Chabak K. D., Leedy K. D., Green A. J., Mou S., Neal A. T., Asel T., Heller E. R.,
Hendricks N. S., Liddy K., Crespo A., Miller N. C., Lindquist M. T., Moser N. A.,
Fitch R. C., Walker D. E., Dorsey D. L., Jessen G. H., Semicond. Sci. Technol,35,
013002 (2019)
