ฉด ์์ญ์ด
์ฆ๊ฐํ์์ผ๋ฉฐ, ๋ ๋ฏธ์ธํ ๋คํ๋ค๋ ๊ด์ฐฐ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 5 (b,d)). ์ด๋ DA ํ ์ฆ๊ฐํ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๋ค์ ์ํ ์ํฅ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ค์ํ ํฌ๊ธฐ์ ๋คํ ํ์ฑ์ ๋ถ๊ท ์ผํ ๊ตญ๋ถ ๋ณํ์ ๊ฐ์ํํ๋ ์์ธ์ผ๋ก ์์ฉํ
์ ์๋ค.
SPRON 510 ์ํธ๋ค์ ์ธ์ฅ ํ๋จ๋ฉด ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๊ทธ๋ฆผ 6์ ๋ํ๋ด์๋ค. SPRON 510 as-rolled ๋ฐ DA ์ํธ์์๋ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ ๊ท ์ด๋ค์ด ๋ค์ ์กด์ฌํ๋ ๋ฒฝ๊ฐ ํ๋ฉด ํน์ง์ ๋ณด์ฌ์ฃผ์ด Elgiloy์๋
๋ค๋ฅธ ์ทจ์ฑ ํ๊ดด ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 6 (a,b)). As-rolled ์ํธ์ ํ๋จ๋ฉด์์๋ ๋ค์์ ๋คํ๋ค์ด ์กด์ฌํ์์ผ๋ฉฐ, 7~10 ฮผm์ ํฌ๊ธฐ ๋ฒ์๋ฅผ ๋ณด์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 6 (a)). ์ด ํฌ๊ธฐ๋ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง์์์ ์กฐ๋ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ์ ์ ์ฌํ๋ฉฐ, ํ๋จ์ด ์ฃผ๋ก ์กฐ๋ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ๋ฐ์ํ์์์ ์์ฌํ๋ค. ๊ณ ๋ฐฐ์จ ๊ด์ฐฐ ๊ฒฐ๊ณผ, ๋คํ
์์ญ์ ์ค์ฌ์๋ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ด ์ง์ค๋์ด ๋ถํฌํ์์ผ๋ฉฐ (๊ทธ๋ฆผ 6 (c)), ์ด๋ฌํ ์์ถ๋ฌผ๋ค์ ์ค์ฌ์ผ๋ก ๋คํ๋ค์ด ํ์ฑ ๋ฐ ์ฑ์ฅํ์์์ ์ ์ถํ ์ ์์๋ค. ๋ํ ๋คํ ๋ด๋ถ์์๋ river-pattern ํน์ง๋ ํจ๊ป
๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ๋ณํ ๋์ค ๋ฏธ์ธํ ์์ฑ๋ณํ์ด ์ผ๋ถ ๋ฐ์ํ๋ค๋ ์ ์ ํจ๊ป ๋ณด์ฌ์ค๋ค. DA ์ํธ์ ํ๋จ๋ฉด์์๋ as-rolled ์ํธ ๋๋น ๋คํ๋ค์
ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์์์ก์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ DA๋ฅผ ํตํด ์ฆ๊ฐํ ์์ถ๋ฌผ์ ์ค์ฌ์ผ๋ก ๋ค์์ ๋คํ๋ค์ด ํ์ฑ๋์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ผ๋ก ์ค๋ช
๋ ์ ์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 6 (b)). ๊ณ ๋ฐฐ์จ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ, ๋คํ ๋ด๋ถ์์ ํ์ฑ๋ river-pattern์์ 2์ฐจ ๊ท ์ด์ด ํจ๊ป ๊ด์ฐฐ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 6 (d)). ์ด๋ฌํ 2์ฐจ ๊ท ์ด์ ์ธ์ฅ ์ํ ๊ณผ์ ์์ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ๊ท ์ด ์ ํ ์ ํญ์ฑ์ ์ ๊ณตํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ๊ฐ๋ ๋ฌผ์ฑ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[[46]. As-rolled ๋ฐ DA ์ํธ๋ค์์ Elgiloy๋ณด๋ค SPRON 510์ด ๋ ๊ท ์ผํ ๋คํ ํฌ๊ธฐ ๋ถํฌ๋ฅผ ๋ํ๋์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ SPRON 510์์
์๋์ ์ผ๋ก ์ ์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํ์ฑ์ ์ํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ๋๋ค. ๋ํ SPRON 510 as-rolled ๋ฐ DA ์์๋ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก crack-bridging
ํ์์ด ๊ด์ฐฐ๋์๋ค. ์ด๋ฌํ ํน์ง์ ๊ท ์ด ์ ํ๋ฅผ ๋ฆ์ถ๊ฑฐ๋ ๋ฐฉํดํ์ฌ ๊ท ์ด ์ ํญ์ฑ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค[47].
3.4 ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง๊ณผ ์ธ์ฅ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ์๊ด๊ด๊ณ
๊ทธ๋ฆผ 7์ Elgiloy ์์ฌ์ ์ธ์ฅ ๋ณํ ํ์ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง์ EBSD ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด์๋ค. ๋ณํ ํ as-rolled ์ํธ์์๋ ๋ค์์ ๋ฏธ์ธ HCP phase
grain๋ค์ด ํ์ฑ๋์์ผ๋ฉฐ, DA ์ํธ์์๋ ์๋์ ์ผ๋ก ์กฐ๋ํ ๋ฐด๋ ํํ์ HCP ์๋ค์ด ๊ด์ฐฐ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 7 (b,d)). ๋ณํ ์ HCP ์์ ๋ถ์จ์ asrolled์ DA ์ํธ๋ค์์ ๊ฐ๊ฐ 11.6%์ 19.9%์์ผ๋ฉฐ, ์ธ์ฅ ๋ณํ ํ์๋ ๊ฐ๊ฐ 29.5%์
49.6%๋ก ์ฆ๊ฐํ์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 7 (e)). ํนํ, DA์์๋ as-rolled์ ๋นํด ๋ ๋์ HCP ์๋ถ์จ ์ฆ๊ฐ๊ฐ ๋ํ๋ฌ๋ค. ์ด๋ ๋ฏธ์ธํ๊ฒ ๋ถํฌํ๋ ์์ถ๋ฌผ์ด ์ ์์ ์ด๋์ ๋ฐฉํดํ๊ณ ,
๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฏธ์ธํ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ์๋ ฅ ์ง์ค์ด FCCโHCP ๋ณํ์ ํต์์ฑ ์๋์ง๋ฅผ ๊ฐ์์์ผ, SIMT ๊ฑฐ๋์ ์ด์งํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ํด์ํ ์ ์๋ค[48].
๊ทธ๋ฆผ 8์ SPRON 510 ์์ฌ์ ์ธ์ฅ ๋ณํ ํ์ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง EBSD ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค. As-rolled ์ํ์์๋ ์กฐ๋ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ด๋ถ์ ๋ค์์ ๋ณํ ์์ (60o
์ค๋ฐฐํฅ์ ฮฃ3 ๊ฒฝ๊ณ)์ด ํ์ฑ๋์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 8 (a)). ์ด๋ฌํ ๋ณํ ์์ ์ ํ์ฑ์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ๋ฅผ ์ถ๊ฐ์ ์ผ๋ก ๊ฐํํ๋ฉฐ, ์ฌ๋ฆฝ ํ๋์ ์ ํํ์ฌ ์์ฑ ๋ณํ์ ๋ํ ์ ํญ์ ์ฆ๊ฐ์์ผ ์ด๊ธฐ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํค๋
์ญํ ์ ํ๋ค[49]. ๋ํ ํ๋จ๋ฉด์์ ๊ด์ฐฐ๋ crackbridging์ ๋ณํ ์์ ๊ฒฝ๊ณ์์ ๊ท ์ด ์ ํ๊ฐ ๋ฐ์ํ ๋ ํ์ฑ๋์ด ๊ท ์ด ํ์ฑ์ ์ง์ฐ์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด๊ณ ๋๊ณ
์๋ค[50]. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ด๋ฌํ crack-bridging์ ํ์ฑ์ ๋ณํ ๋์ค ๊ท ์ด ์ ํญ์ฑ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์ํ ์ ์์๋ค. ๋ฐ๋ฉด DA ์ํ์์๋ ๋ณํ
์์ ๊ณผ ์ ์ ์ฌ๋ฆฝ์ด ํจ๊ป ๊ด์ฐฐ๋์ด as-rolled์๋ ๋ค๋ฅธ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ๋ํ๋ด์๋ค (๊ทธ๋ฆผ 8 (b)).
Elgiloy์ SPRON 510 ์์ฌ๋ค์ ์๋ก ๋ค๋ฅธ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ์กฐ์ฑ ์ฐจ์ด์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฏธ์ธ์กฐ์งํ์ ํน์ง์ ๊ธฐ์ธํ๋ค. Elgiloy์ ๋นํด ๋์ Ni
ํจ๋์ ๊ฐ์ง๋ SPRON 510์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ SFE๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ค. ํนํ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ์์ 10โ20 mJยทm-2 SFE ๋ฒ์์์๋ SIMT๊ฐ ์ฐ์ ์ ์ผ๋ก ํ์ฑํ๋๋ฉฐ, 20โ30 mJยทm-2 ์์๋ ๋ณํ ์์ ์ด, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ด๋ณด๋ค ๋ ๋์ 30โ50 mJยทm-2 ์์๋ ๋ณํ ์์ ๊ณผ ์ ์ ์ฌ๋ฆฝ์ด ํจ๊ป ๋ฐ์ํ๋ค๊ณ ๋ณด๊ณ ๋์๋ค[51]. ์ด๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก SPRON 510์ ๋นํด SFE๊ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฎ์ Elgiloy์์ SIMT๊ฐ ํ๋ฐํ๊ฒ ๋ฐ์ํ ๊ฒ์ ์ ์ดํดํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ฉด
SPRON 510์์๋ ๋ณํ ์์ ์ด ์ฃผ๋ก ํ์ฑ๋ as-rolled์ ๋ณํ ์์ ๊ณผ ์ ์ ์ฌ๋ฆฝ์ด ํจ๊ป ๋ฐ์ํ DA ์ํธ ๊ฐ์ ๋ณํ ๊ฑฐ๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ํ์ธ๋์ด,
DA ์ ์ฉ ํ SFE์ ์ฆ๊ฐ๋ฅผ ์์ํ ์ ์์๋ค. As-rolled ๋ฐ DA ์ํธ์ ๊ธฐ์ง ์์ญ์์ ์ํํ EDS point ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆผ 8(b)์ ๊ทธ๋ฆผ 8(d)์ ์ ์ํ์์ผ๋ฉฐ, as-rolled ๋๋น DA์์ ๋ฎ์ Mo ๋ฐ Nb ๋ถ์จ์ด ํ์ธ๋์๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ฒฝํฅ์ DA ํ ์์ถ๋ฌผ ํ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ๊ธฐ์ง ๋ด Mo
๋ฐ Nb ๋๋๊ฐ ๊ฐ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ํด์๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์๋์ ์ธ Ni ๋๋ ์ฆ๊ฐ๋ก ์ธํด SFE์ ์ฆ๊ฐ์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก SPRON
510 DA ์ํธ์ as-rolled์ ๋นํด ๋ฎ์ ๋ณํ ์์ ๋ถ์จ์ ๋ํ๋์ง๋ง ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ฃผ๋ก DA ์ ์ฉ ํ ๋ฏธ์ธ
์์ถ๋ฌผ ๋ถ์จ๊ณผ ์ ์ ๋ฐ๋์ ์ฆ๊ฐ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ฏธ์ธํด์ง ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ์ ์ํ ์ํฅ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค.
๊ทธ๋ฆผ 9๋ Elgiloy ๋ฐ SPRON 510 ์์ฌ๋ค์ Taylor factor ๋งต ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ธ ๊ฒ์ด๋ค. Taylor factor๋ ์ฃผ๋ก ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ด๋ถ์
๊ฒฐ์ ๋ฐฉํฅ๊ณผ ์ธ๋ถ ์๋ ฅ ๋ฐฉํฅ์ ๋ถ์ผ์น์ ๋ฐ๋ผ ๋ฐ์ํ๋ ๋ณํ ์ ํญ์ ํ๊ฐ, ์ ์ํ๋ค[52]. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก Taylor factor๊ฐ ๋์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ณํ์ด ์ด๋ ต๊ณ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ํ์ ์ด๋ ์ ์ ์ด๋์ด ์ ํ๋๋ฏ๋ก, ์ด๊ธฐ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ ํน์ง์ ๋ํ๋ธ๋ค.
์ธ์ฅ ๋ฐฉํฅ(//์์ฐ ๋ฐฉํฅ) ๊ธฐ์ค Taylor factor๊ฐ์ Elgiloy (as-rolled: 2.87, DA: 2.94)๊ฐ SPRON 510 (as-rolled:
3.28, DA: 3.17)์ ๋นํด ๋ฎ์ ๊ฐ์ ๋ํ๋ด์๋ค. ์ด๋ ์ธ๋ถ ์๋ ฅ์ด ๊ฐํด์ก์ ๋ Elgiloy์ ๋นํด SPRON 510์์ ๋ ๋์ ์๋ ฅ
์ ํญ์ฑ์ ๊ฐ์ ธ ์์ฑ ๋ณํ์ด ๋น๊ต์ ์ด๋ ค์์ ๋ณด์ฌ์ฃผ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ด๋ค.
๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก Elgiloy์ SPRON 510์ ์๋ก ๋ค๋ฅธ ์ด๊ธฐ ๋ฏธ์ธ์กฐ์งํ์ ํน์ง์ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ ์ด์ ๋ฐ๋ฅธ ์ธ์ฅ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์์์ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด์๋ค. Elgiloy์
๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๋ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ ๋ฐ SIMT ๊ฑฐ๋์ผ๋ก ์ธํ ๊ฒฝํ ์ํฅ์ด ์ง๋ฐฐ์ ์ด์์ผ๋ฉฐ, SPRON 510์ ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๋ ๋ณํ
์์ ๊ณผ ๋์ Taylor factor ๋ฐ ๋์ ์์ถ๋ฌผ ๋ถ์จ๊ณผ ์ ์๋ฐ๋์ ์ํ ์ํฅ์ด ์ฐ์ธํ์๋ค. ๋ํ Elgiloy์์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ผ๋ก ์ธํ ๋คํ ํ์ฑ์
์ฐ์ ์จ์ ๊ฐ์์์ผฐ์ผ๋ฉฐ, SPRON 510์์ 2์ฐจ ๊ท ์ด ๋ฐ crack-bridging์ ํ์ฑ์ ๊ท ์ด ์ ํญ์ฑ์ ์ฆ๊ฐ์ํจ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํ๋จ
ํน์ง์ ์ฐจ์ด๋ Elgiloy์ ๋นํด SPRON 510์์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ ์ฐ์ฑ์ ๋ํ๋ด๋ ์์ธ์ผ๋ก ์ ์๋์๋ค.
5. ๊ฒฐ ๋ก
๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๋๊ฐ ์์ฐ๋ Co๊ณ ์ดํฉ๊ธ ์์ฌ๋ค(Elgiloy, SPRON 510)์ ์์จ ์ธ์ฅ ํน์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ง์ ์ํจ ์ด์ฒ๋ฆฌ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์กฐ์ฌํ์๋ค.
์ง์ ์ํจ ์ ์ฉ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฏธ์ธ์กฐ์ง ๋ณํ๊ฐ ์ธ์ฅ ๋ณํ ๊ฑฐ๋์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ๊ท๋ช
ํ์์ผ๋ฉฐ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๊ฒฐ๋ก ์ ๋์ถํ์๋ค.
1) Elgiloy๋ as-rolled ๋ฐ DA ์ํ๋ค์์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก SIMT์ ์ํ HCP ์์ ํ์ฑํ์๊ณ , HCP ์์ ์์ฑ์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ด๋ถ์์
์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๋ฐ ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ์ฆ๊ฐ์์ผ ๋ ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ์ ๋ํ์๋ค. ๋ฐ๋ฉด SPRON 510์ FCC ๋จ์ผ์๊ณผ Elgiloy์ ๋นํด ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ ์์ถ๋ฌผ
๋ฐ ๋์ ์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ๋ณด์๋ค.
2) Elgiloy์ SPRON 510์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก as-rolled์ ๋นํด DA ์ ์ฉ ํ ๊ฒฝ๋ ๋ฐ ๊ฐ๋ ํน์ฑ์ ์ฆ๊ฐ๋ฅผ ๋ํ๋๋ค. Elgiloy๋
SPRON 510์ ๋นํด ๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๋ฅผ ๋ํ๋ด์์ผ๋ฉฐ, SPRON 510์ Elgiloy์ ๋นํด ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋ ๋ฐ ์ฐ์ ์จ์ ๋ํ๋๋ค.
3) ์ธ์ฅ ๋ณํ ํ Elgiloy as-rolled์์๋ ๋ถ๊ท ์ผํ ํฌ๊ธฐ ๋ถํฌ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๋คํ๋ค๊ณผ ๋ฒฝ๊ฐ ํ๋จ๋ฉด์ด ๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ค์ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ์ํด
์ฃผ๋ก ํ์ฑ๋์๋ค. Elgiloy DA ์ํธ์์๋ ์๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ๋ฏธ์ธ ๋คํ๋ค์ ์ฆ๊ฐ๋ก ์ธํ์ฌ ๋ณํ ๋ถ๊ท ์ผ์ฑ์ด ๋๊ฒ ๋ํ๋ฌ๋ค. ๋ฐ๋ฉด SPRON
510์ ํ๋จ๋ฉด์์๋ ์๋์ ์ผ๋ก ์กฐ๋ํ ๋คํ๋ค์ด ๊ด์ฐฐ๋์์ผ๋ฉฐ, ๋ณํ ์์ ์ผ๋ก ์ธํด ํ์ฑ๋ crack-bridging์ด ๊ด์ฐฐ๋์๋ค. SPRON 510
DA ํ๋จ๋ฉด์์ ์กด์ฌํ๋ 2์ฐจ ๊ท ์ด์ ๊ตญ๋ถ ๋ณํ ์ ํญ์ ๋์ฌ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๋ฅผ ํฅ์์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ์๋์๋ค.
4) ๋ณํ ์ค Elgiloy ์์๋ ๋ฎ์ SFE๋ก ์ธํด SIMT๊ฐ ํ๋ฐํ๊ฒ ๋ฐ์ํ ๋ฐ๋ฉด SPRON 510์ ๋์ SFE๋ก ๋ณํ ์์ ์ด ์ฃผ๋ก ํ์ฑ๋์๋ค.
Elgiloy์ ๋์ ์ธ์ฅ ๊ฐ๋๋ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ํฌ๊ธฐ ๋ฐ SIMT ๊ฑฐ๋์ผ๋ก ์ธํ ์ํฅ์ด ์ง๋ฐฐ์ ์ด์์ผ๋ฉฐ, SPRON 510์ ๋์ ํญ๋ณต ๊ฐ๋๋
๋ณํ ์์ ๊ณผ ๋์ Taylor factor, ์์ถ๋ฌผ ๋ถ์จ, ์ ์๋ฐ๋์ ์ํ ์ํฅ์ด ์ฐ์ธํ์๋ค.